【課題】ミラーの傾動角度を小さくする。
【解決手段】可動枠連結部２１１ａ，２１１ｂ及びミラー連結部２２１ａ，２２１ｂは、対となる部材同士でバネ定数が異なる。これより、初期状態で所定の角度だけ傾いた状態となるため、結果としてミラーの傾動角度を小さくすることができる。

【特許請求の範囲】
【請求項１】
ミラー基板に対して回動可能に支持されるミラーと、
前記ミラー基板と対向する電極基板の上に形成された駆動電極と、
前記ミラー基板に前記ミラーを連結する一対の連結部材と
を備えたミラー装置であって、
前記連結部材は、互いにバネ定数が異なる
ことを特徴とするミラー装置。
【請求項２】
請求項１記載のミラー装置において、
前記連結部材は、一対の第１の連結部材と、一対の第２の連結部材とから構成され、
前記ミラー基板は、
第１の開口を有し、
前記ミラー基板に前記第１の連結部材を介して連結され前記第１の開口内で回動可能に支持されるとともに、第２の開口を有し前記第２の連結部材を介して連結された前記ミラーを前記第２の開口内で回動可能に支持する可動枠をさらに備える
ことを特徴とするミラー装置。
【請求項３】
請求項２記載のミラー装置において、
前記ミラー基板は、前記第１の連結部材を収容する切り欠きを有する
ことを特徴とするミラー装置。
【請求項４】
請求項２記載のミラー装置において、
前記可動枠は、前記第１の連結部材を収容する切り欠きを有する
ことを特徴とするミラー装置。
【請求項５】
請求項２記載のミラー装置において、
前記可動枠は、前記第２の連結部材を収容する切り欠きを有する
ことを特徴とするミラー装置。
【請求項６】
ミラー基板に対して回動可能に支持されるミラーと、
前記ミラー基板と対向する電極基板の上に形成された駆動電極と、
前記ミラー基板に前記ミラーを連結する一対の連結部材と
を備えたミラー装置を、２次元的に複数配置したミラーアレイであって、
前記連結部材のバネ定数は、前記ミラーアレイ内の前記ミラー装置の位置に応じて決定される
ことを特徴とするミラーアレイ。
【請求項７】
請求項６記載のミラーアレイにおいて、
前記連結部材は、互いにバネ定数が異なる
ことを特徴とするミラーアレイ。
【請求項８】
入力ポートからの光を反射する第１のミラーアレイと、
この第１のミラーアレイからの光を反射して出力ポートに導く第２のミラーアレイと
を備えた光スイッチであって、
前記第１のミラーアレイおよび前記第２のミラーアレイは、
ミラー基板に対して回動可能に支持されるミラーと、前記ミラー基板と対向する電極基板の上に形成された駆動電極と、前記ミラー基板に前記ミラーを連結する一対の連結部材とを備えたミラー装置を、２次元的に複数配置したミラーアレイから構成され、
前記連結部材のバネ定数は、前記ミラーアレイ内の前記ミラー装置の位置に応じて決定される
ことを特徴とする光スイッチ。
【請求項９】
請求項８記載の光スイッチにおいて、
前記連結部材は、互いにバネ定数が異なる
ことを特徴とする光スイッチ。

【図１】

【図２】

【図３】

【図４】

【図５】

【図６】

【図７】

【図８】

【図９】

【図１０】

【図１１】

【図１２】

【図１３】

【図１４】

【図１５】

【図１６Ａ】

【図１６Ｂ】

【図１７Ａ】

【図１７Ｂ】

【図１７Ｃ】

【図１７Ｄ】

【図１８Ａ】

【図１８Ｂ】

【図１８Ｃ】

【図１９Ａ】

【図１９Ｂ】

【図１９Ｃ】

【図２０Ａ】

【図２０Ｂ】

【図２０Ｃ】

【図２０Ｄ】

【図２０Ｅ】

【図２０Ｆ】

【図２１】

【図２２】

【図２３】

【図２４】

【図２５Ａ】

【図２５Ｂ】

【図２６】

【図２７】

【図２８】

【図２９】

【図３０】

【図３１】

【図３２】

【図３３Ａ】

【図３３Ｂ】

【図３４Ａ】

【図３４Ｂ】

【図３５】

【図３６】

【図３７】

【図３８】

【図３９Ａ】

【図３９Ｂ】

【図４０】

【図４１】

【図４２】

【図４３】

【図４４】

【図４５】

【図４６】

【図４７】

【図４８】

【図４９】

【図５０】

【図５１】

【図５２】

【図５３】

【図５４】

【図５５】

【図５６】

【図５７】

【図５８】

【図５９】

【図６０】

【図６１】

【図６２】

【図６３】

【図６４】

【図６５】

【図６６】

【図６７】

【図６８】

【図６９】

【図７０】

【図７１】

【図７２】

【図７３】

【図７４】

【図７５】

【図７６Ａ】

【図７６Ｂ】

【図７６Ｃ】

【図７６Ｄ】

【図７６Ｅ】

【図７６Ｆ】

【図７６Ｇ】

【図７６Ｈ】

【図７６Ｉ】

【図７６Ｊ】

【図７６Ｋ】

【図７６Ｌ】

【図７７】

【図７８】

【図７９】

【図８０】

【図８１】

【図８２】

【図８３】

【図８４Ａ】

【図８４Ｂ】

【図８４Ｃ】

【図８４Ｄ】

【図８４Ｅ】

【図８５Ａ】

【図８５Ｂ】

【図８５Ｃ】

【図８５Ｄ】

【図８５Ｅ】

【図８６】

【図８７】

【図８８】

【図８９】

【図９０】

【図９１】

【図９２】

【図９３】

【図９４】

【図９５】

【図９６】

【図９７】

【図９８】

【図９９】

【図１００Ａ】

【図１００Ｂ】

【図１００Ｃ】

【図１０１Ａ】

【図１０１Ｂ】

【図１０２Ａ】

【図１０２Ｂ】

【図１０２Ｃ】

【図１０３Ａ】

【図１０３Ｂ】

【図１０３Ｃ】

【図１０３Ｄ】

【図１０３Ｅ】

【図１０４Ａ】

【図１０４Ｂ】

【図１０４Ｃ】

【図１０５Ａ】

【図１０５Ｂ】

【図１０５Ｃ】

【図１０５Ｄ】

【図１０５Ｅ】

【図１０５Ｆ】

【図１０５Ｇ】

【図１０５Ｈ】

【図１０５Ｉ】

【図１０５Ｊ】

【図１０５Ｋ】

【図１０６】

【図１０７】

【図１０８】

【公開番号】特開２０１０−３９４９６（Ｐ２０１０−３９４９６Ａ）
【公開日】平成２２年２月１８日（２０１０．２．１８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２５２４６０（Ｐ２００９−２５２４６０）
【出願日】平成２１年１１月２日（２００９．１１．２）
【分割の表示】特願２００６−５２０４２６（Ｐ２００６−５２０４２６）の分割
【原出願日】平成１７年１２月２８日（２００５．１２．２８）
【出願人】（０００００４２２６）日本電信電話株式会社 (13,992)
【Ｆターム（参考）】