【課題】 単結晶インゴッドを切断して得られるウエハの厚みのばらつきを低減することができる単結晶インゴッドの切断方法を提供する。
【解決手段】 ワイヤソーにより単結晶インゴッドを切断する方法であって、単結晶インゴッド上に緩衝材を設置し、緩衝材を介して前記単結晶インゴッドを切断する単結晶インゴッドの切断方法である。ここで、緩衝材がグラファイトからなることが好ましく、単結晶インゴッドが半導体単結晶インゴッドからなることが好ましい。 （もっと読む）

少なくとも２つの同様のブロックから複数の薄いウェハを形成するための装置であって、この装置は、ワイヤを供給する供給リール（１）と、平行に離間した上部のローラガイドの対（３ａ、３ｂ）及び下部のローラガイドの対（３ｃ、３ｄ）と、収集リール（４）と、を備え、供給リールからのワイヤは、連続する溝部の周りにローラガイドに添って、供給リールの近傍から収集リールの近傍へ巻きつけられ、ローラガイドの長さに沿って４面の連続的なワイヤのウェブを形成する。ローラガイドに沿った途中で、ワイヤは少なくとも２つのプーリのホィール（５ａ，５ｂ）の周りで方向を転じられ、ローラガイドを通過した後の前以て決められた点でウェブからワイヤを取り外し、ワイヤがウェブから離れる点から横方向にずれた点で、後続のローラガイドを介して、ワイヤをウェブの中に再導入し、よって、ワイヤのウェブに隙間が生じ、この隙間はウェブを２つの別々の部分に分割し、この隙間では切断動作が生じ得ない。
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ワイヤソーとウェハの安定化システムが、ソーイング工程中の振動及び好ましくない移動に対してウェハの区画（１１２）を一様に保持するために提供されている。安定化手段（１１４）は、ウェハの部分がシリコン材料のインゴットまたはブロックから部分的に切り出されるときの初期段階で、部分的に形成されたウェハの区画の端部に適用される。安定化手段は、後続のソーイング工程中の振動、揺動、又は好ましくない接触に対してウェハの区画を安定化するように働く。また、安定化手段は、スライスが完了した後のウェハの処理を加速し、洗浄工程を容易化し、カセットの中へのウェハのより迅速な、若しくは自動化された収容を可能とする。安定化システムによって生産されたウェハは、最小化された全体的な厚みのばらつき、実質的に均一な平面度、及び実質的に曲がりまたは撓みがないことによって特徴付けられる。
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この発明に係るワイヤソーは、被加工物とワイヤとの切断界面にアルカリまたは混酸を含むスラリを供給しながら前記被加工物を切断するマルチワイヤソーであって、前記スラリを貯蔵加熱するための加熱機構付貯蔵タンクと、前記加熱機構付貯蔵タンクから前記ワイヤが前記被加工物に繰り込まれる手前の位置までポンプにより送出された前記スラリを所定の温度に維持しながら搬送する保温パイプと、ステージに固定された前記被加工物の近傍の温度を前記所定の温度に維持する恒温槽と、前記ワイヤを前記所定の温度に加熱するワイヤ加熱機構とを備えている。その結果、シリコンインゴット切断加工時の切断抵抗が低減されるとともにそのばらつきが小さくなり、高品質のウエハを高効率・低コストで得ることができる。
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【課題】 加工用ワイヤを垂直方向に保持した状態で行う内径ラップ加工を実現するために最適な内径ラップ加工用ワイヤ及びこのワイヤを有効に利用したワイヤ式内径ラップ加工方法を提供すること。
【解決手段】 ワークＷに設けられた穴Ｗａに挿通されて、前記ワークＷの内径ラップ加工を行う際に用いられる加工用ワイヤ２（２ａ，２ｂ）であって、前記加工用ワイヤ２の両端部には、該加工用ワイヤ２を係止するための挿着部材として機能する金具２１，２２を取り付ける。かかる構成の加工用ワイヤ２を利用して、垂直方向に加工用ワイヤ２を係止させた状態で内径ラップを行うワイヤ式内径ラップ加工方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 比較的大きな金属間化合物の結晶からなる非常に硬質な強磁性結晶粒が粒界相で囲われている金属組織を有した硬質な焼結希土類磁石合金を歩留りよく且つ滑らかな表面をもつ小さな部品に切断する。
【解決手段】 強磁性結晶粒の周囲にそれより易被削性の粒界相を有する焼結希土類磁石合金に線径１.２ｍｍ以下の可撓性線材を押し付け，砥粒を分散媒に分散させてなる砥液を該合金と線材との間に介在させつつ，該線材をその軸方向に移動させることを特徴とする焼結希土類磁石合金の切断法。 （もっと読む）

【課題】 切断面の平坦度を高めつつ、ローラの磨耗を抑制して長時間の連続運転を可能にした希土類合金の切断方法を提供する。
【解決手段】 砥粒を固着させたワイヤに１９．６Ｎ以上３９．２Ｎ以下の張力を与えながら希土類合金を切断する。エステル系ウレタンゴムから形成されたローラを用いてワイヤを駆動し、ローラ磨耗を抑制する。４０℃における粘度が４．０から４０．０［ミリパスカル秒］の範囲内にある切削油を供給しながら切断を行い、希土類合金の切断する際に生じた合金スラッジを切削油内から磁力によって分離する。 （もっと読む）

【課題】 溝付きロール間に巻き回されたスライス用ワイヤの張力を、巻き回し全体において均等化することのできるマルチワイヤソー装置を提供する。
【解決手段】 スライス用ワイヤ４の溝付きロール１、２への巻き回しの中から、所定のターン数のグループ１５、１６を引き出し、これを外部ロール７、８に張架する。外部ロール７、８をエアシリンダ９、１０により変位させることによって、外部ロール７、８に張架されたグループ１５、１６のスライス用ワイヤ４の張力を調整し、この張力調整によって溝付きロール１、２間を走行するスライス用ワイヤ４の張力を均等化させる。 （もっと読む）

【課題】ソーマークの発生を抑えることのできるワイヤソーの切断方法及び装置を提供すること。
【解決手段】制御装置３２は、固定砥粒付ワイヤ１４の走行方向の切り換えの際に、圧電素子８８に電圧を印加し、インゴット２６を所定量変位させる。この変位量は、固定砥粒付ワイヤ１４の走行方向の切り換えの際の固定砥粒付ワイヤ１４変位量に等しく設定される。これにより、固定砥粒付ワイヤ１４とインゴット２６との位置関係は、常に等しくなり、ソーマークの発生が抑制される。 （もっと読む）