内側ドア部と外側ドア部を有するウエハーキャリアドア。内側ドア部はほぼ連続する内面を有している。外側ドア部は内側ドア部の少なくとも一部分の上に延びている。外側ドア部はその中に形成された複数の開口部を有する。外側ドア部は内側ドア部に取り付けられる。
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ウェファボックスは、トレイ（１０）とカバー（６２）を含む。トレイ（１０）は、内側（３４、３６、３８、４０）の及び外側（２４、２６、２８、３０）の、壁の配置を含み、その間に水平な半円形の溝（４８，５０，５２，５４）を備えていて、間隔をあける、強度を高める、及び水平方向の衝撃を吸収する機能を遂行する。トレイ（１０）はさらに、内側の壁（３４、３６、３８、４０）の中に形成されたウェファキャビティ（４２）を含む。ウェファキャビティ（４２）は、垂直方向の衝撃を吸収する機能を備えるために、その床の上に隆起線の格子（４６）を含む。カバー（６２）の壁（７６、７８、８０、８２）は、トレイ（１０）の外側の壁（２４、２６、２８、３０）に係合して咬合し、それによって二重の壁の配置を形成する。台座配置（９０、９２）は、カバー（６２）上部の、コーナーと長手方向中央とに形成され、相互の積層配置を介して衝撃と振動の伝播を最小化又は除去するために、相互に積層されたボックスの間で離れた状態にする隙間を提供する。
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フォトクロミック性不要電磁放射線露光表示装置を含む半導体ウェハ、基板又はレチクルの保管及び輸送用収納容器（１０，２４）。フォトクロミック材料は収納容器の少なくとも一部を製造するために使用されるプラスチックに組み入れられる。フォトクロミック材料は選択された波長範囲の光の露光に呼応して色又は暗さを変化させる。
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本発明は卵のような壊れ易い物品を受け入れるための、繊維質材料のパッケージであって、底部分（２）と該底部分にヒンジで接続された蓋部分（３）とを備えたパッケージに関し、特に簡単であるが、安定した要領で蓋部分を底部分に解除可能に保持するための各種の保持手段に関するものである。従って、本発明によれば、前記底部分のフランジ状の上側周縁部分（６）の適当な部分と係合するように前記蓋部分にある保持手段が提供され、前記保持手段は一実施例によれば前記蓋部分の前側部（４）の内面に設けられた突起（７）から構成される。前記蓋部分が開放位置から前記底部分の上に閉鎖位置まで旋回すると、前記蓋部分の１個以上の突起が前記底部分の前記の上側周縁部分の下面と係合するように持ってこられ、それによって前記蓋部分を底部分に対して解除可能に保持する。代替的な可能性、すなわち例えば蓋部分にある適当な形状の開口と係合するように前記底部分の上側縁領域に適当な突起を設けることも説明されている。
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【課題】 輸送時等において光学デバイスが遊動することにより、光学デバイスのエッジ部分がケースを切削し、ゴミの発生を抑制できる梱包ケースを提供する。
【解決手段】 上部が開口し、当該開口部に光学デバイスを収納する収容部１１ａが複数に形成されてなる下ケース１と、当該下ケースの開口部、前記光学デバイスを被覆する上ケースとからなる光学デバイスの梱包ケースであって、前記下ケースの各収容部の底面には、凹部１１１ａが形成されており、当該凹部の上面を横架してなる両面接着テープ２が貼り付けられ、当該両面接着テープの上部に前記光学デバイスが貼り付けられてなる。 （もっと読む）