【課題】配線基板の外周部に異物の原因となるガラス繊維や樹脂を露出させない。
【解決手段】配線基板用パネルＡを載置するテーブル１と、配線基板用パネルＡの外周部を部分的にテーブル１上に押圧して固定する押圧板２と、配線基板用パネルＡ上に露光用のレーザ光を照射するレーザ照射装置３とを具備して成る露光装置１０であって、押圧板２は、レーザ光を透過する透明材料から成る。押圧板２の下の領域を露光することにより、配線基板用パネルＡの外周部に導体層１２を残すことができる。これにより、配線基板用パネルＡの外周部に異物の原因となるガラス繊維や樹脂を露出させない。 （もっと読む）

【課題】版胴上における位置決め部材への刷版の当接を精度よく検出する。
【解決手段】刷版検出装置１０は、回転軸を中心とする版胴３の外側面３０上において、回転軸に平行な方向に互いに離間して設けられる一対の位置決め部材３３、刷版９の一辺のエッジ９１が一対の位置決め部材３３の双方に当接する際に、エッジ９１により押されることにより、一対の位置決め部材３３に当接する一対の導通部材５３、および、一対の導通部材５３が一対の位置決め部材３３に当接することにより電気的に閉じられる回路に設けられる検出部を備える。これにより、版胴３上における双方の位置決め部材３３への刷版９の当接を精度よく検出することができる。 （もっと読む）

【課題】 装置全体の大型化や、露光用ステージの重量増加を抑えたステージ装置を提供する。
【解決手段】 ステージ（１）と前記ステージを駆動する駆動手段（７ａ、７ｂ）とを備えるステージ装置において、コーナーキューブ（８ａ〜ｃ）と前記コーナーキューブに光を照射する干渉計（４、５ａ、５ｂ）と前記ステージに対して前記コーナーキューブを相対的に駆動する駆動機構（１３ａ、１３ｂ）とを含む前記ステージの位置を計測する位置計測手段と、前記ステージが駆動されても前記干渉計からの光が前記コーナーキューブに照射されつづけるように前記駆動機構を制御する制御手段（１５）とを有する。 （もっと読む）

【課題】省スペース化が図られると共に、プリアライメントによる位置精度を維持したまま基板を露光領域に搬送できる露光装置用基板搬送機構及びそれを用いた基板位置調整方法を提供する。
【解決手段】基板搬送機構２０は、略矩形状の基板Ｗに対してマスクＭを介して露光用光ＥＬを照射し、基板ＷにマスクＭのパターンＰを露光する近接スキャン露光装置１に適用され、基板Ｗを浮上させて支持すると共に、基板Ｗを所定方向に搬送する。基板搬送機構２０は、基板搬入側領域ＩＡに設けられ、基板搬入側領域ＩＡで待機される基板Ｗのプリアライメントを行う基板プリアライメント機構５０を備える。プリアライメント機構５０は、基板Ｗの対向辺の一側近傍に配置される、上下方向に進退可能な基準ピン５１，５２と、対向辺の他側近傍に配置され、上下方向に進退可能、且つ、基板Ｗに向かう方向に移動可能な押し当てピン５３，５４とを有する。 （もっと読む）

【課題】複数のチャックを有する露光装置の各チャックに搭載された基板の直交する二辺の縁が、チャック毎に設けたプリアライメント用のセンサーの検出範囲から外れない様に、基板を位置決めする。
【解決手段】基板１がクーリングプレート３０に横置きで搭載された場合、エアシリンダ４１，４２，４３，４４が、ローラ３１，３２，３３，３４を基板１の各辺の縁に押し付けることにより、基板１の位置決めが行われる。その際、圧力切り替え装置５３，５４は、プリアライメント用のセンサーの配置に応じて、エアシリンダ４１，４２，４３，４４がローラ３１，３２，３３，３４を基板の辺の縁に押し付ける押し付け力を基板の向かい合う二辺で互いに異ならせて、プリアライメント用のセンサーが検出する基板の直交する二辺の縁を所定の位置に保つ。 （もっと読む）

【課題】 基板とマスクフィルムの精度が温度および湿度の調整作業ごとに異なることなく、輸送経路の影響および露光装置内部の環境の変化に対応して調整でき、また、プリアライメント部を備える露光装置であっても、温度および湿度の検出ならびに供給を適切な位置において行うことができる露光装置および露光方法を提供すること。
【解決手段】 マスクフィルムＭを保持する焼枠に対向する位置に設置した露光テーブル２１に基板Ｗを搬送して露光処理する露光部２０（４０）と、この露光部の直前に配置され前記基板の端面を押動する押動ピン移動部１４ｂにより予備位置決めを行うプリアライメント部１０と、を備える露光装置１において、温度調整手段６１Ａと、湿度調整手段６５Ａと、基板温度湿度検出手段１６と、マスク温度湿度検出手段２４と、温度湿度制御手段８２と、を備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】露光装置のタクトタイム短縮を図ることのできる大型基板の露光方法を提供する。
【解決手段】 パレット１２を位置決めする位置決め部を露光ステージ１１に設けるとともに、位置決め部に係合する係合部を有するパレット１２上に基板ＢＰを載置し、パレット１２を露光ステージ１１上に位置決めして基板ＢＰを露光する。 （もっと読む）

【課題】位置決め部材の切り替え作業や管理を容易とし、サイズによらず、シート体を所望の位置に位置決めする。
【解決手段】基板Ｆのサイズに応じた露光ステージ１８上の２つの位置決め孔６４ａ〜６４ｈを選択し、選択された位置決め孔６４ａ〜６４ｈに位置決め部材６０の位置決めピン６６ａ、６６ｂを係合する。次いで、位置決め部材６０の基板Ｆのサイズに応じた２つの段部６８ａ〜６８ｆを選択し、選択された段部６８ａ〜６８ｆに基板Ｆの隅角部及びその隅角部から延在する面を当接させることで、露光ステージ１８の中央を基準として基板Ｆの位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】 高い位置精度で画像形成できる画像形成装置および画像形成方法の提供。
【解決手段】ワーク２２が載置されるステージ１６と、前記ステージに載置されたワーク上の基準マークを検出し、検出した基準マーク位置を基準として画像を形成する描画手段とを有する画像形成装置であって、前記ステージは、前記描画手段２８に対して相対的に往復動可能であり、前記描画手段は、前記ステージの往路において前記基準マークの位置情報を得、復路において前記位置情報に基いて前記ワークに画像を形成するとともに、前記ステージには、前記ワークの前記ステージの往復方向に沿った辺のうち、最後に露光される側を突き当てて位置決めする位置決め基準部材１９が形成された画像形成装置、および画像形成方法。 （もっと読む）

【課題】ウェハとマスクとの位置合わせを、ウェハを汚染したり傷つけることなく簡易かつ正確に実行し得る、マスク位置合わせ装置を得る。
【解決手段】環状枠２１を、ウェハ１０の上面側からウェハ載置治具１に向けて徐々に降下させる。環状枠２１の降下が進むと、やがてウェハ位置補正機構２６ｃのローラ３３が、ウェハ１０の右端角部に接触する。すると、ウェハ位置補正機構２６ｃのローラ３３によってウェハ１０が左方向に押圧されて、ウェハ１０が左方向に変位する。左方向へのウェハ１０の変位が進むと、ウェハ１０の左端部が、ウェハ位置補正機構２６ｃに対向するウェハ位置補正機構２６ｆのローラ３３に接触する。その結果、ウェハ１０は、ウェハ位置補正機構２６ｃ，２６ｆの各ローラ３３によって両側から押圧されることにより、ウェハ載置面上の所定箇所に位置決めされる。 （もっと読む）