【課題】段積みトレイの搬入出が容易になるワーク搬送用トレイを提供する。
【解決手段】ワーク搬送用トレイ１は、基板Ｓの搬送に用いられるものであって、桟４と矩形状の外枠２と支持部１４ｂとを備えている。桟４は、基板Ｓを載置するワーク載置面を有する。支持部１４ｂは、外枠２に設けられ、桟４を支持する。外枠２は、支持部１４ｂから外方に向かって下り勾配であり下端部がワーク載置面より低い傾斜部１３を有している。 （もっと読む）

【課題】ラフクリーン環境で用いてもワークの汚染が生じにくいワーク搬送用トレイを提供する。
【解決手段】ワーク搬送用トレイ１は、基板Ｓの搬送に用いられるものであって、桟４と、外枠２と、樹脂ブロック８と、シール部材５１とを備えている。桟４は、基板Ｓを載置するワーク載置面を有する。外枠２は、桟４を支持する。樹脂ブロック８は、外枠２に設けられ、他のワーク搬送用トレイ１に積まれた状態で上に積まれる他のワーク搬送用トレイ１の重量を支持する。シール部材５１は、外枠２に沿って配置され、外枠２と上に積まれる他のワーク搬送用トレイ１の外枠２との間の隙間を遮蔽する。 （もっと読む）

【課題】ガラス板を破損することなく当該ガラス板の側部を強固に支持することができるガラス板用パレットを提供する。
【解決手段】側部支持手段６は、フレーム部材４８と側方当接部材４９とを備え、フレーム部材４８は、一対のアーム部５１と連結部とを有し、連結部の両端に一対のアーム部５１の一端がそれぞれ結合して一体化され、一対のアーム部５１の一端側に回動部が設けられ、回動部を介してフレーム部材４８がベース部２に軸支されて回動可能とされ、側方当接部材４９は、側端縁との当接面を有することを特徴とするガラス板用パレット１。 （もっと読む）

【課題】清浄な雰囲気で保管される必要がある化学増幅型レジスト膜を形成したマスクブランクの収納に好適な収納ケースを提供する。
【解決手段】上方が開口したケース本体５と、該ケース本体５に被せる蓋体６とを備えて、ケース本体５及び蓋体６のそれぞれに嵌合部を有して嵌め合わされ、化学増幅型レジスト膜を有するマスクブランク１を内部に収納するケースである。ケース本体５及び蓋体６は金属材料で形成され、マスクブランク１の各辺を少なくとも１箇所で支持する支持部材８をケース内部に設け、該支持部材８は樹脂材料で形成され、上記嵌合部に弾性部材７を介在させることにより該弾性部材７より内方では上記嵌合部同士が非接触で嵌め合わされる。 （もっと読む）

【課題】従来のブリスターケースでは、包装対象物を直接収納部に収納していたため、包装対象物が収納部と擦れて傷が付いたり、外部からの衝撃力によって包装対象物が破損するおそれがある、という問題があった。
【解決手段】包装対象物２０を収納する収納部６が透明又は半透明に形成された包装部材２と、この包装対象物２０の角部に着脱可能に装着される少なくとも２つの緩衝部７を有し且つ包装対象物２０に装着された状態で収納部６に収納されて使用される緩衝部材３と、を設けた。そして、緩衝部材３は、透明又は半透明であって弾性を有する部材により形成した。 （もっと読む）

【課題】収納された基板が回動されて所定の位置で保持されることで、塵埃の付着が低減される簡易な構成の基板収納カセットの提供。
【解決手段】複数のガラス基板３０が互いの主面３１を略平行にして収納されるように一面１１に開口部１２が形成されたカセット本体１０と、カセット本体１０の、ガラス基板３０の収納方向Ｃとガラス基板３０の側面３２とに沿い、互いに対向するように形成された一対の側面部１３，１４と、一対の側面部１３，１４のそれぞれから略直角に突出して形成された支持軸１５，１６と、一対の側面部１３，１４に沿って形成された一対の側壁部２３，２４と、一対の側壁部２３，２４に支持軸１５，１６を介してカセット本体１０を回動可能に支持するように形成された貫通孔２１，２２と、ガラス基板３０が所定の位置で保持されるようにカセット本体１０の回動を規制する回動規制部４０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】支持片とリングフレームの接触に伴う異物の発生を抑制し、リングフレームのがたつきを抑制でき、容器本体の構成を簡素化して部品点数を低減できる処理治具用の収納容器を提供する。
【解決手段】前後部が開口した容器本体１０と、容器本体１０の両側壁１４内面に対向して形成され、半導体ウェーハを搭載する処理治具のリングフレームを支持する一対の支持片２０とを備え、容器本体１０の上下方向に一対の支持片２０を間隔をおいて複数配列し、隣接する支持片２０と支持片２０の間をリングフレーム用の挿入溝２１に形成する。そして、各支持片２０の後部に、リングフレームの側部後方に干渉するストッパ２２を設け、ストッパ２２には、下方の支持片２０に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜面２３を形成する。傾斜面２３が挿入溝２１を徐々に埋めるので、リングフレームの上下方向へのがたつきを抑制防止でき、リングフレームの損傷を防止できる。 （もっと読む）

【課題】収納容器に保管、搬送されたガラス基板の表面に異物が付着しない記録媒体用ガラス基板の収納容器を提供することである。
【解決手段】ガラス基板の外周端部が、曲率半径Ｒ２の円弧状に加工され、収納容器の溝の断面形状が、曲率半径Ｒ１の円弧状部を有し、該円弧状部で前記ガラス基板の外周端部を支持し、Ｒ１＞Ｒ２であること。 （もっと読む）

【課題】工場の設置スペースを削減可能な薄膜太陽電池製造システムを提供する。
【解決手段】薄膜太陽電池製造システムは、第１共通基板保管ラック４０−１と第２共通基板保管ラック４０−２と複数の処理装置１〜１６−２とを具備する。第１共通基板保管ラック４０−１と第２共通基板保管ラック４０−２は、基板を傾けて保管する。複数の処理装置１〜１６−２は、薄膜太陽電池の製造工程で基板の処理に使用され、第１共通基板保管ラック４０−１と第２共通基板保管ラック４０−２との間の領域に、基板の搬出部及び搬入部のいずれか一方が第１共通基板保管ラック４０−１に面し、他方が第２共通基板保管ラック４０−２に面するように配置されている。第１共通基板保管ラック４０−１及び第２共通基板保管ラック４０−２は、複数の処理装置１〜１６−２に共用される。 （もっと読む）

【課題】薄板状品と横桟との接触面積を減らして、横桟に載置した薄板状品への汚れの付着や傷発生のない薄板状品載架用カセットを提供する。
【解決手段】ほぼ直方体型フレーム10の左右両側面部間に、薄板状品載架用横桟A,B,Cを構成する複数本の金属製の線状体20を前後に間隔をもって横向きに張設した薄板状品載架用カセットで、線状体20に、協働して薄板状品載置面Fを構成する玉部30を設けた。薄板状品Wと各玉部30間の接触面積が小さく、薄板状品Wへの汚れの付着および傷の発生が少ないので、薄板状品Wの品質が保証される。 （もっと読む）

【課題】 移動自在な側板を容易に固定・解除することができる板体収納用ラックを提供する。
【解決手段】 相対向する１対の上下面板２と、上下面板間に間置され複数の板体を係合するための板体係合溝４を板体内面に形成してなる１対の板体保持用側板を有し、１対の板体保持用側板の少なくとも一方の板体保持用側板が収納される板体の幅径に応じて他方の板体保持用側板と対向する方向に移動自在な板体保持用移動側板５である板体収納用ラックであって、板体保持用移動側板の上下面板に対向する辺部には上下面板に対して上下方向へ可動して上下面板に形成された位置設定係合部９に係止・離脱する係止片１０を配設するとともに、係止部材同士を同期して係止・離脱させる第１の連結機構１４、第２の連結機構１８で連結し、連結機構の駆動により係止片を位置設定係合部へ係止・離脱可能とする。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で梱包箱内の電子機器が不測に動かないように確実に支持する。
【解決手段】 取付パッド２の上板２Ａに複数の切れ目を入れることにより前後左右４枚
の支持板４Ａ〜４Ｄが切り出されると共に、該各支持板４Ａ〜４Ｄの先端部４ａに対向し
て下板２Ｂに嵌入孔５Ａ〜５Ｄが貫設されており、支持板４Ａ〜４Ｄを下側に折り曲げて
該各支持板４Ａ〜４Ｄの先端部４ａを各嵌入孔５Ａ〜５Ｄに嵌入させ、該各嵌入孔５Ａ〜
５Ｄの外側縁５ａに各支持板４Ａ〜４Ｄの先端部４ａを当接させることにより、その各支
持板４Ａ〜４Ｄと取付パッド２の下板２Ｂとで囲まれた凹部６に電子機器１を収納し、そ
の取付パッド２を梱包箱内に挿入し、該梱包箱のフラップで凹部６の上面を覆うようにし
た電子機器梱包装置において、凹部６の深さｈ１が電子機器１の高さｈ２よりも小さく設
定されており、凹部６に収納した電子機器１の側面に上板２Ａの内周縁を対向させた。 （もっと読む）

−新鮮で皮をむいた天然のキーウィフルーツである、少なくとも１個の食料品（２）、−前記食料品（２）が完全に収容され、完全に密封された無毒の包装材料（４）、及び−前記食料品（２）と結合するか、結合することができる取っ手要素（３）を含む包装。 （もっと読む）

【課題】処理治具や基板に異物が付着するのを抑制し、十分な緩衝効果が期待できる緩衝体及び梱包体を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ搭載用の処理治具を収納可能な樹脂製の処理治具用収納ケースと、熱可塑性樹脂を含む成形材料を使用して成形され、処理治具用収納ケースを挟持する可撓性の一対のトレー３０とを備え、各トレー３０を、容器本体に嵌入されて被覆する嵌入被覆部３１と、嵌入被覆部３１の周囲に形成されて外方向に伸びるフランジ３５と、フランジ３５の一部に形成される凹溝３８と、フランジ３５の残部に形成される凸条３９とから形成する。嵌入被覆部３１の底を凹凸３２に形成し、フランジ３５の一部分を折曲してベローズ３７を形成し、ベローズ３７を嵌入被覆部３１と凹溝３８及び凸条３９の間に介在させ、処理治具用収納ケースを一対のトレー３０間に挟む際、一方のトレー３０の凹溝３８と他方のトレー３０の凸条３９とを嵌合する。 （もっと読む）

【課題】部品点数が増加せず、かつウェーハに傷をつけることなく簡易に収納できるウェーハ収納容器およびウェーハの品質を高く保持したまま容易にウェーハをハンドリングすることが可能なウェーハのハンドリング方法を提供すること。
【解決手段】ウェーハ４４の外周縁より外側にある外周部１４と、外周部１４からウェーハ４４の径方向内側に延出する載置部１２とを備えるウェーハ収納容器１０であって、載置部１２は、ウェーハ４４の径方向内側に向かって延出すると共に、その上面にはウェーハ４４の外周縁とのみ接触できるように径方向内方に向かって斜め下方に傾斜する第１の傾斜面２８を有し、外周部１４の周方向に沿った複数の箇所からは、径方向内方に向かって切り欠かれた切欠部２０が形成されており、ウェーハ収納容器１０を複数重ねた際に、下方のウェーハ収納容器１０に対してその上に重ねられたウェーハ収納容器１０が位置決めされるものとする。 （もっと読む）

【課題】内外部を連通する連通部に水分が入り込まない基板収納容器を提供する。
【解決手段】一端に開口部を有し基板を収納する容器本体１と、開口部を閉鎖する蓋体とを有し、容器本体１の内部と外部とを連通する連通部３が少なくとも１ヶ設けられている基板収納容器であって、前記連通部３には、フィルタ保持部材５が取り付けられていて、フィルタ保持部材５の向き合う開口部の両端に第一のフィルタ６と第二のフィルタ７が向き合うように配設されていることを特徴とする。フィルタ保持部材には、逆止弁を備えた開閉バルブが内蔵されること、第一のフィルタ６の圧力損失が、フィルタ保持部材の他端部に設けられる第二のフィルタ７の圧力損失以上であること、等がそれぞれ好ましい。 （もっと読む）

【課題】ビーズ発泡法等により成型された寸法精度の悪い樹脂成型品を、箱体本体および蓋体として使用した場合であっても、箱体本体に対して蓋体を確実に嵌合可能であり、且つ、ガラス基板に不当な応力が作用することなく積み重ねることが可能なガラス基板梱包箱を提供する。
【解決手段】上端が開口した箱体本体２と、箱体本体２に嵌合してその上端開口を閉鎖する蓋体３とを備え、箱体本体２に配備されたガラス保持部４，５の複数の保持溝４ａ，５ａと、蓋体３に配備されたガラス保持部６の複数の保持溝６ａとにより、複数枚のガラス基板Ｇを縦姿勢で間隔を置いて並列に配列した状態で保持するガラス基板梱包箱１であって、蓋体３と、蓋体３に配備されたガラス保持部６との間に、ガラス保持部６よりも弾性が高いスペーサ７を介在させた。 （もっと読む）

【課題】 ガラス板にネジレや圧痕を生じさせることなく収納でき、輸送時には、振動を受けてもガラス板が波打ったり、磨耗粉を発生させないようにする。
【解決手段】 縦方向に沿って分離可能なケース本体２とケース蓋３とによって構成され、ガラス板１４と保護シート１３を交互に立位状態で重ね合わせて収納する収納ケース１と、ケース本体２の内底面及び一内側面部、さらに、ケース蓋３の天井面部及び一内側面部にそれぞれ配設され、高硬質性及び高滑性を有し、ガラス板１４の周端面部を受けるガラス受け部５ａ，５ｂ、８ａ，８ｂとを具備する。 （もっと読む）

【課題】 小型化を可能とするとともに、電子部品の一辺部にリード線などが接続される場合でも、確実に収納保持できるようにする。
【解決手段】 板状の液晶モジュール７を立位状態で所定間隔を存して複数収納する内装トレイ２と、この内装トレイ２を収納する複数の収納部５を一体的に形成する外装ケース１と、この外装ケース１に内装トレイ２を覆うように被せられる蓋体３とを備え、内装ケース２は、その対向する内側壁部に液晶モジュール７の両側部を遊挿する溝部６ａ、６ｂを複数有し、外装ケース１は内装ケース２が収納部５に収納されるのに基いてその両側壁部を内側に向かって弾性変形させることにより液晶モジュール７を挟圧保持する。 （もっと読む）

【課題】比較的大面積を有し微細な孔を含む薄い金属板が損傷してしまうことを防止することができる梱包用部材を提供することを目的とする。
【解決手段】梱包用部材３０は、孔１５が形成されている複数の有孔領域１３を含む金属板１０を梱包するための部材である。梱包用部材は、金属板と対向して金属板の両側に配置されるようになる平板状の一対の平板部３２と、一対の平板部の間に設けられ、金属板の板面に沿った外方に配置されるようになるフレーム部３６と、金属板の有孔領域以外の領域と各平板部との間に配置されるようになる中間支持部３４と、を備える。中間支持部は、金属板の梱包時に金属板の有孔領域以外の領域を押圧する。 （もっと読む）