Fターム[3E096DA25]の内容
Fターム[3E096DA25]に分類される特許
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改良型積載用歯構成を備えた輸送容器
メモリディスクの輸送容器はカセットを含み、カセットは開放上端と及び開放底と、開放上端を覆う上カバーと、底を覆う底カバーとを有する、本体部は対向側壁及び対向端壁を有する。2個の側壁は各々、垂直な上部と、内方に収束する底部とを備える。この側壁は、基板を垂直方向に位置決めし且つ間隔をあけた配列で保持するために切欠を画定する、内方に対向する長手状歯即ちスペーサを有する。各歯は開放上端から開放底まで連続すると共に、各歯は側壁の垂直上部に上垂直部を、また側壁底部に収束下部を有する。
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半導体ウェハ搬送容器
【課題】半導体ウェハを収容している搬送容器に衝撃力が作用した場合に、半導体ウェハが破損しないようにした半導体ウェハ搬送容器を提供する。
【解決手段】一組の対向する面17a,18aに半導体ウェハ27を収容するウェハ支持溝26が縦方向に形成され上部に開口部3を有するたボトムケース2にカバー4を着脱自在に係止可能に設け、このカバー4の裏面側に設けた保持部材41により半導体ウェハ27の上部外周縁27bを押圧保持させる。ボトムケース2の底部8に配設された弾性を有するクッション部材29を設け、半導体ウェハ27の下部外周縁27aを前記ウェハ支持溝26の谷部26aから若干離隔させるように保持する。
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