取り付け可能な研磨物品は、取り付けデバイスが付着された研磨部材を含む。この取り付けデバイスは、フランジをその上に有する締結具を含む。熱可塑性材料がフランジと研磨物品との間に配置される。本開示は取り付け可能な研磨物品の製造および使用方法にも関する。
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研磨シートまたはディスク等の研磨物品をサンディングツールに取り付けるための取付システムは、第１主面を有する物品を含み、第１主面は、サンディングツールの関連嵌合面に付着する取付材を有する取付領域と、使用者が研磨物品を掴持しかつ研磨物品をサンディングツールから分離することができるために十分弱い、関連嵌合面との取付けを形成する、第１主面の縁の少なくとも一部に沿った非取付領域と、を含む。
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コンディショニング工具（１４）の研磨表面を電気的に絶縁する電気絶縁体を有するコンディショニング工具（１４）によるウェハ平坦化方法。電気絶縁体は電気化学的に生じる腐食のレベルを低下させることによりコンディショニング工具（１４）の研磨表面の耐用寿命を延ばす。
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研磨ディスク（１２）と波形ディスク（１０）とを有するパッドコンディショナー、およびその使用方法。波形ディスク（１０）は、少なくとも１つの隆起部分（２６）と、少なくとも１つのくぼみ部分（２８）とを有する。研磨ディスク（１２）は、くぼみ（２８）部分の少なくとも一部に解除自在に取り付けられて、波形研磨表面（１６）が形成される。波形ディスク（１０）によって、複数のプロセスおよび種々の工作物に使用できるようにパッドコンディショナーを改質することができる。
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研磨物品を支持するためのバックアップパッドが開示される。バックアップパッドは、第１の主表面に結合された係合アセンブリを含む。係合アセンブリは、第１の耐久性を有する複数の第１の係合手段を含む第１の領域を包含する。係合アセンブリは、第２の耐久性を有する複数の第２の取付け手段を含む第２の領域も包含する。第１の係合手段は、第２の係合手段よりも実質的に高い耐久性を有する。

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多結晶ダイアモンド研磨要素、特に切削要素は、非平面の界面に沿って支持体、特に超硬合金支持体に結合された多結晶ダイアモンドのテーブルを有する。非平面の界面は通常、十字形の構成を有する。多結晶ダイアモンドは、高い耐摩耗性を有し、作業表面に隣接して触媒材料が希薄な領域、および触媒材料が豊富な領域を有する。触媒が希薄な領域は４０から９０ミクロンの深さまで延在し、これは先行技術よりはるかに浅い。触媒材料が希薄な領域が薄いにもかかわらず、多結晶ダイアモンド・カッタは、先行技術のそれと匹敵する耐摩耗性、衝撃強さおよびカッタ寿命を有するが、２０％の処理しか必要としない。
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【課題】主として無機粒子からなる研磨用成形体を用いた研磨用定盤により被研磨材料を研磨するにあたり、その面状態を適正に修正する方法及びそのための面修正材を提供する。
【解決の手段】面修正に用いられる修正材の修正に携わる面の一部または全面に、所定の材質からなる部材を配し、かつ当該研磨用定盤及び／または面修正材を互いに摺擦運動させながら修正液を加えつつ研磨用定盤を面修正する方法及びそのための面修正材を用いる。 （もっと読む）

【課題】 加工効率に優れる。
【解決手段】 基板１０の表面１１に、切刃稜線１４を有する複数の凸部１２を設ける。切刃稜線１４が軸線Ｏを中心とした放射方向に延びるように、凸部１２を配置する。凸部１２に、切刃稜線１４を複数に分断して、この切刃稜線１４にて生じる切屑を逃がすための空隙１５を形成する。凸部１２の上面１３を平坦面とする。複数の凸部１２の上面１３の合計面積Ｓ１と、基板１０の表面１１の面積Ｓ２との比Ｓ１／Ｓ２を、０．０００１〜０．０１の範囲に設定する。気相合成ダイヤモンド１６のコーティング層の層厚ｔを、０．５〜２０μｍの範囲に設定する。基板１０の表面１１の全面を、気相合成ダイヤモンド１６でコーティングする。 （もっと読む）