【課題】表面に凹凸形状を有する金属部品を製造する方法を提供する。
【解決手段】
電鋳用の電極板１０１の表面にレジスト膜１０２を形成する。ついで、縁の少なくとも一部に微細な凹凸１１５が描かれたマスクパターンを有するフォトマスク１０４をレジスト膜１０２の上に重ね、フォトマスク１０４を通してレジスト膜１０２に露光する。ついで、記レジスト膜１０２を現像してレジスト膜１０２にキャビティ１０６をあける。このキャビティ１０６内に電鋳法によって電鋳材料を堆積させ金属部品１０９を製造する。 （もっと読む）

【課題】光の透過性を有する基板の面位置を高精度に検出できること。
【解決手段】 基板の表面で反射された光を検出し、その検出結果に基づいて表面の面位置を検出する面位置検出装置である。その面位置検出装置は、基板の裏面を保持する保持部と、該保持部に対して凹状に形成された凹部とを有する保持装置と、基板の屈折率と同等の屈折率を有する流体を凹部に供給する流体供給装置と、凹部の上方の基板の表面に光を照射する照射装置と、を備える。 （もっと読む）

【課題】マスク撓みや光学系の歪みによって発生するデフォーカスを補正できる露光装置、フォーカス補正装置、及びそれを用いたデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】原版１に光を照射する照明光学系７と、該照明光学系７により照射された原版１のパターンを基板４上に投影する投影光学系３と、原版１を保持し駆動する原版ステージ２と、基板４を保持し移動する基板ステージ６とを有する露光装置３０であって、基板ステージ６は、基板４を吸着保持する複数のチャック５を有し、チャック５は、吸着部と、該吸着部を基板面に垂直な方向に駆動する駆動機構２１とを有する。 （もっと読む）

【課題】版厚を確実に制御しながら感光性樹脂凸版の連続製版を行う。
【解決手段】第１のフィルム層（カバーフィルム）２４、感光性樹脂層２５、及び第２のフィルム層（ベースフィルム）２６を含む積層体を、下部硬質板１４と上部硬質板１５とにより挟んだ状態で、感光性樹脂層の露光を行うものであり、下記（ａ）工程〜（ｄ）工程を有している感光性樹脂凸版の製造方法を提供する。
（ａ）上部硬質板及び／又は下部硬質板の温度、又は下部硬質板に積層される第１のフィルム層を介した下部硬質板の温度を、直接又は間接に計測する工程。
（ｂ）前記下部硬質板に積層した前記第１のフィルム層の上に、液状感光性樹脂を塗布する工程。
（ｃ）前記液状感光性樹脂の塗布厚みを調節する工程。
（ｄ）下部硬質板と上部硬質板との間隔を調節する工程。 （もっと読む）

【課題】基板を搭載したチャックを受け渡し位置から露光位置へ移動するとき、異物によるマスクの損傷を簡単な構成で防止し、マスクと基板との間隔を小さくして、マスクと基板とのギャップ合わせに要する時間を短縮する。
【解決手段】基板の受け渡し位置と露光位置との間に、基板上の異物、またはチャックと基板との間の異物により盛り上がった基板に接触する接触手段（３０）を配置し、接触手段を、その下を通過する基板との間隔が、基板を搭載したチャックを受け渡し位置から露光位置へ移動するときのマスクと基板との間隔以下に成る高さに設置して、基板を搭載したチャックを受け渡し位置から露光位置へ移動しながら、接触手段の振動又は接触手段が発生する音を第１のセンサー（４０）で検出し、第１のセンサーの検出結果に基づいて、異物がマスクの下へ移動する前に、チャックの移動を停止する。 （もっと読む）

【課題】 リソグラフ処理の間、基板を支持する可撓性チャック（１００）を提供する。
【解決手段】 可撓性チャックは、電極層（１１６）、電極層に配置された圧電層（１１０）、および圧電層上に配置された基板支持層（１１１）を備える。電極層を通して、圧電層に電気的信号を提供することによって支持層は屈曲され得、それによって可撓性チャックに配置された基板の表面形態を、変化させる。接触層は、突起部を含み得、この突起部の各々は、電極層内のそれぞれの電極に対応する。別の基板支持体および接地層が提供され得る。本発明に従う可撓性チャックは、真空チャックであり得る。また開示されるのは、本発明に従う可撓性チャックにおける形態変化をモニタリングするための方法である。 （もっと読む）

【課題】 基板の矯正が可能な露光装置を提供する。
【解決手段】
パッキン３に正圧をかけ伸張させ、露光テーブル１と接触させて密閉空間９０を生成し、真空吸引孔４０と真空ポンプ４により密閉空間９０を吸引し、大気圧によりプレート２０を押圧し、プレート２０と露光テーブル１により基板９９に荷重をかけ、基板９９を矯正する。吸引ポンプ１１による基板吸着圧力が所定の設定値に達したら、真空ポンプ４を停止し、パッキン３を収縮させて搬送装置２を搬入コンベア５３上に退避させ、露光を実行する。 （もっと読む）

【課題】マスクと基板との間のギャップを均一化でき、露光精度を向上することができる基板保持機構及びフラットパネルディスプレイ基板用露光装置の基板保持方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗを保持する基板保持機構２１は、基台２３に対して複数の支柱２４を介して支持される基板保持部２５と、隣接する支柱２４間に配置され、基板保持部２５の上面の平坦度を補正するように基板保持部２５を下面から押圧する複数の押圧機構２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板にモアレ状模様が発生するのを確実に防止することができると共に、任意サイズの基板を保持することができる露光装置の基板保持機構を提供する。
【解決手段】基板Ｗが載置される基板載置面３３を有する複数の突起部３２と、複数の突起部３２の少なくとも一つに形成され、基板載置面３３に開口される吸引孔３４と、複数の突起部３２が設けられる基部３１と、を備え、複数の突起部３２の基板載置面３３が同一水平面内に配置される。 （もっと読む）

【課題】シート状の印刷版材料を外周面に保持した回転中のドラムからの印刷版材料の剥離に起因する光学系の損傷を防止できる印刷版用画像記録装置及び画像記録方法を提供する。
【解決手段】この画像記録方法は、ドラムの外周面に保持されたシート状印刷版材料に光学部から画像データに基づいて露光することで画像を形成するものであって、シート状印刷版材料をドラムの外周面で保持し、ドラムを回転駆動し、回転駆動されたドラムの回転が安定したことを検知してから、光学部を退避位置からドラムと対向する記録開始位置へ移動させる。 （もっと読む）

【課題】 基板の加工状態によらずに、簡単な構成で露光パターンの精度を向上させることができる基板の加工方法を提供する。
【解決手段】 この基板の加工方法では、柔軟性を有するレジスト付絶縁板１２を露光用搬送板１３と光透過板１４とによって挟持し、レジスト付絶縁板１２を平坦化する。これにより、レジスト付絶縁板１２の表面のうねりや歪みが解消され、露光パターンの精度の向上を図ることができる。また、この基板の加工方法では、レジスト付絶縁板１２の平坦化にあたり、光透過板１４の自重を利用してレジスト付絶縁板１２を露光用搬送板１３側に押し付けるので、従来のように高圧空気を供給する手段は不要であり、構成を極めて簡単化できる。さらには、露光用搬送板１３に吸気孔等を設ける必要もなく、レジスト付絶縁板１２の加工状態によらずに露光パターンの精度向上を実現できる。 （もっと読む）

【課題】高レベルのインクの充填の位置制御が不要で色むらの少ないパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】上部のみが撥インキ性である隔壁で区画された複数のパターン領域を有する基板の略全面に１種類の着色感光性インキを均一の厚さで塗布し、前記隔壁上の前記感光性インキが前記パターン領域に落ちることにより前記パターン領域に前記感光性インキが充填された後、前記感光性インキの所要部をパターン露光し、該露光の後に露光部あるいは非露光部のいずれかの前記感光性インキを現像により除去するパターン形成方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】露光装置のタクトタイム短縮を図ることのできる大型基板の露光方法を提供する。
【解決手段】 パレット１２を位置決めする位置決め部を露光ステージ１１に設けるとともに、位置決め部に係合する係合部を有するパレット１２上に基板ＢＰを載置し、パレット１２を露光ステージ１１上に位置決めして基板ＢＰを露光する。 （もっと読む）

【課題】 感光層と支持体とを積層してなる感光フィルムを感光層の側を基板上に貼り付けて構成した板状積層体における感光層に所定のパターンを露光する際に、支持体が剥離された板状積層体における感光層の酸素との反応をできるだけ小さくする。
【解決手段】 露光装置１内に、感光材料１５０から支持体を剥離するための剥離装置１８０を設け、剥離装置１８０により感光材料１５０から支持体を剥離した後、直ちにスキャナ１６２により、感光材料１５０にパターンの露光を行う。 （もっと読む）