【課題】精度良く形状を調製することの出来る針状体製造方法を提供する。
【解決手段】針状体製造方法は、単結晶シリコン基板１０に針状体形状１１を形成し、針状体形状が形成された単結晶シリコン基板に結晶異方性ウェットエッチング処理を施す。結晶異方性ウェットエッチングは結晶面によりエッチング速度が異なることが知られており、結晶異方性エッチングを行うことで特定の結晶面のみを表出することが出来る。このため、針状体形状を形成した後に結晶異方性エッチングを行うことで針状体１５の形状を結晶面に準拠として調製を行うことが出来、精度良く形状制御を行うことが出来る。 （もっと読む）

【課題】特に耐薬品性に優れると共に、通路の一部に触媒を付設した機能性通路を高精度、かつ製造も容易で量産性に優れている構成を提供する。
【解決手段】耐薬品性に優れた基材に設けられて触媒１５を一部に設けた流路２１を有しているマイクロ化学プラントの製造方法であって、前記基材として樹脂粉末を該樹脂粉末中に、前記触媒を配置した状態で圧縮する予備成形工程と、該予備成形工程で得られた圧縮体を焼成する焼結工程と、該焼結工程で得られた焼結体２Ａにドリル等の機械加工により触媒１５に通じる通路２１を形成する通路形成工程とを経ることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、中央に孔を設けた形状のマイクロニードルの製造に適したマイクロニードル製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のマイクロニードル製造方法は、基板に孔を設け、孔に充填剤を充填し、該充填剤の一部変形させ、基板にエッチングを行うことを特徴とする。本発明の構成によれば、充填剤の一部をマスクとして基板にエッチングを行うため、マイクロニードルの突起の部位の位置と、孔の部位の位置とが、ずれることなく１対１で対応するように、孔を設けたマイクロニードル形状を形成することが出来る。よって、中央に孔を設けた形状のマイクロニードルを好適に製造することが出来る。 （もっと読む）

【課題】電極を微細流路の内表面の複数形成することにより、流路内を流れる液体の濃度、あるいはまた液体中の目的物質の濃度等を正確に検出することができる微細流路構造体及び微細流路構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜からなる電極２ａ，２ｂ，２ｃが形成された基板１ａ，１ｂ，１ｃが順次積層された積層体に、所定の断面形状の微細流路３が形成された微細流路構造体１０であって、前記微細流路３が前記積層体の積層方向αに対して垂直な垂直方向βに形成されると共に、前記微細流路３の内表面３ａ、３ｂは、前記積層体の積層方向αに対して鋭角の角度θを有し、前記電極２ａ，２ｂ，２ｃが前記微細流路３の内表面３ａ、３ｂの積層方向αに複数露出して形成されている。 （もっと読む）

【課題】 反応媒体を安定して反応させることができる反応装置を提供すること。
【解決手段】
高温部１ａと低温部１ｂとを有する基体２と、前記高温部１ａと前記低温部１ｂとを連通するとともに、前記低温部１ｂから前記高温部１ａへ反応媒体が流動する第１流路２ａと、前記高温部１ａと前記低温部１ｂとの間に設けられ、冷媒が流動する第２流路３ａと、を備えたものである。
また、好ましくは、前記反応媒体は、前記低温部１ｂで、複数の異なる媒体が合流することで構成されることを特徴とするものである。 （もっと読む）