【課題】駆動電圧に対するミラーの傾斜角の線形応答性を改善する。
【解決手段】ミラー基板に対して回動可能に支持されるミラー１４０３と、ミラー基板と対向する電極基板の上に形成された駆動電極１３０３−１〜４と、電極基板の上に形成された、ミラーの回動中心を支えるピボットと、駆動電極に電圧を印加する制御回路とを備え、駆動電極は、ピボットの周りの電極基板上に複数形成され、バイアス電圧Ｖｂを印加した状態で、正側駆動電極と負側駆動電極との間に電圧差を生じさせる。これにより、ミラー１４０３を回動させることができ、駆動電圧Ｖに対する傾斜角θの線形応答性を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】ミラー基板と電極基板との間隔をより容易に大きくできるようにする。
【解決手段】ミラー基板１９００と電極基板２０００とのギャップが、リブ構造体２０１０とギャップ補助層２１０１により形成される。言い換えると、ミラー基板１９００と電極基板２０００とは、ギャップ補助層２１０１とリブ構造体２０１０とを介して接合されている。これにより、ミラー基板１９００と電極基板２０００とが、ギャップ補助層２１０１とリブ構造体２０１０とにより離間しているようになり、ミラー基板１９００と電極基板２０００との間隔が、より容易に大きくできるようになるという優れた効果が得られる。 （もっと読む）

【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】可動枠連結部２１１ａ，２１１ｂ及びミラー連結部２２１ａ，２２１ｂは、対となる部材同士でバネ定数が異なる。これより、初期状態で所定の角度だけ傾いた状態となるため、結果としてミラーの傾動角度を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】光スイッチに設けられる一対のミラーアレイにおいて、駆動電圧の高電圧化や製造の難しさを回避しつつ、ミラーを効率的に配置する。
【解決手段】ミラーアレイ２２０３ａ，２２０３ｂのミラー２０３の配置をミラーの傾斜角θの異方性を考量して最適化する。これにより、駆動電圧を高電圧化することなく、ミラー１５３の走査可能領域を有効利用することができ、効率的なミラー配置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】ミラー装置２では、ミラー連結部２２１ａ，２２１ｂは、上述したように可動枠連結部２１１ｂの側、すなわちＹ方向に平行移動した位置に設けられており、ミラー回動軸ｍがミラー２３０の重心Ｇを通らない。このため、ミラー回動軸ｍ上において、ミラー２３０の可動枠連結部２１１ａ側の端部とミラー回動軸との距離は、ミラー２３０の可動枠連結部２１１ｂ側の端部とミラー回動軸との距離よりも長くなる。したがって、電極３４０ａ〜３４０ｄに一様な電圧（以下、バイアス電圧という）を印加してミラー２３０に吸引力が働くと、点線で示すように、ミラー２３０は、可動枠２２０と基部３１０側に引き寄せられるとともに、ミラー回動軸を回動中心として傾き、可動枠連結部２１１ａ側の端部が基部３１０側に引き寄せられた状態となる。 （もっと読む）

【課題】良品歩留まりの高い状態でミラー基板が形成できるようにする。
【解決手段】ミラー基板２３００では、基部２３０１，連結部２３３２ａ，連結部２３３２ｂ，可動枠２３０３，ミラー連結部２３３４ａ，ミラー連結部２３３４ｂ，及びミラー２３３５の各間隙に、充填された状態で保護層２３０７ａを備えている。これにより、上述した構造体が回動などの動作を抑制された状態となり、外部からの機械的振動による破損や損傷から保護されるようになる。 （もっと読む）

【課題】ミラー装置及び複数のミラー装置を２次元的に配置したミラーアレイにおいて、近接する配線からの干渉による予期しないミラーの傾斜角の変動を抑制する。
【解決手段】ジンバル１１０２の回動軸と直交する方向に、配線１００５−１〜１００５−４，１００６を設ける。これにより、配線１００５−１〜１００５−４，１００６からの干渉による予期しないミラー１１０３の傾斜角の変動を抑制することができ、ミラー１１０３から配線１００５−１〜１００５−４，１００６を離すことで、この抑制効果をさらに高めることができる。 （もっと読む）

【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】電極３４０ａ〜３４０ｄは、電極基板３００上に投影したミラー２３０の可動枠回動軸及びミラー回動軸の少なくとも一方に対して自身が対称とならない基部３１０上の位置に形成される。このため、ミラー２３０の中心軸（一点鎖線で示す）と電極３４０ａ〜３４０ｄの中心軸（二点鎖線で示す）とは、一致しない。したがって、電極３４０ａ〜３４０ｄにバイアス電圧をかけると、ミラー２３０には、電極３４０ａ〜３４０ｄと対向する部分に引力が働くため、ミラー２３０の中心軸に対して垂直な状態（点線で示す）から所定の角度だけ傾いた状態となる。 （もっと読む）

【課題】製造時において特に基板間の接合の際にミラー間や電極間が接合してしまうのが防止され、さらに動作時においてもミラー間や電極間が接合してしまうのが防止された光フィルタとその製造方法、光学フィルタ装置モジュールを提供する。
【解決手段】対向面の一部が当接し、残部が離間して配設された第１基板１４及び第２基板１５と、これら基板の対向面側の離間した部位に第１のギャップＧ１を介して配置された一対のミラー２Ａ、２Ｂと、第２のギャップＧ２を介して配置された一対の電極１６Ａ、１６Ｂとを備え、第１基板１４に、電極１６Ａ、１６Ｂ間の静電力によって変位し、第１のギャップＧ１を変化させる可動部１３を有する光フィルタ１である。第１基板１４と第２基板１５との間に、一対のミラー２Ａ、２Ｂが当接するのに干渉し、あるいは一対の電極１６Ａ、１６Ｂが当接するのに干渉する突起２０（２５）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】製造誤差による振動特性の相違を解消し得る、板波振動を利用した光走査装置を提供すること。
【解決手段】基板と、前記基板に板波振動を励起する駆動手段と、前記基板に連結されたねじりばね部材と、前記ねじりばね部材に連結され、前記基板の板波振動により励起される前記ねじりばね部材の捩れ振動により、前記ねじりばね部材を揺動中心軸として揺動する揺動部材と、前記揺動部材に形成された光反射面と、を備え、前記基板又は前記揺動部材の少なくともいずれか一方が、トリミング用の突出片部を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ミラーデバイスと支持基板の位置がずれないように正確に接合することが可能な光スキャナ装置を提供する。
【解決手段】光反射部２１３を備えた質量部２１と、質量部２１を支持するための支持部２４，２５と、質量部２１を回動可能に支持部２４，２５に連結する、弾性部を備えた連結部２２，２３とが形成された基体２に凹部６１ａ，６１ｂが形成され、基体２と接合し、基体２を支持する支持基板３に凹部６１ａ，６１ｂにはまる凸部６３が形成されている。凸部６３は半田合金をボール状に配置することにより形成されている。凹部６１ａの表面には金属膜６２が形成され、凹部６１ａの金属膜６２と凸部６３を半田接合することにより、凹部６１ａと凸部６３は固定される。一方、凸部６３は凹部６１ｂにはめ込まれるが固定はされない。 （もっと読む）

【課題】より簡易な工程で製造されるアクチュエータ及びその製造方法を提供することを
目的とする。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、平板状の可動板(21)と可動板(21)を基板に対し
て揺動可能に支持する一対のトーションバー(24），(24)とを一体形成し、可動板(21)の
中央部に反射鏡(22)を設け、可動板(21)の周縁部に通電により磁界を発生するコイル部(2
3)と、このコイル部(23)に静磁界を与える磁界発生手段とを備え、可動板(21)とトーショ
ンバー(24)上に反射ミラー(22)と引き出し配線(26)とが導電性膜によって一体的に形成さ
れる構成を備えている。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法で製造されうるアクチュエータ及びその製造方法を提供することを目
的とする。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、基板に形成された平板状の可動板(21)と、可動
板(21)の両端を基板に回動可能に支持する一対のトーションバー(24)と、可動板(21)の表
面に形成される反射膜(22)と、可動板の裏面に形成されるコイル(23)と、可動板(21)の一
部に形成されて該可動板(21)の表裏面を貫通する貫通孔部(31)とを備え、可動板(21)とト
ーションバー(24)の表面に形成される導電性膜によって反射膜(22)が形成され、該導電性
反射膜(22)とコイル(23)の一端とが貫通孔部(31)で接続され、該コイル(23)の他端がトー
ションバー(34)の裏面に延在する(28)。 （もっと読む）

【課題】 光学機能を有するＭＥＭＳデバイスが歪みなく実装された光スイッチデバイスを提供する。
【解決手段】 光スイッチデバイス１００は、光学機能を有するＭＥＭＳデバイスとしてのマイクロミラー基板１３２が実装された電極配線基板１４２と、マイクロミラー基板１３２を駆動するためのＩＣチップ１５２が実装された駆動配線基板１５４と、駆動配線基板１５４に設けられた変形可能接続端子１７０とを有している。電極配線基板１４２と駆動配線基板１５４とが変形可能接続端子１７０と接合材１８４とを介して互いに電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】上部電極層と下部電極層との短絡を回避しつつ、アクチュエータの駆動力の低下を防止したアクチュエータ及びアクチュエータの製造方法を提供する。
【解決手段】基材４上の所定領域に下部電極層５Ａ〜５Ｄ、圧電素子層６Ａ、６Ｂを順に積層し、続いて、本体部２を所定角度傾斜させた状態で保持し、ＰＺＴ等の絶縁体からなる圧電素子層２５を更に基材４の側面方向から積層し、その後に、本体部２を水平に戻し、上部電極層７Ａ〜７Ｄを圧電素子層６Ａ、６Ｂ、２５の上から積層することにより、上部電極層と下部電極層との短絡を回避するように構成する。 （もっと読む）

【課題】特性ばらつきを抑制した金属材料からなる振動ミラーの製造方法を提供する。
【解決手段】金属材料からなる板材をプレス加工することにより、梁３をねじり回転軸として往復振動する、金属材料からなる振動子が成形される。次いで、当該振動子にミラーが固定される。そして、梁３の支持端部を一部除去する形状加工により梁３のばね剛性を変更し、共振周波数が調整される。ここで、梁３の支持端部とは、振動子と一体に成形された枠体２と梁３との接続部および上記ミラーを支持する支持部と梁３との接続部の双方を指す。これにより、振動ミラーの共振周波数を容易に調整することができる。また、必要に応じて、上記支持部が備える共振周波数調整片の一部または全部を除去することにより慣性モーメントを変更し、共振周波数を粗調整してもよい。 （もっと読む）

【課題】特性ばらつきを抑制した金属材料からなる振動ミラーおよび当該振動ミラーを使用したレーザスキャニングユニットを提供する。
【解決手段】梁をねじり回転軸として往復振動する、プレス加工により成形された金属材料からなる振動子と、当該振動子に支持されたミラー５とを備える振動ミラーにおいて、振動子が、同一プレス方向のプレス加工により成形された、ミラー５を支持する支持部４を備える。支持部４のプレス加工方向の上流側の面には、当該面外に一部が突出する状態でミラー５が支持される。また、支持部４のプレス加工方向の下流側の面内には、永久磁石６が配置される。これにより、プレス加工によるバリの有無に関わらず、ミラーと永久磁石とを常に同一の状態で支持部に固定することができる。 （もっと読む）

【課題】静電トルクを増大させるための櫛歯側面の狭ギャップと、櫛歯電極の接触によるショート不良を低減させるための櫛歯先端の広ギャップを同時に容易に形成する。
【解決手段】櫛歯電極１、２の先端を最も細い櫛幅とする。これにより、櫛歯先端部のギャップ３を広くすることができ、高次振動による櫛歯電極１、２の接触に起因するショート不良が低減される。 （もっと読む）

【課題】揺動板の駆動部を含む周辺部に損傷を与えず、精度良く揺動板の質量を調整することができ、揺動体装置を製造することが可能となる揺動体装置の製造方法等を提供する。
【解決手段】揺動板を該ねじり軸まわりに共振周波数で駆動する揺動体装置の製造方法であって、
前記揺動板として、該揺動板に延設部を形成し、該延設部の一部をレーザー光の照射により切断することによって該揺動板の質量を調整する延設部による周波数調整工程と、
前記揺動板を固定基盤に固定する揺動体部組立工程と、
前記揺動板を駆動させる駆動部を固定基盤に固定する駆動部組立工程と、
を有し、少なくとも、前記各工程中における前記駆動部組立工程を、前記延設部による周波数調整工程の後に実施する。 （もっと読む）

【課題】製造コストが低いデジタル光処理投影装置及びその表示方法を提供する。
【解決手段】本発明による表示方法は、駆動回路板と、駆動回路板上に設置され、複数のマイクロミラー及び予め設定された光入射方向を表示するための識別マークを含み、マイクロミラーの位置が第一の安定状態及び第二の安定状態から選択されるデジタルマイクロミラーデバイスとを提供するステップと、予め設定された光入射方向と異なる動作方向に沿ってデジタルマイクロミラーデバイスに入射する照明光束を提供するステップと、含み、デジタルマイクロミラーデバイスは、照明光束を映像光束に変換して投影レンズに入射させ、映像を投影させる。 （もっと読む）