【課題】インターフェロメトリック変調器に関するプロセスコントロールモニター
【解決手段】
ＭＥＭＳデバイス１０８の製造に用いられるプロセスステップと同じプロセスステップの少なくとも一部を用いて製造されるプロセスコントロールモニター１００、１０２、及び１０４が開示される。プロセスコントロールモニター１００、１０２、及び１０４の分析は、ＭＥＭＳデバイス１０８の性質及び前記デバイス内の構成要素又は副構成要素に関する情報を提供することができる。この情報は、加工の際の誤りを識別するために又はＭＥＭＳデバイス１０８を最適化するために用いることができる。幾つかの実施形態においては、プロセスコントロールモニター１００、１０２、及び１０４の分析は、光学的測定値を利用することができる。 （もっと読む）

本発明は、入射光を反射し回折するためのライトバルブ（４０）に関し、このライトバルブは、反射面（６０）が設けられた静電気的に動作可能な薄膜（４２）と、薄膜（４２）の一方の側に設けられた反射性格子構造体（５２）と、薄膜が格子構造体（５２）から離れてライトバルブ（４０）が受けた入射光（６４）が反射性格子構造体（５２）により回折させられることになる第１の位置と、薄膜が格子構造体（５２）との接触に持ち込まれライトバルブ（４０）が受けた入射光（６４）が薄膜電極（６０）により略鏡面反射することになる第２の位置との間で薄膜を切り換えるために薄膜（４２）に静電気力を誘導する手段（４８，５６，６０）と、を有する。これにより、移動可能な部分のない格子構造体を用いることができ、ライトバルブを製造し易くする。本発明はまた、このようなライトバルブを少なくとも１つ有する画像形成システムに関する。
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【解決手段】基板上に少なくとも２つの導電層を形成することを含む微小電気機械素子を製造する方法。絶縁層が２つの導電層の間に形成される。導電層は互いに電気的に結合され、次に絶縁層が除去され、導電層間に隙間を形成する。層の電気的な結合は、除去プロセスの間に素子上に増える静電荷の影響を除く。 （もっと読む）

例えばオイルの層の分裂又はオイルの層の移動に基づいており、且つ少なくとも２つの異なる状態を有するディスプレイデバイスであって、壁（１３）の高さが、ピクセルの幅と、充填針（１５）の先端におけるオイル界面の一般的な曲率とに比較して大きくはなく、ピクセルに針を挿入することなくピクセルに充填される、ディスプレイデバイス。充填針をピクセルに入れる必要がないため、比較的大きな注入針からのオイル（５）によってピクセルを充填することができる。 （もっと読む）