【課題】グリース等の潤滑成分を必要とせず、また自己潤滑性を有する材料であることを必須としない、良好な摺動性能を有するディスクバルブを提供する。
【解決手段】少なくとも片方に流水孔１１を有する、いずれもセラミックス材よりなる第一のディスク部材と第二のディスク部材から成り、第一のディスク部材と第二のディスク部材を摺接させた状態で相対移動させることによって流水孔１１の連通・遮断を行うディスクバルブであって、第一のディスク部材の、第二のディスク部材と摺接する摺動面のＪＩＳＢ０６７１に規定されるコア部のレベル差（Ｒｋ）及び突出山部高さ（Ｒｐｋ）の合計値が１５ｎｍ以下であり、かつ第一のディスク部材と第二のディスク部材との間に潤滑剤を供給せずに用いる。 （もっと読む）

【課題】耐久性を向上させることが可能なピストンバルブを提供する。
【解決手段】流体が供給される入口ポート１２、出口ポート１３およびこれらに連通する流路１５，１４，１６を有するバルブ本体１１と、前記流路の途中に設けられ弁座１９を有する弁座部材１７と、この弁座部材の弁座を開閉する弁棒３１と、この弁棒を弁座に対して接離動作させ弁座を開閉する駆動部５０とを備えたピストンバルブ。弁座部材および弁棒の少なくとも一方は、基材と、この基材の表面に形成された硬質被覆層とを含んで構成されている。硬質被覆層は、基材の表面からの距離が大きくなるに従って硬さが次第に低下するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】弁座における共晶炭化物等の化合物相の連続的腐食を抑制し、弁座の耐食性・耐衝撃性・耐エロージョン性を向上させた弁を提供する。
【解決手段】弁座表面垂直方向への荷重負荷により圧着された状態で回転するツールを弁座面上で移動させて摩擦撹拌処理を行い、弁座表層部の溶着金属組織を等軸晶化することにより、デンドライト２の間隙に晶出する共晶炭化物等の化合物相５を１００μｍ程度以下の粒状または塊状に分散させる。 （もっと読む）

【課題】固定弁体と可動弁体との摺動特性が良好であり、長期間使用しても摩耗等が少なく耐久性が充分であり、かつ安価な弁装置を提供する。
【解決手段】弁孔を有する一対の弁体である可動弁体４と固定弁体５の摺接面を摺動させて弁孔を開閉する弁装置において、少なくとも上記摺接面の一方にセラミックス被膜１０を有し、セラミックス被膜１０は、窒化ケイ素または炭化ケイ素の微粒子をエアロゾル原料として使用したエアロゾルデポジション法により形成される被膜である。 （もっと読む）

【課題】摺り合せ面での耐リーク性能を耐久的に維持して高シール性能を確保できる弁装置を提供する。
【解決手段】一方のバルブアセンブリ11は、流体の入口通路22，23および出口通路24，25を有するとともに、平滑面に形成された摺り合せ面27を有する。他方のバルブアセンブリ12は、一方のバルブアセンブリ11の摺り合せ面27に対し摺動自在に密着する摺り合せ面35を有するとともに、一方のバルブアセンブリ11の入口通路22，23に連通する通路36，37を有する。他方のバルブアセンブリ12の通路37を摺り合せ面35に開口するピストン室38に、シールピストン39を嵌合する。このシールピストン39が有する摺り合せ面41を、一方のバルブアセンブリ11の摺り合せ面27に押圧し、シールピストン39の摺動位置により他方のバルブアセンブリ12の通路36，37を一方のバルブアセンブリ11の出口通路24，25に連通する。
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【課題】陽極接合法により、安定な気液界面を持ち、不純物の溶出を起こさない、狭間隙を形成することで、化学・生化学の分析や反応を安定に精度良く行うことができると共に、安価なスライド式バルブ及びその製造方法を提供することである。
【解決手段】スライド式バルブは、流路と、第１、第２の開口部２６、２７を有する第１、第２のガラス基板２１、２２と、陽極接合法で第１、第２のガラス基板２１、２２に固定された第１の半導体部材２３ａと、上記第１、第２のガラス基板２１、２２と相対的に移動可能な、上記液体が流れる流路と第３の開口部２８を有する第２の半導体部材２３ｂとを有している。第１、第２のガラス基板２１、２２と第２の半導体部材２３ｂとの間には狭間隙部３７、３８が存在し、第１、第２のガラス基板２１、２２と対向する第２の半導体部材２３ｂの面には、撥水性金属膜３５、３６が形成されている。 （もっと読む）