【課題】 ワイヤソーの切断装置で、駆動プーリーとワイヤーソーとの摩擦力を確保してスリップを防止させ、ワイヤーソーを適正な速度で回転させて、超砥粒層や被覆部材の異常摩耗を防止し、寿命を向上させることが可能なワイヤーソー切断装置用駆動プーリーおよびワイヤーソー切断装置を提供する。
【解決手段】 駆動プーリーの外周面に凹部が形成され、前記凹部には弾性体が設けられるとともに、前記弾性体のワイヤーソーと接する面には凹凸を有するものとする。あるいは、駆動プーリーの外周面に弾性体が形成され、前記弾性体の外周面には凹部が設けられるとともに、前記凹部の面には凹凸を有するものとする。弾性体は、熱硬化性ゴムまたは熱硬化性樹脂を使用するのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】加工精度と加工速度の向上を実現できるガラスを切断する方法であって、超短パルスレーザの照射を切断線に沿って行い改質する第１のレーザ照射と、改質部分に第２のレーザ照射を行って割断を行うレーザ切断方法を提供する。
【解決手段】
ガラスの加工物に設けられた加工始点を起点として、亀裂を熱源により発生させ、さらに割断予定線に沿って進展させる、ガラスの割断加工方法である。前記加工始点を第１のレーザを照射してガラスの主要成分であるＳiＯ_２をＳiやＳi_ｘＯ_ｙに、またはＢ_２Ｏ_３、Ｎａ_２Ｏ、Ｋ_２Ｏ、ＣａＯ、Ｂ_２Ｏ_２、ＺｎＯ、Ａｌ_２Ｏ_３、ＰｂＯなどのガラス成分のうちの少なくとも１つが第１のレーザによりＢ、Ｎａ、Ｋ、Ｃａ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｐｂの遊離基を含んだ改質部が生成され、この改質部にそれが第２のレーザの照射により改質部に光エネルギー吸収を起し、局部的な熱膨張に伴う熱応力エネルギーを放出することにより、ガラスを割断する。 （もっと読む）

【課題】 加工液が切断用ワイヤーと被加工物との当接箇所に安定的に供給され得るワイヤーソー装置を提供すること。
【解決手段】 ワイヤーソー装置は、並列配置されるとともに軸線方向に走行せしめられる複数の切断用ワイヤーＷと、被加工物３０を載置するテーブル１４と、テーブル１４を上下動させる移動装置１５と、加工液供給管１６と、を備え、加工液供給管１６の加工液供給開口から加工液を下方に落下させるとともに、移動装置により被加工物を走行させられている複数の切断用ワイヤーに押し付けることによって被加工物を切断する。このワイヤーソー装置は、更に、複数の帯状部材１７を備える。帯状部材１７は、加工液供給管に係止されて垂下している。加工液供給管から落下する加工液は、帯状部材によりその形状が制御され、中央に集まることなく、略鉛直下方に落下する。 （もっと読む）

本発明は、機械的に脆い非金属材料のプレート状被加工物を任意の輪郭に沿って分割する方法に関するものである。本発明は、プレート状被加工物の少なくとも一方の面に切断装置によって深さＴまで輪郭に沿って分離線の引掻き傷を入れるステップを含んでおり、プレート状被加工物を励起させて分離線に沿った振動振幅を伴う曲げ振動が起こるようにし、それにより、分離線に沿ってプレート状被加工物を完全に分割する。 （もっと読む）

【課題】 アイドル時間を減少させることが可能なガラスシートの装荷切断方法ならびに切断テーブルを提供する。
【解決手段】 切断テーブル上のガラスシートを装荷切断する方法において、刻線ヘッド５によりガラス等のシート４に刻線を設け、刻線工程中に、加工されるシート４の下方から吸引器付きピックアップアーム１１を引き出し、ほぼ垂直に配置された取り上げられるシート４に吸引器１２を設置するために、ピックアップアーム１１を傾斜させ、シート４を取り上げ、テーブル１上に存在するシート４の刻線中に切断テーブル１に向かってシート４の傾斜を開始し、刻線されたシート４をテーブル１から移動し、シート支持領域を越えて、ピックアップ領域に対して反対側に刻線ヘッド５を位置決めし、シート４を切断テーブル１に設置する。 （もっと読む）

【課題】 単結晶インゴッドを切断して得られるウエハの厚みのばらつきを低減することができる単結晶インゴッドの切断方法を提供する。
【解決手段】 ワイヤソーにより単結晶インゴッドを切断する方法であって、単結晶インゴッド上に緩衝材を設置し、緩衝材を介して前記単結晶インゴッドを切断する単結晶インゴッドの切断方法である。ここで、緩衝材がグラファイトからなることが好ましく、単結晶インゴッドが半導体単結晶インゴッドからなることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】脆性材料の棒体の部分を劈開するための改良方法及び装置の提供。
【解決手段】脆性材料の棒体の部分を劈開するための装置が提供される。装置は、劈開すべき位置に棒体の部分を保持するように適合された支持体と、ブレードと、棒体に劈開部分を作るため、棒体の少なくとも一部分に貫通させてブレードを駆動するように、ブレードに結合されたアクチュータと、劈開中に棒体の端部に係合させるためのフォロアと、を備えている。また、脆性材料の棒体を劈開するための方法も提供される。方法は、棒体にクラックを設ける開始段階と、ブレードを棒体に貫通させて駆動し、棒体の端部から脆性材料の一部分を取り外す段階と、を備えている。ひとつの実施形態において、ブレードは制御された速度にて棒体に貫通する。 （もっと読む）

この発明に係るワイヤソーは、被加工物とワイヤとの切断界面にアルカリまたは混酸を含むスラリを供給しながら前記被加工物を切断するマルチワイヤソーであって、前記スラリを貯蔵加熱するための加熱機構付貯蔵タンクと、前記加熱機構付貯蔵タンクから前記ワイヤが前記被加工物に繰り込まれる手前の位置までポンプにより送出された前記スラリを所定の温度に維持しながら搬送する保温パイプと、ステージに固定された前記被加工物の近傍の温度を前記所定の温度に維持する恒温槽と、前記ワイヤを前記所定の温度に加熱するワイヤ加熱機構とを備えている。その結果、シリコンインゴット切断加工時の切断抵抗が低減されるとともにそのばらつきが小さくなり、高品質のウエハを高効率・低コストで得ることができる。
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本発明は、地表面を加工するための建設機械であって、切削ドラムが設けられており、該切削ドラムの表面に、多数のツールホルダ（２３）が配置されており、該ツールホルダのツール受容部（２４）内に、ツール（３０）、特に丸シャンクツールが交換可能に受容されている形式のものに関する。そのような建設機械における工具交換を簡単に遂行することができるように、本発明により、切削ドラムに工具交換装置が対応配置されており、かつ工具交換装置が、単数または複数のツールを、ツールホルダから取外すかつ／またはツールホルダに取付けるようにした。
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【課題】インゴットを平行に保持し切断加工する場合において、インゴット間にスラリーを供給する場合であっても、ワイヤソー装置の大きさを最小限に留めることができるワイヤソー装置を提供する。また、スラリーノズルがワイヤよりもかなり上方にある場合であっても、スラリーの表面張力によりスラリーが内側へ集中せず、スラリーを均一に供給できるワイヤソー装置を提供する。
【解決手段】ワイヤソーにおいて、スラリーを供給するセンターノズル２０ｂを中間プレート４１に固定する。また、センターノズル２０ｂの下部には、スリット４６を覆うように長手方向に沿ってスリットバー５０を固定する。そして、このスリットバー５０の両端には一対のサイドバー５１を鉛直に固定する。 （もっと読む）

【課題】 アニール処理を不要としたカットロッドの加工方法を提供する。
【解決手段】 多結晶シリコンロッドの外周部分または外周部分の一部を取り除き、残した中央部分に加工を施すことを特徴とする加工方法であって、好ましくは、直径の１０〜６０％に相当する外周部分を研削して取り除いた後に溝加工などを施す加工方法およびこの加工を施した多結晶シリコンロッド。 （もっと読む）