【課題】大サイズのガラス基板を支承するときに、ガラス基板の撓み変形を防止することができるガラス基板用カセットを提供する。
【解決手段】下面構造体７１と、下面構造体７１の上方にて下面構造体７１に対向して配置された上面構造体７２と、両端がそれぞれ下面構造体７１と上面構造体７２に垂直に固定された一対の側面構造体７３と、下面構造体７１と上面構造体７２に固定され、ガラス基板４を搬入・搬出する際に脱落が生じることを回避する背面支承構造体７４と、一対の側面構造体７３の内側に平行に固定され、かつ所定の間隔をあけて、それぞれガラス基板４を支承するための複数の支承板７５とを具備し、複数の支承板７５のそれぞれは、搬送機構５によりガラス基板４が搬入・搬出される際に、ガラス基板４の移動方向に沿って伸びる複数の溝７８を有する波形構造を有する。 （もっと読む）

【課題】 載置した液晶パネルの着脱の際等に働く外力で、ゴム弾性体が支持盤から剥がれることがなく、さらに、エッチング処理工程で使用しても劣化しにくい搬送用トレイの滑り止めを提供することを目的とする。
【解決手段】 裏面４に他部材への取着部６を突設した金属製又は樹脂製の支持盤１と、支持盤１に一体状に設けられるゴム弾性体２と、を備えたものである。かつ、支持盤１の表て面３から裏面４に複数の連結孔９を貫設する。さらに、ゴム弾性体２は、表て面３の略全体に被着される受け片部７と、裏面４から周縁部５と連結孔９とを経て受け片部７に連結する離脱防止部８Ｃと、から成るものである。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板などの物件を、搬送の間、カセットに衝突しないように安全に運ぶことが可能となる、ガラス基板収納用のカセットを提供する。
【解決手段】物件Ｓ１を収容し、フレーム１００と、側壁１１０、１２０と、カンチレバー１１、１２と、からなる。側壁１１０、１２０は、水平面に垂直である。物件Ｓ１を支承するカンチレバー１１、１２は、側壁１１０、１２０に装着される固定端１１ａ、１２ａを有し、これにより、水平面ｈと所定の角度θ１、θ２を形成する。また、カンチレバー１１、１２の所定角度θ１、θ２は１°〜１０°とするものである。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ収納容器内の空気を、清浄化する半導体ウェハ収納容器に使用するブレスフィルタを提供する。
【解決手段】シート状濾材４を波形状に折曲して形成された円筒状フィルタ７の一方側端縁部を外枠９の装入凹溝１９に装入してシール樹脂１９ａを充填して密に固定し、更に、前記円筒状フィルタ７の他方側端縁部を、蓋部材１０の装入逆凹溝２２に装入してシール樹脂２２ａを充填して密に固定する一方、前記円筒状フィルタ７と外枠９間に、環状の通気空間３３を備えて形成され、且つ該ブレスフィルタ１は、固定リング１１により半導体ウェハ収納容器２に通気可能に密に連結固定する。 （もっと読む）

【課題】食器類の梱包に関して複雑な工程や高度な技術および組立て等を必要とせず、かつ盆状、筒状等梱包可能な食器の大きさ及び形状が広範囲に及び、更に被梱包物体に加わる外的衝撃を緩衝し破損を防止すると同時に梱包材内部での食器の移動、擦れ等を防ぎ十分な安全を確保できることとあわせ梱包後は内容の被梱包物体を容易に確認できる食器梱包材を提供する。
【解決手段】段ボール状シート１の内側にクッション素材シート２を一部分６のみ接着させた二層からなるパッドを食器本体の形状や大きさに合わせて巻き、ゴムバンド３により引締め固定して破損を防止し、更にパッド自体に内部の被梱包物体の確認を容易にする為の小窓５を備えた食器梱包用チャイナパッド。 （もっと読む）

基板容器は、囲み部と、該囲み部に形成されて囲み部を介する基板容器内部への流体アクセスを提供するアクセス構造とを有する。前記アクセス構造は開口部と内部表面とを有する。グロメットはアクセス構造の内部表面と接触するように設置されている。
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