【課題】孔径の異なる複数種類の吸着ノズルを対象として、吸着ノズルの有無検出を安定して適正に行うことができる電子部品実装装置および電子部品吸着用の吸着ノズルを提供することを目的とする。
【解決手段】電子部品を真空吸着によりピックアップして基板に実装する電子部品実装装置のノズル装着部に交換自在に装着される電子部品吸着用の吸着ノズルにおいて、流量センサによって計測された真空吸引回路の流量値を判定用のしきい値と比較することによりノズル装着部における吸着ノズル１１２の有無を検出するノズル有無検出に際し、ノズル装着部に吸着ノズルが装着されていない状態における流量値と当該吸着ノズルが装着された状態における流量値とをしきい値によって切り分けが可能となるように、吸着ノズル１１２の内部流路孔１１２ｆに当該内部流路孔の孔径よりも小さい絞り径の絞り部１１２ｇを設ける。 （もっと読む）

【課題】吸着パッド内の圧力状態を確認できるワーク吸着装置を提供する。
【解決手段】吸着パッド１０ａの鍔部１１背面に、ひずみゲージ５０を接着した。さらに、カバー体４０ａのカバー体鍔部４１であって、ひずみゲージ５０と対向する部位に、挿通孔４３を形成すると共に、ひずみゲージ５０に接続されたリード線５１を該挿通孔４３に挿通させた。そして、このリード線５１を、出力検知装置５８に接続された。この出力検知装置５８は、ひずみゲージ５０に生じた歪みを検知すると共に、歪みを検知したことを出力する。かかる構成にあって、吸引装置２が非作動で、被吸引空域１８が大気圧状態である場合は、吸着パッド１０ａの鍔部１１は所定の原形を維持し、ひずみゲージ５０に歪みは生じない。一方、吸引装置２が作動して、被吸引空域１８が真空状態となると、ひずみゲージ５０が歪み、出力検知装置５８が、これを出力する。 （もっと読む）

【課題】 吸着グリッパーの保持力を把握しつつ、移載対象物を確実に移載し得る移載システムおよび移載方法を提供する。
【解決手段】 移載対象物１１を吸着グリッパー１４で移載する場合、移載対象物１１の一部が通気性の部分を有していても、前記通気性の部分を吸着グリッパー１４で保持し移載する前に、すなわち払い出しステーション１２Ａで移載対象物１１を持ち上げる前に吸着グリッパー１４の発生保持力を把握する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、基板に反りや歪があっても、その基板にストレスを与えることなくそのままの状態で搬送できる基板搬送装置およびそれを用いた基板搬送方法を提供することである。
【解決手段】本発明の搬送装置１は、それぞれに３個ずつの吸着孔４ａ〜４ｃ，４ｄ〜４ｆを有し、ウェーハＷを表裏両面から吸着挟持する上下のフォーク２，３と、上下のフォーク２，３を開閉動作させ、ウェーハＷを挟み込んだり、開放したりする駆動部１３ａ，１３ｂと、吸着孔４ａ〜４ｃ，４ｄ〜４ｆの吸着圧力を一つ一つ個別に検知する圧力センサ６ａ〜６ｆと、その検知結果に基づいて、上下のフォーク２，３の開閉動作を制御する制御部１１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 空気漏れを防ぐとともに、装置の複雑化を防いで、吸引力を推定可能な真空吸着装置およびその吸引力推定方法を提供する。
【解決手段】 空気噴射手段３０によって真空室４０の空気を加圧した加圧状態で、正圧測定手段３２によって真空室の空気の圧力値Ｓを測定し、測定結果を出力する。この出力結果に基づくことで、ワーク２２を吸引する吸引力Ｆに影響する吸引面積Ａを見積もることが可能となる。したがって逆止弁５０の開閉状態を検出する複数の検出センサを不要として、吸引面積Ａおよび吸引力Ｆを推定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 基板吸着エラーを未然に回避できる信頼性の高い基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 基板吸着部の真空圧を検出し、検出された圧力データの演算処理を行うことにより、次に処理する基板の吸着部真空圧の変化を予測する手段及び、基板保持状態を判別する手段及び、吸着部真空圧の圧力値に応じた加速度変更手段及び、基板吸着面のクリーニング手段を備える。これにより、基板吸着面に付着する異物による吸着部真空圧の上昇によって起こる搬送装置の吸着エラーに対して、未然に吸着エラーを予測し警告信号を出力する。吸着エラーが発生する前に吸着面のクリーニングを効率よく実行することで装置の生産性を低下させない。また、突発的な吸着エラーに対しては基板保持状態を判別し、吸着圧力に応じて搬送加速度を変更することで安全に基板搬送を続行可能とする。 （もっと読む）

【課題】１つの吸気路から分岐した複数のノズルのうち何れかのノズルで電子部品の落下が発生したことを検出する電子部品落下検出方法、および１つの吸気路から分岐した複数のノズルのそれぞれに電子部品を吸着して複数の実装箇所に電子部品の実装を行う電子部品実装方法を提供する。
【解決手段】１つの吸気路から分岐したノズルに電子部品を吸着した状態で移動する多連ノズルの移動前後における吸気路内の真空圧の変化を測定する際に、多連ノズルが移動開始した時点から所定時間を経過した後でなければ移動後の真空圧を検知しないようにした。これにより、多連ノズルの何れかのノズルから電子部品が落下した場合に、移動距離が短い場合であっても移動後の真空圧を測定する時点までに吸気路内の真空圧の低下が安定し、所定の閾値と比較した結果に基づいて電子部品の落下を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】 大きな吸引力を必要とせずに可撓性ワークを吸着把持することができる可撓性ワークの吸着把持方法を提供する。
【解決手段】 可撓性ワークを吸着把持する方法であって、４つの吸着手段４，５，６，７をバンパーＷに所定圧で押し当てながら各吸着手段４，５，６，７を構成する複数の吸着部材２１，２２，２３，２４，２５の管路３２から空気を吸引する押圧吸引工程ＳＰ１と、押圧吸引工程ＳＰ１における吸着部材２１，２２，２３，２４，２５の管路３２内圧力を計測して制御部６０に送信する圧力信号送信工程ＳＰ２と、圧力信号送信工程ＳＰ２で計測された管路３２内圧力よりバンパーＷの吸着状態が吸着手段４，５，６，７毎に適正か否かを判定する吸着状態判定工程ＳＰ３と、吸着状態判定工程ＳＰ３で各吸着手段４，５，６，７による吸着が適正であると判定された場合にバンパーＷを吸着把持して移載するワーク移載工程ＳＰ４からなる。 （もっと読む）

【課題】 吸着口を物品の吸着面にセッティングし易い真空吸着装置を提供する。
【解決手段】 真空吸引管１と、前記真空吸引管の一端に設けた吸着口２と、前記真空吸引管内から前記吸着口を介して外部に光を射出する光源４とを備えた真空吸着装置により前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 真空圧を正確に計測できるようにする。
【解決手段】 基体２１に流体を噴出する噴出ノズル２３を設け、この噴出ノズル２３から噴出された流体を、コアンダ効果を利用して基体あるいは被吸着物体に沿ってガイドする一方、この流体の流れによって、ベルヌーイの定理による真空層を生じさせる吸着装置を前提にする。そして、流体の流出経路から外れた箇所に、真空圧検出ポート２９を設けるとともに、この真空圧検出ポート２９に真空圧計測器３０を接続している。 （もっと読む）

【課題】 試料を保持するための吸着圧力を小さくすることにより、試料に与えられる損傷を防止することが可能な真空チャック装置及び吸着圧力制御方法を提供する。
【解決手段】 真空チャック装置１を、吸着用パッド１１と、吸着用パッド１１内の吸着圧力を検出するための真空センサ１４と、吸着用パッド１１と真空源１３とを連通する通路１２を流れる気体流量を検出する流量センサ１５と、を備えて構成し、検出される吸着圧力が所定の閾値圧力を超え、かつ検出される気体流量が所定の閾値流量を下回るとき吸着用パッド１１に印加する吸着圧力を低減する。 （もっと読む）