【課題】被研磨面をより平滑に仕上げることができるとともに、特に細い溝や小径の穴の側壁面のように極めて狭小な部分を研磨すること。
【解決手段】被研磨面Ｇｘに対面して配置される研磨工具３０と、研磨工具３０に磁場を印加する磁場印加部４０と、研磨工具３０をＺ方向に数ｍｍの振幅で、数Ｈｚで往復運動させるとともに、研磨工具３０をＸ方向に０．１〜０．９ｍｍの振幅で、数百Ｈｚで往復運動させる油圧加振機２０とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】 金属部材の表面処理において、鏡面研磨が行えるとともに酸化膜のコーチングも同一作業により行える鏡面研磨コーチング方法を提供すること
【解決手段】 研磨対象（試料１）を一方の鉄芯４の先端部に支持して研磨パッド２を他方の鉄芯５の先端部に支持し、試料１と研磨パッド２とを対面させた間に磁気研磨液３を存在させる。鉄心４，５にはコイル８，９を設けて電磁石とし、外側の他端に駆動モータ６，７を連結して回転させる。磁気研磨液３には増粘剤，非磁性の砥粒を混合しておき、駆動モータ６，７により互いを逆回転させ、コイル８，９により磁気研磨液３に所定に磁場を加える。磁気研磨液中では強磁性粒子（鉄粒子）に砥粒，マグネタイト粒子が付着し、当該付着粒体が自転して動くので研削作用し、研磨面に酸素が直ちに結合し、コーチングされる。 （もっと読む）

【課題】 精密な表面加工を可能にする磁性砥粒及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 ダイヤモンド粒子２上に磁性を有する無電解めっき層３が形成されている磁性砥粒１により、上記課題を解決した。この磁性砥粒１は、ダイヤモンド粒子２を、濃Ｈ_２ＳＯ_４／ＨＮＯ_３を用いて親水化処理し、次いで、触媒付与・増感処理を行った後、無電解めっきを行い、ダイヤモンド粒子の表面に磁性を有する無電解めっき層３を形成することにより製造できる。 （もっと読む）

【課題】 部材の表面処理において、同心状の削り加工が行えるとともに鏡面研磨も同一作業により行える削り加工と鏡面研磨の方法を提供すること
【解決手段】 研磨対象（試料１）を支持台４の上に固定し、その試料１に対して研磨バイト２を非接触に対面させて隙間には磁気研磨液３を存在させる。磁気研磨液３には非磁性の砥粒を混合し、増粘剤としてαセルロースなどを混合する。研磨バイト２は、永久磁石１１を円柱体１０の中心に埋め込んでバイト面は中心が奥底になる窪み形状とし、駆動モータ５により回転させる。永久磁石１１の磁場により研磨液中に生成した磁気クラスタが、液中の砥粒を試料１の表面に押さえつけ作用し、研磨液の流動に伴って砥粒が動き回る。試料１は定位置に支持した状態とするので周速が速い外周側で研削が進む。 （もっと読む）

【課題】粒子分散型混合機能性流体を用いて非磁性管内面を効率的に研磨できる磁気内面研磨方法及び装置を提供する。
【解決手段】非磁性管２の回りに等分に３個配設された電磁石４に三相交流電源を供給し、強磁性粒子３１、非磁性体砥粒粒子６２、磁性微粒子６３を分散媒６０中に分散させた粒子分散型混合機能性流体６を非磁性管内２ｃに供給し、非磁性管内に磁性微粒子を回りに配した略Ｖ字状の強磁性粒子からなる磁気クラスタを形成させ、非磁性体砥粒粒子を非磁性管内と磁気クラスタとで作る空間２０に閉じこめ非磁性管内壁１２を非磁性体砥粒粒子で研磨する。さらに、粒子分散型混合機能性流体を貯留するタンク７と、非磁性管内に粒子分散型混合機能性流体を供給するポンプ８と、戻し管９と、攪拌機１０を設ける。また、ポンプの吐出口８ａと、非磁性管の一方２ａとの間に、粒子分散型混合機能性流体又は空気を選択的に供給できる切換弁１３を設ける。 （もっと読む）

【課題】 より精密な表面研磨を行える磁性砥粒、及びその磁性砥粒を用いた磁気研磨法を提供する。
【解決手段】 ガスアトマイズ法で製造された磁性粒子を磁気研磨用の磁性砥粒とすることにより、上記課題を解決した。この磁性砥粒は、ガスアトマイズ法で製造するので、製造時に準備する原料粉末の組成を調整すると共に製造後に任意の熱処理等を施すことにより、極めて容易に所望の硬化相や硬化析出物を有する砥粒となっている


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【課題】被研磨面上での面内分布の悪化を回避して、ＣＭＰ後における被研磨面の高平坦化を可能にしつつ、高い研磨レートを確保して十分な削り込み量をも得られるようにする。
【解決手段】研磨定盤２上に貼付された研磨パッド１と被研磨物の被研磨面とが互いに対向するように当該被研磨物を研磨ヘッド３に装着し、前記研磨パッド１と前記被研磨面とを相対的に摺擦させることによって研磨を行って当該被研磨面を平坦化するのにあたり、磁性体が混入された研磨用スラリーを供給して前記研磨パッド１と前記被研磨物との間に介在させ、前記研磨パッド１と前記被研磨物との間に介在する前記研磨用スラリー中における前記磁性体の分布状態を、磁力を発生させることによって可変させる。 （もっと読む）

【課題】 切断面の平坦度を高めつつ、ローラの磨耗を抑制して長時間の連続運転を可能にした希土類合金の切断方法を提供する。
【解決手段】 砥粒を固着させたワイヤに１９．６Ｎ以上３９．２Ｎ以下の張力を与えながら希土類合金を切断する。エステル系ウレタンゴムから形成されたローラを用いてワイヤを駆動し、ローラ磨耗を抑制する。４０℃における粘度が４．０から４０．０［ミリパスカル秒］の範囲内にある切削油を供給しながら切断を行い、希土類合金の切断する際に生じた合金スラッジを切削油内から磁力によって分離する。 （もっと読む）