【課題】三次元集積回路の段数に応じたチップサイズの変化やチップ中心位置のずれに対応することが可能な一括保持トレイを提供する。
【解決手段】一括保持トレイ４６を、第一の吸引経路５５を有する本体部４７と、本体部４７に着脱自在に装着されるアタッチメント４８と、から構成する。アタッチメント４８は、複数のチップ２０を吸着する複数の吸着部５０と、複数の吸着部５０から気体を吸引する第二の吸引経路４９と、を有する。アタッチメント４８を本体部４７に装着するとき、複数の吸着部５０で複数のチップ２０を吸着できるように本体部の４７第一の吸引経路５５がアタッチメント４８の第二の吸引経路４９に繋がる。複数のチップ２０を吸着するアタッチメント４８を本体部４７に対して交換可能にすることで、三次元集積回路の段数毎のチップサイズの変化やチップ中心間ピッチの変化に対応することができる。 （もっと読む）

【課題】平面部、段差、凹面、凸面等に対応してワークを把持することができ、ワークへの押付け力を制御することができ、ワークの姿勢を吸着時のままに保持して搬送できるワーク倣い機能付きロボットハンドを提供する。
【解決手段】ワーク１の上面１ａに対し、水平方向に間隔を隔てて配置され、その下面でワークを吸着する複数の吸着部材１２と、各吸着部材をワークの上面に沿って揺動可能に支持するジンバル機構２０と、各吸着部材をワークの上面に向けてそれぞれ付勢し、かつそれぞれの揺動位置で保持する付勢ロック機構３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】電子部品の被吸着面が傾いていても、電子部品を確実に真空吸着でき、圧力分布が均一になるように電子部品を押圧できる電子部品移送装置用吸着ヘッドを提供する。
【解決手段】（ａ）電子部品移送装置に固定される固定部１２と、（ｂ）固定部１２に保持され、固定部１２から突出する先端部２０と、（ｃ）第１部材３０と、（ｄ）第２部材４０とを備える。第２部材４０は、先端部２０及び第１部材３０よりも突出する先端面４２ｓに、電子部品を真空吸着するための吸着孔４８が形成されている。第２部材４０は、先端面４２ｓと平行な第１軸３４を中心に揺動自在に第１部材３０に支持される。第１部材３０は、第２部材４０の先端面４２ｓと平行かつ第１軸３４と交差する第２軸２４を中心に揺動自在に固定部２０に支持される。 （もっと読む）

【課題】コンパクトに構成することができると共に、ＩＣデバイスの保持状態を維持したまま、保持形態を非接触保持と吸着保持との間で円滑に切り替えることができる吸引保持ハンド等を提供すること。
【解決手段】ＩＣデバイス１を非接触保持する専用ベルヌーイチャック６２ａと、ＩＣデバイス１を非接触保持および吸着保持が選択的に為される兼用ベルヌーイチャック６２ｂと、専用ベルヌーイチャック６２ａおよび気体供給源１０１を接続した専用チューブ１１１ａと、兼用ベルヌーイチャック６２ｂおよび気体供給源１０１を接続した兼用チューブと、兼用ベルヌーイチャック６２ｂおよび真空吸引源１０２を接続した真空吸引流路と、第２気体供給流路に介設された分岐部開閉バルブ１２５と、真空吸引流路に介設された真空部開閉バルブ１２６と、両開閉手段１２５，１２６を制御する制御装置１０５と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】被吸引保持面が平坦ではないワークであっても、非接触で吸引保持することができる吸引保持ハンドを提供すること。
【解決手段】レンズＬを非接触で吸引保持するベルヌーイチャック、およびベルヌーイチャックを下向きに保持するチャック垂設部７１から成る複数のチャックユニット２と、複数のチャックユニット２を下向きの状態でそれぞれ首振り自在に保持するユニットヘッドと、下流端が複数のベルヌーイチャックに接続されると共に上流端が気体供給源に接続され、複数のベルヌーイチャックに気体を供給する気体供給流路６２，８７，８８と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 バキュームパッド装置がぶれることなく安定して被搬送物の搬送を可能とし、バキュームパッドの破損を防止できると共に摩耗を防止可能なバキュームパッド装置の提供。
【解決手段】 ハンド部２にはハンド部２に対し上下方向へ摺動自在なスプリングシフト３を設け、スプリングシフト３とハンド部２との摺動部２１には摺動を停止可能なブレーキ手段５を備え、スプリングシフト３の下方端にはバキュームパッド４を備え、更にスプリングシフト３にはバキュームパッド４を下方へ付勢する付勢力を付与可能なコイルバネ３３を備え、バキュームパッド４はハンド部２が下降されてスプリングシフト３がハンド部２に対し摺動移動されコイルバネ３３により付与される付勢力によって被吸着物に押圧当接されて吸着し、被吸着物を吸着後、ハンド部が上昇する際にブレーキ手段５がスプリングシフト３とハンド部２との摺動を停止可能に構成する。 （もっと読む）

ハウジング１の開口部１ｂ内のチューブ部材１５上に、吸着部１６ａと少なくとも３点でハウジング１の開口部内壁の点接触する半球面状に湾曲した接触面部１６ｃとを設けた吸着パッド１６を載置し、この吸着パッド１６と摺動部材９との間に細い糸２４を張架した。
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