剛性基台（１１）、基台（１１）の上に固定された剛性三次元枠体（１２）、および頂面が平面であって、発生する振動の節となる位置にて剛性三次元枠体（１２）に支持固定されたボルト締めランジュバン型超音波振動子（１３）からなる振動テーブル（１０）を用いることにより、加工対象物を高い精度で機械加工することができる。 （もっと読む）

システム全体をコンパクトなものとし、また、各種基板を効率よく分断することを可能とする基板分断システムを提供すること。 本発明の基板分断システムは、互いに対向して配置された一対のスクライブライン形成手段と、前記一対のスクライブライン形成手段の一方が基板の第１面上でＸ軸方向に移動し、前記一対のスクライブライン形成手段の他方が前記基板の第２面上でＸ軸方向に移動するように、前記一対のスクライブライン形成手段を支持する一対のスクライブ装置と、前記一対のスクライブ装置がＹ軸方向に移動可能なように、前記一対のスクライブ装置を支持するスクライブ装置ガイド体と、前記一対のスクライブライン形成手段が前記基板の前記第１面および前記基板の前記第２面をスクライブするために、前記基板をＸ−Ｙ平面上に支持する基板支持手段とを具備する。 （もっと読む）

本発明は、地表面を加工するための建設機械であって、切削ドラムが設けられており、該切削ドラムの表面に、多数のツールホルダ（２３）が配置されており、該ツールホルダのツール受容部（２４）内に、ツール（３０）、特に丸シャンクツールが交換可能に受容されている形式のものに関する。そのような建設機械における工具交換を簡単に遂行することができるように、本発明により、切削ドラムに工具交換装置が対応配置されており、かつ工具交換装置が、単数または複数のツールを、ツールホルダから取外すかつ／またはツールホルダに取付けるようにした。
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