【課題】 洗浄糸を固定する芯材が直線の定形性を堅固に保持できるようにし、また、芯材に洗浄糸を均一かつ密にさらに堅固に固定できるようにすることにより、自動洗浄装置に好適に適用できると共に、洗浄糸が芯材から外れることを防止できる洗浄用ブラシを提供する。
【解決手段】 本発明による洗浄用ブラシは、円周方向に対して所定の間隔を置いて、軸方向に凹溝部１１が設けられていると共に、凹溝部１１の間に羽根部１２が設けられた芯材１と、芯材１の外周に嵌挿される複数の固定リング２と、長手方向の中間部が折り曲げられ、この折り曲げ部３１が各固定リング２に係合されると共に、前記凹溝部１１に嵌挿されている洗浄糸３と、前記各固定リング２を密着固定するために芯材１の長手方向に設けられた密着固定手段４とを備えることを特徴とする。
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【課題】 ロボットカメラにこびりついた汚れを効果的に除去し、かつ、短時間で一連の清掃作業を遠隔操作で行う。
【解決手段】 ロボットカメラに対向する位置に設置する筐体と、該筐体を設置場所に固定する脚とを有するロボットカメラメンテナンスボックスであって、前記筐体前面に設けられた開閉自在の扉と、前記筐体上部に設けられ、液体を噴射するウォッシャーノズルと、ロボットカメラのハウジングに設けられた前面ガラス面を洗浄する洗浄ブラシと、前記洗浄ブラシによる洗浄後のガラス面を乾燥させる乾燥手段と、前記筐体内部に設けられ、前後左右に動き、かつ前記洗浄ブラシ及び乾燥手段を支持する支持腕部材とを具備するものである。 （もっと読む）

【課題】 基板洗浄装置の工程流れ方向に対するコンパクト化を図りつつ、基板の支持を確実化させると共に、基板のエッジ部分の異物残存を回避し、製品歩留まりを向上させる。
【解決手段】 基板２を移送しつつ、スクラビング洗浄工程、リンス洗浄工程、および乾燥工程を順次実行する基板洗浄装置１において、スクラビング洗浄工程を実行する第一の槽４と、リンス洗浄工程および乾燥工程を実行する第二の槽５とを備える。そして、第二の槽５に、基板２を垂直姿勢に保持してスピンリンス洗浄およびスピン乾燥を行うための単一のスピン部５８を配備する。 （もっと読む）

【課題】 （１）ユーティリティが電源を不要としエアーのみで作動すること、（２）防水性が高いこと、（３）最大３００往復／分の高速でブラシを駆動することができること、そして、（４）簡易、軽量な構造であり、メンテナンスが容易であること、以上の可能な往復運動式ブラシを提供することを目的とする。
【解決手段】 複動式両ロッドエアシリンダにより駆動される往復運動式ブラシの往復運動を、ブラシホルダーに取付けたストライカによってトグルを揺動させ、該揺動するトグルの他端でメカニカルバルブを切替操作し、制御すること。 （もっと読む）

【課題】 被洗浄基板に接触するスポンジ等の洗浄部材の装着が容易で、被洗浄基板の縁部まで洗浄範囲とすることができ、洗浄部材の押付力の変化によって被洗浄基板との接触面積が変化しにくく、被洗浄基板の膜面にダメージを与えることがない洗浄具及び該洗浄具を用いた基板洗浄装置を提供すること。
【解決手段】 基板洗浄装置に用いる洗浄具であって、洗浄具は被洗浄基板の洗浄面に接触させる洗浄部材１と該洗浄部材１を保持する洗浄部材保持機構２とを具備し、洗浄部材保持機構２は下方部が複数のチャック爪４ａに分割された挟持部材（スリーブ）４と、該挟持部材の外周に嵌入されるリング部材５を具備し、該挟持部材の複数のチャック爪４ａで形成された挿入穴に該洗浄部材１の端部を挿入し、該リング部材５を該挟持部材の外周に嵌入することにより、該複数のチャック爪４ａで該洗浄部材１を締め付け固定する構造、即ちコレットチャック構造とした。 （もっと読む）

【課題】 キャリアをブラシ洗浄する際に、ブラシの回転駆動に伴って発生するパーティクルによる洗浄度低下を防止する。
【解決手段】 回転ブラシを駆動するためのモータ３８ａを水平アーム３２内に収容する。水平アーム３２の先端部から下方に延出する垂直アーム３３の下端部に、回転ブラシの回転軸３５を支持する軸受３４を取付け、モータ３８ａの回転を垂直アーム３３内のベルト３８ｅを介して回転軸３５に伝達する。回転ブラシを支持するアームをケースにして、回転ブラシの回転駆動部３８をこのケース内に収容したことにより、ブラシの回転駆動に伴って発生するパーティクルの洗浄槽への落下が防止される。 （もっと読む）