【課題】簡素な構成で、透過帯域の劣化や波長毎の透過帯域バラツキを抑制する。
【解決手段】複数の可動ミラー７ａが等間隔配置されてなるミラーデバイス７と、複数の可動ミラー７ａのそれぞれで反射させるべき各反射対象光を、該当する可動ミラー７ａの配置位置に対応する光軸を有するように光軸補正して、当該可動ミラー７ａに導くミラーインタフェース５と、をそなえる。 （もっと読む）

【課題】ミラーアレイの構成を簡略化する。
【解決手段】ミラーアレイ１００は、ベース部２と、ベース部２に支持された複数のミラー１１０と、ミラー１１０に連結されてミラー１１０を駆動する複数のアクチュエータ１，１とを備え、ミラー１１０を互いに直交する主軸Ｘ及び副軸Ｙ回りに回動させる。アクチュエータ１は、副軸Ｙ方向に延びるアクチュエータ本体３と、アクチュエータ本体３の表面３１に積層された圧電素子４とを有し、圧電素子４を伸縮させることによってアクチュエータ本体３を傾動させるように構成されている。各ミラー１１０には、副軸Ｙを挟んで並ぶ２つのアクチュエータ１，１が主軸Ｘに対して一方の側だけに設けられている。 （もっと読む）

【課題】帯電の少ない波長可変干渉フィルターを提供する。
【解決手段】固定基板５０と、固定基板５０に対向し、固定基板５０に対して変位可能な可動基板６０と、固定基板５０の可動基板６０と対向する面に第１凹部７２が形成され、第１凹部７２に設けられた第１反射膜５３と、可動基板６０に設けられ、第１反射膜５３とギャップを介して対向する第２反射膜６３と、固定基板５０の可動基板６０に対向する面の第１凹部７２に設けられた第１電極５４と、可動基板６０に設けられ、第１電極５４と対向する第２電極６４と、を備え、固定基板５０における第１反射膜５３の下層に導電性を有するＤＬＣ膜５６が形成され、可動基板６０における第２電極６４および第２反射膜６３の下層に導電性を有するＤＬＣ膜６６が連続して形成されている。 （もっと読む）

【課題】充填された液体１６に生じた気泡４８を確認しやすくすることを目的とする。
【解決手段】表示装置は、間隔を有して対向配置された一対の光透過性基板１０，１２と、一対の光透過性基板１０，１２を貼り合わせて、一対の光透過性基板１０，１２の間に封止空間を区画するシール材１４と、画像を光学的に表示するために封止空間に配置された複数のシャッタ２２と、封止空間に充填された光学等方性を有する液体１６と、一対の光透過性基板１０，１２の少なくとも一方と液体１６との間に配置された光学膜４６と、を有し、光学膜４６の屈折率は、一対の光透過性基板１０，１２の屈折率とは異なる。 （もっと読む）

【課題】分解能の低下を抑制可能な干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定反射膜５４が設けられた反射膜固定面５１２Ａ、及び固定側初期ギャップ形成面５１３Ａに平行で、固定側ギャップ形成電極部５６１Ｂが設けられた固定側初期ギャップ形成面５１３Ａを有する固定基板５１と、反射膜間ギャップＧ１を介して固定反射膜５４に対向する可動反射膜５５が設けられた可動面５２０Ａ、及び可動面５２０Ａと同一平面で、可動側ギャップ形成電極部５６２Ｂ及び絶縁層５７が順に積層された可動側初期ギャップ形成面５２０Ｂを有する可動基板５２と、を具備し、絶縁層５７は、微小ギャップＧ３を介して固定側駆動電極部５６１Ａに対向し、当該微小ギャップＧ３は、反射膜間ギャップＧ１より小さく形成されている。 （もっと読む）

【課題】ミラー部を揺動駆動するための圧電アクチュエータを構成する圧電カンチレバーをノコギリ波状の駆動電圧により圧電駆動しつつ、ミラー部の高周波振動の発生が抑制されるように該ミラー部の揺動を行なうことができる光偏向器の駆動装置を提供する。
【解決手段】ミラー部１を揺動軸Ｘ２の周りに揺動させる圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂは、複数の圧電カンチレバー３(i)（ｉ＝１，２，３，４）を連結して構成され、圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂの一端及び他端のいずれか一方側から偶数番目の圧電カンチレバー３（偶数）を圧電駆動する第１駆動電圧と、奇数数番目の圧電カンチレバー３（奇数）を圧電駆動する第２駆動電圧とを逆位相のノコギリ波状の電圧とする。第１駆動電圧と第２駆動電圧との間の位相差が、ミラー部１の高周波振動が発生するのを抑制するように設定される。 （もっと読む）

【課題】外部から干渉フィルターへ伝達される振動を低減することができ、分光精度の高い光モジュールを提供すること。
【解決手段】本発明の光モジュール（測色センサー）は、可動反射膜５７を備える可動基板５２、および可動反射膜５７にギャップを介して対向する固定反射膜５６を備え、可動基板５２に接合される固定基板５１、を備える干渉フィルター５と、干渉フィルター５を保持する筐体６と、を備える。可動基板５２は、固定基板５１の外周縁よりも外側に突出する突出部５２４を備える。この突出部５２４は、突出先端側に設けられ、筐体６に固定される固定部５２５を備える。可動基板５２と筐体６によって閉じられている密閉空間５８は筐体６にある充填孔６１を介して充填物質５９を密閉空間５８に充填することが出来る。 （もっと読む）

【課題】波長選択スイッチの筐体内の光学系の光路を筐体外部から調整することが可能な波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】本発明に係る波長選択スイッチ用光学ユニット101は、入力ポート110aと、入力ポート110aから入力された入力光を波長分散させる分散部112と、分散部112により分散される光を集光する集光素子113と、出力ポート110bと、分散部112により分散される光をシフトさせる光路補正部と、光路補正部によるシフト量を変化させる調整部121と、入力ポート110a、分散部112、集光素子113、出力ポート110b及び光路補正部を密閉する筐体118とを備え、筐体118は、集光素子113により集光された光が入射する位置に光学的に透明な透明部119を有し、調整部121は、筐体118の外部に配置され、光路補正部は、調整部121により筐体118の外部から制御可能である。 （もっと読む）

【課題】間欠表示用のシャッタを適切な位置で停止させることができ、投射型表示装置の使用状況に応じて安価にシャッタの有無を切り替えることができる間欠表示装置を提供する。
【解決手段】投射型表示装置により投射された投射光による映像を間欠的に表示可能な間欠表示装置３であって、投射光を周期的に遮蔽するように回転可能なシャッタ５と、シャッタ５を駆動するモータ部７と、シャッタ５の回転位相を検出し、回転位相に応じた極性の信号を出力する回転位相検出部６と、シャッタ５を回転状態から停止させるときに、遮蔽信号の極性に応じて、シャッタ５が投射光を遮蔽しない位置に停止するようにシャッタ５を制御する制御部４とを備える。 （もっと読む）

【課題】偏向部を容易に取り替えることが可能な波長選択スイッチ及び波長選択スイッチ用光学ユニットを提供する。
【解決手段】本発明に係る波長選択スイッチ用光学ユニット１２５は、少なくとも一つの入力ポート１０９と、該入力ポート１０９から入力された入力光を波長分散させる分散部１１３と、該分散部１１３により分散される光を集光する集光素子１１５と、少なくとも一つの出力ポート１１０と、入力ポート１０９、分散部１１３、集光素子１１５及び出力ポート１１０を密閉する筐体１０１とを備え、筐体１０１は、集光素子１１５により集光された光が入射する位置に光学的に透明な透明部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】分散素子による偏波依存性損失を低減でき、出力される光信号のＳ／Ｎを向上できる波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】 入力ポート１０ａ−１０ｄと、入力光を分散する第１分散部３０ａ，３０ｂと、分散される光を偏向する偏向部５０と、偏向部５０で偏向された光を波長多重する第２分散部３２と、波長多重された光を出力する出力ポート１０ｅと、を備え、第１分散部３０は、入力ポート１０ａ−１０ｄからの光を分散する第１分散素子３１ａ，３１ｂを備え、第２分散部３２は、偏向部５０により偏向された光を分散して出力ポート１０ｅに入射させる第２分散素子３３を有し、第２分散素子３３は、第１分散素子３１ａ，３１ｂの偏光特性を相殺するような偏光特性を有する。 （もっと読む）

【課題】容易に配線を接続可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、光分析装置、及び波長可変干渉フィルターの製造方法を提供すること。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５では、第１基板５１の第２基板５２との対向面に第１電極５３、第１電極５３から延出する第１電極引出部５３１Ｌ，５３２Ｌ、および少なくとも一部が第２電極引出部５４２Ｌと対向する第３電極引出部５４３Ｌを設け、第２基板５２の第１基板５１との対向面に第２電極５４および第２電極５４から延出する第２電極引出部５４２Ｌを設け、第２電極引出部５４２Ｌおよび第３電極引出部５４３Ｌが設けられた引出部形成溝５１５と、引出部形成溝５１５と外部とを連通する貫通孔５２４と、貫通孔５２４に接続される引出部形成溝５１５に配置され第２電極引出部５４２Ｌと第３電極引出部５４３Ｌとを導通させる導電性部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】分解能の高い光フィルターを提供する。
【解決手段】表面研磨された第１研磨平面を有する第１基板５１と、第１基板５１に対向し、第１研磨平面に対向する表面研磨された第２研磨平面を有する第２基板５２と、第１研磨平面に設けられた第１反射膜５６と、第１研磨平面に設けられ第１反射膜を覆うＳｉＮ膜５８と、第２研磨平面に設けられ、第１反射膜に対向する第２反射膜５７と、第１反射膜５６および第２反射膜５７の間に反射膜間ギャップを形成するＳｉＯ₂膜５３と、ＳｉＯ₂膜５３と第２基板５２との間に形成された金属膜６０とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡明な構成で、異なる波長の光を任意に選択して出力可能な出力波長選択型のレーザ装置を提供する。
【解決手段】本発明は、波長変換部に複数の波長変換光学素子を有し、レーザ光出力部から出力された基本波レーザ光を波長変換して出力するレーザ装置である。そのうえで、複数の波長変換光学素子を透過して出射される複数波長の多成分光を個々の波長の光に分光するプリズム５１と、プリズム５１を回動させる回動ステージ５５と、回動ステージ５５の作動を制御するステージ制御部８０とを備え、ステージ制御部８０は、選択された波長の光が出力ポート３ｐから出力されるように回動ステージ５５の作動を制御する。 （もっと読む）

【課題】マスクを用いることなく、１つの基板上の配向膜に複数の異なる配向領域を形成する。
【解決手段】光ビーム照射装置（２０）は、二方向に配列した複数のミラーの角度を変更して光ビームを変調する空間的光変調器（２５）、空間的光変調器へ供給される光ビームの入射角度を調節する調節装置（５０）、描画データに基づいて空間的光変調器を駆動する駆動回路（２７）、及び空間的光変調器により変調された光ビームを照射する照射光学系（２６ａ，２６ｂ）を有する。調節装置により空間的光変調器へ供給される光ビームの入射角度を調節して、空間的光変調器により変調された光ビームを照射光学系へその光軸に対して斜めに入射させ、照射光学系からチャックに支持された基板（１）へ直線偏光の光ビームを斜めに照射する。 （もっと読む）

【課題】エレクトロウェティング方式の液体光学素子において、電極と導電性液体との間の絶縁の破壊等による導電性液体の電気分解に起因して発生する気泡により容器内部の圧力が上がり封止部等から液体が漏れるのを防止する技術を提供する。
【解決手段】液体光学素子１０は、不混和な導電性液体５と非導電性液体６が封入された容器１と、導電性液体に対して絶縁された第１の電極２と、導電性液体に直接接する第２の電極９を有する。第１の電極２と第２の電極９との間に電圧を印加することにより導電性液体５と非導電性液体６の界面の形状が制御される。絶縁の破壊で導電性液体５に一定以上の電流が流れることにより生じる気泡の発生を抑止する抑止手段８が、電圧を印加するための電気回路の液体光学素子１０中の部分に設けられている。 （もっと読む）

【課題】高精度な分光測定が可能な光学装置を提供する。
【解決手段】光学装置１は、テレセントリック光学系３１と、波長可変干渉フィルター５と、検出部３２と、を備え、波長可変干渉フィルター５は、第一基板５１と、可動部、および保持部を備えた第二基板５２と、第一基板５１に設けられた第一反射膜５６と、可動部に設けられた第二反射膜５７と、可動部を変位させる静電アクチュエーターと、を備え、第一反射膜５６および第二反射膜５７には、可動部の変位量が最大となった際に、測定中心波長を中心に予め設定された許容値以内となる波長の光を透過可能な測定有効領域Ｇが設定され、テレセントリック光学系３１は、入射光の主光線が平行、かつ第一反射膜に対して垂直となるように、入射光を前記波長可変干渉フィルターに導くとともに、測定有効領域Ｇ内に入射光を集光させる。 （もっと読む）

【課題】光学部材の固定後にも光学部材の調整時と同等に広い透過帯域を有する波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】波長選択スイッチ１００は、波長分割多重信号が入出力される入出力ポート１１０と、入力ポート１１０ａから射出された光を分散させて波長帯域の異なる複数の光ビームを生成する分散素子１３０と、生成された複数の光ビームを集光するとともに互いに平行に偏向する集光素子１４０と、互いに平行に偏向された複数の光ビームをそれぞれ偏向する複数の可動ミラー１６２を有するＭＥＭＳミラーアレイ１６０と、集光素子１４０とＭＥＭＳミラーアレイ１６０の間に配置された光学的に透明な平行平板１５０とを有している。平行平板１５０は、複数の光ビームの中心を複数の可動ミラー１６２の中心に合わせるように、集光素子１４０の光軸１４２に対する傾きが調整されている。 （もっと読む）

【課題】可動部を低い駆動力で揺動させることが可能な光偏向装置を提供すること。
【解決手段】光偏向装置は、基板と、平板形状の可動部２２０と、可動部２２０の端部２４２ａに接続されている突出部２４１ａと、突出部２４１ａと同一の中心軸２４０を有するように、可動部２２０の端部２４２ｂに接続されている突出部２４１ｂと、基板上に設置されており、突出部２４１ａの中心軸２４０の周囲を取り囲んでいる規制部２５０ａと、基板上に設置されており、突出部２４１ｂの中心軸２４０の周囲を取り囲んでいる規制部２５０ｂと、可動部２２０を揺動させる固定電極２０４ａ、２０４ｂと、を備える。規制部２５０ａで突出部２４１ａが支持されており、規制部２５０ｂで突出部２４１ｂが支持されていることで、可動部２２０が基板の上方に離反した位置で中心軸２４０の周りに揺動可能に支持されている。 （もっと読む）

【課題】筐体とケーブルとの間に発生する異音を低減することができる光スキャナと、その光スキャナを利用した画像投影装置とを提供すること。
【解決手段】ミラー部と一対の捩れ梁部と本体部とを有する平板状の構造体と、構造体が固定される筐体と、構造体に設けられた駆動部と、駆動部を駆動するための電力を伝達するケーブルとを備える光スキャナである。ケーブルは、第１固定部分と、第２固定部分とにおいて、筐体に対して固定される。第１固定部分では、筐体の一部である第１筐体部分と、ケーブルの一部であってケーブルの一端に存在する第１ケーブル部分とが固定される。第２固定部分では、筐体の一部であって第１筐体部分とは異なる位置に存在する第２筐体部分と、ケーブルの一部であって第１ケーブル部分よりも構造体から離間した位置に存在する第２ケーブル部分とが固定される。 （もっと読む）