【課題】仮に激しい火花が発生したとしても、火花を所望の位置で消火することができる加工機を提供する。
【解決手段】加工機１は、工具３３による工作物Ｗの加工の際に発生する火花を飛び入らせるための流体溜まり池Ｐを形成する溜まり池形成部材５１を備える。これにより、発生した火花は、溜まり池形成部材５１に溜まっている流体の中に流入する。従って、火花は、流体によって消化される。 （もっと読む）

【課題】研磨に伴う毒性の高いガスの発生を速やかに検知し危険性に対して、有効な回避策を実施でき、現実の研磨プロセス並びに研磨装置に適用できる化学的研磨終点検知技術を用いて研磨する研磨方法、及び研磨装置を提供すること。
【解決手段】研磨テーブル１１の研磨面１１ａに被研磨基板Ｗを押圧し、該被研磨基板Ｗと研磨面１１ａの相対運動により該被研磨基板Ｗを研磨する研磨方法において、研磨テーブル１１の研磨面１１ａ直上にガスを吸引するガス吸引パイプ５２を設け、該ガス吸引パイプ５２のガス吸引口５２ａより該研磨面１１ａ上の雰囲気ガスをガス検知器５３に吸引し、該雰囲気ガス中の特定成分ガスを監視しながら研磨する。 （もっと読む）

【課題】 ゴムロール両側の芯金軸の一方の軸面を把持固定して回転駆動させる際の回転振れの初期精度を高め、精度低下を抑制しながらゴムロールを研削することで、研削後のゴムロールの外径振れ寸法を長期間に亘り高精度に維持するゴムロールの製造方法及びゴムロールを提供すること。
【解決手段】 芯金軸上に円周上に設けられた加硫ゴムの弾性層を有するゴムロールの外周面を該ゴムロールの左右に突出している該芯金軸の一方の軸面を把持固定して回転駆動させ、他方を従動回転させる手段を有し、該ゴムロールを回転させた状態にして砥石を接触させて研削するゴムロールの製造方法において、
該芯金軸を把持固定するチャック爪が６分割以上、１６分割以下であり、該チャック爪の開閉動作がダイヤフラムの押し撓みの変形による力を利用するダイヤフラム式チャックで該芯金軸を把持固定するゴムロールの製造方法及び該製造方法によって作製されたゴムロール。 （もっと読む）

【課題】 集塵機の負荷を小さくでき、集塵効率も高めることのできる研削・切断装置を提供する。
【解決手段】 回転砥石を有する研削・切断機が、開閉扉１４を有する密閉ケーシング１２内に配置された研削・切断装置１０において、ケーシング１２内に飛散する削り屑を収集すべく吸入口２２ａがケーシング１２内に開口されると共に、削り屑が回収された後の空気をケーシング１２内に戻すべく吐出口２４ａがケーシング１２内に開口された集塵機２０を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来の長尺物の表面加工装置では、長尺物の表面から脱落あるいは削除されたスケールや研削材等が異物として弾性ローラに付着残存するために、弾性ローラの研削機能が低下したり、異物の一部が長尺物に付着して長尺物を汚したりする。
【解決手段】回転軸1・2を相互に平行させ相対向して軸支されて対を成しそれぞれの対が適宜の間隔をおいて配置されて長尺物を挟持可能でありかつ長尺物の移動方向または反対方向へ回転可能な２対以上の弾性ローラ3・4と、対を成す弾性ローラ3・4を相互に接近・離隔する接近離隔手段５と、弾性ローラ3・4を回転させる回転手段6と、対を成す弾性ローラ3・4間に粉粒体状の研削材を投入する研削材投入手段と、弾性ローラ3・4を加湿する加湿手段7と、を備えた長尺物の表面加工装置において、複数の弾性ローラ3・4のそれぞれの外側に、弾性ローラ3・4に付着した研削材および異物を剥離可能なスクレーパ手段２１を別途固定配設したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】相互に分離可能に連結される分割体から構成された砥石軸において、各分割体相互の連結状態を確認することができる砥石軸を提供する。
【解決手段】相互に密接する密接部（第一砥石軸７１の端面８４，第一砥石軸７１のテーパ穴８５，第二砥石軸７２の端面８６，第二砥石軸のテーパ筒８７）を夫々有し、軸方向に分離可能に連結され、分離した状態で相互の間隙を介して砥石車Ｔが着脱される第一砥石軸７１及び第二砥石軸７２と、連結された状態の前記第一砥石軸７１及び第二砥石軸７２の各密接部（８４，８５，８６，８７）の間に流体圧を付与する流体圧付与手段９２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ワークチャックにおける異物の残存率を低減することができるワークチャックの洗浄装置を提供する。
【解決手段】 多数のピン１４が下向きに突設され且つその先端で半導体ウェーハを吸着保持した状態で回転するワークチャック１２と、複数の毛束を突設すると共にワークチャック１２に毛束の先端が当接した状態で回転する表面ブラシ４１と、ワークチャック１２又は表面ブラシ４１の少なくとも一方をワークチャック１２の半径方向に変位させる変位駆動機構とを備える。 （もっと読む）