【課題】本発明は、表面に付着したスケールを完全に除去可能な鋼管の酸洗方法及び酸洗装置を提供することを目的としている。
【解決手段】クレーンに支持され、互いに離隔して一列に配置した複数のフックで水平に吊った鋼管の束を、酸洗槽に保持した酸洗溶液に浸漬して、表面スケールを洗浄する方法及び装置を改良した。その改良した酸洗方法は、酸洗槽の底部の前記フックと干渉しない位置に、降下した鋼管の束を受けてその堆積断面形状を変化させる複数の案内部材を設け、前記酸洗溶液中で前記フックを一定周期で繰り返し昇降させて鋼管同士を擦り合わせるようにしたものである。 （もっと読む）

吹付ディスペンサーによりフォームの形態で洗浄すべき表面に適用される、硬表面のための水性洗剤が開示される。この洗剤は、脂肪アルコールスルフェートおよび／または脂肪酸サルコシネートならびにイソプロパノールおよびブチルグリコールを含有する。本発明の洗剤は、硬表面、特にガラスの縞形成のない洗浄のための方法において使用することができる。洗浄フォームの分解を、硬表面を洗浄するための適切な使用中に、はじけ音の形態で聴くことができる。 （もっと読む）

【課題】基板の裏面に吸着跡を付けることのないチャックを提供する。
【解決手段】基板の裏面を真空吸着して固定保持するスピンチャックの吸着面３２ｄには、樹脂材料を切削加工したときの削り屑や樹脂に含まれる成分の粒子等の異物９９が付着している。そのような吸着面３２ｄを導電性ポリマーを主成分とする光硬化型のアクリル系樹脂の樹脂膜３９によって被覆する。これにより、吸着面３２ｄに付着していた異物９９を樹脂膜３９によって覆って表面に露出させないようにすることができ、その結果、スピンチャックの吸着面３２ｄに基板を真空吸着したときにも、その裏面に異物９９が付着したりキズを付けたりするのを防ぐことができ、吸着跡の付着を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、研磨装置を用いて厚み研磨あるいは、表面鏡面加工を行った後に研磨装置からウエハー状態の圧電素板を効率良く回収するための作業手順を実現することを目的とする。
【解決手段】 課題を解決するために本発明は、圧電素板の表面研磨に研磨装置を用いて、前記圧電素板の厚み研磨あるいは、表面鏡面加工を行った後の前記表面研磨装置から前記圧電素板を回収する圧電素板の処理方法において、前記厚み研磨あるいは、表面鏡面加工を行った後、前記圧電素板を専用トレーに回収する工程と、専用トレーを複数個まとめて格納する洗浄枠に収納し洗浄工程で洗浄する工程と、前記洗浄処理後乾燥工程で乾燥する工程を一貫して処理することにより課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 ブラシ部に超音波振動を与え、このブラシ部の超音波振動によって対象物の表面を清浄に擦掃洗磨することができる超音波振動式磨洗具を提供すること。
【解決手段】 比較的剛性な多数の繊維が植設されているブラシ部1とこのブラシ部1を洗浄対象面に摩擦させて研磨するための棒状の把手部2とを有している磨洗具であって、
前記把手部2には、高周波のインパルス電圧が入力したとき当該パルス電圧の周波数に応じた超音波振動を励起する圧電素子３と；この圧電素子３に対しインパルス電圧を出力するインパルス発生器４とが内蔵されており、前記圧電素子３の発生する超音波振動が前記ブラシ部１の繊維群に伝達されることによってブラシ部１に植設された繊維群先端が超音波振動して対象物の表面を微細に擦掃洗磨するように構成するという技術的手段を採用した。 （もっと読む）

【課題】適量の洗浄液で被洗浄ローラ保持シャフトへの汚れの再付着或は前記洗浄布の清潔な部分への汚れの再付着を防止し、効率良く洗浄することができるローラ保持シャフト洗浄装置を提供すること。
【解決手段】被洗浄ローラ保持シャフト１を洗浄する洗浄布２と、洗浄布２を張設するためのガイドローラ３と、同様に洗浄布２を張設し、且つ、洗浄布２に洗浄液を供給する洗浄液供給シャフト４と、被洗浄保持シャフトと洗浄布の接触圧を調整するテンション調整ローラ５と、前記テンション調整ローラ５を軸と垂直方向に引張る引張り機構６と、洗浄布２を送り出す洗浄布送り出し機構７と洗浄布２を巻き取る洗浄布巻き取り機構８と、洗浄布２に洗浄液を供給する洗浄液供給機構９とでできるローラ保持シャフト洗浄装置を構成する。 （もっと読む）

エッチングチャンバ、レジスト剥離チャンバ等の、半導体基板が処理されるプラズマ処理チャンバ用の構成要素の石英表面のウェット洗浄方法は、石英表面を、少なくとも一つの有機溶媒、塩基溶液及び複数の異なる酸溶液と接触させて、石英表面から有機汚染物質及び金属汚染物質を除去する工程を含む。石英表面は、好ましくは、少なくとも２回酸溶液の一つと接触させられる。 （もっと読む）