内側ドア部と外側ドア部を有するウエハーキャリアドア。内側ドア部はほぼ連続する内面を有している。外側ドア部は内側ドア部の少なくとも一部分の上に延びている。外側ドア部はその中に形成された複数の開口部を有する。外側ドア部は内側ドア部に取り付けられる。
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基板（２）を水平に載置するとともに複数個積み重ね可能な基板搬送用トレイにおいて、前記基板搬送用トレイ（１）は、複数個積み重ねたときに、前記基板搬送用トレイ（１）の上方に配置される基板搬送用トレイ（１）と接触する上方接触部と、下方に配置される基板搬送用トレイ（１）と接触する下方接触部とを備え、前記上方接触部及び前記下方接触部の形状が、前記基板搬送用トレイの上方に他の基板搬送用トレイを載置したときに、前記他の基板搬送用トレイの重心が前記基板搬送用トレイの重心の鉛直上方に配置される方向に前記他の基板搬送用トレイ（１）を移動させるように形成されている。撓むことで被積載物同士が接触して破損する恐れがないとともに、安定して積み重ねることができる基板搬送用トレイを実現することができる。 （もっと読む）

本発明には、湿分および酸化剤に対して敏感である製品を保護するための軟質の多層包装材料が開示されており、この場合この軟質の多層包装材料は、湿分および酸化剤を結合させることができる少なくとも１つの活性の高分子量バリヤー層および少なくとも１つのセラミックバリヤー層を有する。活性の高分子量バリヤー層とセラミックバリヤー層との組合せは、多層包装材料のバリヤー能力を著しく増大させる。
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