【課題】所要電力が最低限とされた、真空室内を超高真空とするためのシステムを提供すること。
【解決手段】真空ポンプは、格子およびサブリメーション要素を備えることが可能である。この格子は、格子開口、および、少なくとも１つの格子面によって画定され得る格子内部を有していてもよい。サブリメーション要素は、格子内部に配置されてもよく、また、昇華温度を超えてサブリメーション要素を加熱した際に、昇華して格子内部に反応膜を形成するように構成されていてもよい。反応膜は、格子開口を介して格子内部に入って反応膜と接触する気体分子を捕獲するのに効果的であり得る。 （もっと読む）

【課題】効率的にクライオポンプの劣化を監視することができるクライオポンプ制御装置、クライオポンプシステム、及びクライオポンプの監視方法を提供する。
【解決手段】クライオポンプは、気体を冷却して凝縮または吸着させるクライオパネルと、クライオパネルを収容するポンプ容器とを備える。クライオポンプの再生処理は、基本パージ処理と、排気処理と、必要な場合に追加実施される追加パージ処理と、を含む。追加パージ処理は、１回以上のガスパージ工程を含む。クライオポンプを制御するクライオポンプ制御装置８０において、劣化判定部８８は、１回の再生処理において追加実施が必要となったガスパージ工程の合計数であるリパージ回数が、劣化判定基準回数に達した否か判定する。 （もっと読む）

【課題】適用対象により適合させた設計を可能とする極低温冷凍機、及びその冷凍機を適用したクライオポンプを提供する。
【解決手段】冷凍機５０は、長手方向に隣接する２つのディスプレーサを備え、高温側のディスプレーサは蓄冷材のための主収容区画と副収容区画とを含む。２つのディスプレーサの間に作動気体の直通流路が形成されている。クライオポンプ１０は、低温クライオパネル６０と、低温クライオパネル６０よりも高温に冷却される放射シールド４０と、冷凍機５０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】適切にクライオポンプの真空度保持状態を検査できるクライオポンプ制御装置、クライオポンプシステム、及びクライオポンプの真空度保持判定方法を提供する。
【解決手段】気体を冷却して凝縮または吸着させるクライオパネル４８と、クライオパネル４８を収容するポンプ容器３６とを備えるクライオポンプの排気処理を制御するクライオポンプ制御装置８０において、圧力制御部９４は、ポンプ容器３６内の圧力が基準圧力まで低下したことを検知したときに真空引きを停止させる。真空度保持判定部９２は、第１測定時刻と第２測定時刻におけるポンプ容器３６内の圧力測定値の差が圧力変化許容範囲内であるか判定する。第１測定時刻は、ポンプ容器３６内の圧力が基準圧力まで低下したことを検知した時刻に、真空引きの動作遅延に関する補正時間を加算して定められる。 （もっと読む）

【課題】水素等の非凝縮性気体の高速排気のためのクライオポンプ、及びそうしたクライオポンプを製造するための方法を提供する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオポンプ開口３１へと開放されたクライオポンプ内部開放空間３０に包囲されている複数のクライオソープションパネル５０の配列１４と、クライオポンプ内部開放空間３０を包囲する放射シールド１６と、を備える。複数のクライオソープションパネル５０の少なくとも１つは、クライオポンプ内部開放空間３０に突出し放射シールド１６へと向けられているパネル末端を含み、そのパネル末端は、吸着剤の欠落した区域８２を有する。 （もっと読む）

【課題】水素等の非凝縮性気体の高速排気のためのクライオポンプ、及びそうしたクライオポンプを製造するための方法を提供する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオポンプ開口３１へと開放されたクライオポンプ内部開放空間３０に包囲されている複数のクライオソープションパネル５０の配列１４と、クライオポンプ内部開放空間３０を包囲する放射シールド１６と、を備える。複数のクライオソープションパネル５０の少なくとも１つは、パネル前面が非凝縮性気体のための吸着領域７６と凝縮性気体のための凝縮領域８２とに区分されている。 （もっと読む）

【課題】消費電力の低減に寄与するクライオポンプ、及びそうしたクライオポンプを使用する真空排気方法を提供する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオパネルを冷却するための冷凍機と、イオン注入装置１からその運転モードを表す制御信号を受信可能であり、該制御信号に基づいて冷凍機を制御するためのＣＰコントローラ１００と、を備える。運転モードは、目標にビームを照射する照射モードと、目標からビームを逸らすかまたは該照射モードよりも弱いレベルでビームを存続させるアイドルモードと、を含む。ＣＰコントローラ１００は、照射モード及びアイドルモードにおいてクライオパネルが気体分子を保持する冷却温度に冷却されるよう冷凍機を制御しており、アイドルモードの期間の少なくとも一部において冷却温度を照射モードよりも高くすることを許容する。 （もっと読む）

【課題】第３種の気体について高い排気速度をもたらすクライオポンプを提供する。
【解決手段】前部クライオパネル・アレイが開放的な構成であることで、気体を第２段のアレイに向かって集中させるように形作られた放射シールドへの気体の高いコンダクタンスがもたらされる。第２段のアレイは、吸着剤で被覆されたバッフルからなる開放的な構成を有している。実質的にすべての吸着剤が、放射シールドまたは放射シールドの開口への直接の視線を有しており、実質的にすべてのバッフルが、吸着剤で被覆されている。１つの形態において、第２段のクライオポンプ・アレイは、円板をおおむね球形の包絡面を形成するように扇形に配置したアレイを有している。 （もっと読む）

【課題】 低温付着物の蓄積空間を最大化し、迅速な圧力回復を達成すること。
【解決手段】クライオポンプは、第１段熱ステーションと、第１段熱ステーションよりも低温に冷却される第２段熱ステーションと、を有する冷凍機と、第１段熱ステーションと熱的に接続した第１段クライオパネル組立体と、第２段熱ステーションと熱的に接続した第２段クライオパネル組立体と、第１段クライオパネル組立体及び第２段クライオパネル組立体を収容するハウジングと、第２段クライオパネル組立体に捕集された付着物を外部に排出するベントバルブ組立体と、を備え、ベントバルブ組立体は、リリーフバルブと、Ｏリングシールと、フィンと、を有する。 （もっと読む）

【課題】過度の高圧を解放する機能を真空システムに低コストに実現することを可能とする真空バルブ、及びそうした真空バルブを備えるクライオポンプを提供する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオパネル６０に排気された気体をクライオポンプ容器３０の外部に排出するためにクライオポンプ容器３０に設けられているベントバルブ７０と、クライオポンプ容器３０の外部に対して内部に陽圧が生じたか否かを圧力センサ５４の測定値に基づいて判定し、陽圧が生じたと判定した場合にはベントバルブ７０を開放し、陽圧が生じていないと判定した場合にはベントバルブ７０を閉鎖する制御部２０と、を備える。制御部２０がベントバルブ７０を閉鎖しているときにクライオポンプ容器３０内外の差圧の作用によって機械的に開弁され得るようにベントバルブ７０の閉弁力が調整されている。 （もっと読む）

【課題】 水素などの凝縮温度の低い気体を吸着するクライオポンプであって、長時間に亘り安定した排気能力と排気速度を有するクライオポンプとすること、占有空間の小型化が可能なクライオポンプを提供すること。
【解決手段】 クライオポンプ１は、第１、２コールドヘッド２１、２２を備えた蓄冷型冷凍機２と第１、２コールドヘッド２１、２２により冷却される第１、２クライオポンプ部５０と、第２クライオポンプ部６、７とを備える。第２クライオポンプ部６、７は前面６２ｆ、６４ｆがバッフル５に向いたクライオパネル６２とアドソープションパネル６３とを備え、アドソープションパネル６３は外周側が傾斜した第１領域６３ａと第１領域６３ａの内側の傾斜した第２領域６３ｂと第２領域６３ｂの内側の平坦な第３領域６３ｃと裏面６４ｇ側とにより形成され、第１領域６３ａを除いた両面６４ｆ、６４ｇに吸着材６５が接着される構成とした。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプが取り付けられる真空装置での真空処理に適合した運転状態のモニタリングを実現する。
【解決手段】クライオポンプは、真空処理を行う真空装置の真空チャンバからガスを排気する。クライオポンプは、冷凍機と、冷凍機により冷却されるクライオパネルと、クライオパネルを目標温度に制御するよう冷凍機の運転周波数を制御する制御部と、を備える。制御部は、冷凍機の運転周波数が第１判定基準に達した場合に運転周波数を第１判定時間監視し、運転周波数が第１判定基準よりも高負荷に相当する第２判定基準に達した場合にクライオパネルの温度を第１判定時間よりも短い第２判定時間監視する。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプ内部の複数の異なる温度領域のそれぞれを所望の温度範囲に容易に収めることが可能となる。
【解決手段】クライオポンプ１００は、第１冷却ステージ１３と、第１冷却ステージ１３から延びるシリンダ部材１２と、第１冷却ステージ１３とは反対側のシリンダ部材１２末端に設けられた第２冷却ステージ１４と、を備え、シリンダ部材１２の内部における作動気体の膨張作用により寒冷を発生して第２冷却ステージ１４を第１冷却ステージ１３よりも低温に冷却する冷凍機５０と、第１冷却ステージ１３に熱的に接続されており、第２冷却ステージ１４が内部に配置されるようにシリンダ部材１２により貫通されている放射シールド４０と、を備える。シリンダ部材１２は、放射シールド４０から外向きにオフセットを有して放射シールド４０の外部に第１冷却ステージ１３が配置されるように放射シールド４０の内部から外部へと延びている。 （もっと読む）

【課題】 安定した吸着作用を維持するクライオポンプを提供すること。
【解決手段】 第一のシリンダと第二のシリンダとを有するクライオポンプは、第一のシリンダの表面と接触しているガス導入部と、第二のシリンダとクライオパネルとの間に配置されたガス導入部より導入されたガスを放出するガス放出部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】プロセスチャンバとポンプとの間のバルブや導管に起因するコンダクタンス損失を低減または解消し、かつ、ポンプをプロセスチャンバのプロセス空間に流入する気体分子の気体分子源に対して最適な位置に配置することができるプロセスチャンバシステムを提供する。
【解決手段】本発明のプロセスチャンバシステム５００は、プロセス空間５１４を有するプロセスチャンバと、プロセスチャンバに着脱可能に取り付けられた複数の冷凍機５０２と、冷凍機５０２に着脱可能に取り付けられた複数のアレイ５０４とを備える。冷凍機５０２とアレイ５０４とがプロセスチャンバ内に延在して、プロセス空間５１４内に排気面を形成している。この排気面は、プロセス空間に連通する気体分子源の近傍に配置され得る。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプが排気すべき気体の種類は用途によって異なる。さらにほとんどの場合において排気すべき気体は複数種類の気体の混合気体であり、クライオポンプには複数種類の気体それぞれを同時に効率よく排気することが要求される。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオポンプ容器１２と、冷凍機１４と、低温パネル１６と、中間パネル１８と、放射シールド２０とを含んで構成される。クライオポンプ容器１２は、排気されるべき気体が進入する吸気口を有する。放射シールド２０は一端に開口部を有する。低温パネル１６は、放射シールド２０の内部に配置され、放射シールド２０よりも低温に冷却される。中間パネル１８は、放射シールド２０よりも低温、かつ低温パネル１６よりも高温に冷却される。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプが取り付けられる真空装置での真空処理に適合した運転状態のモニタリングを実現する。
【解決手段】クライオポンプは、真空処理を行う真空装置の真空チャンバからガスを排気する。クライオポンプは、冷凍機と、冷凍機により冷却されるクライオパネルと、クライオパネルを目標温度に制御するよう冷凍機の運転周波数を制御する制御部と、を備える。制御部は、冷凍機の運転周波数が第１判定基準に達した場合に運転周波数を第１判定時間監視し、運転周波数が第１判定基準よりも高負荷に相当する第２判定基準に達した場合にクライオパネルの温度を第１判定時間よりも短い第２判定時間監視する。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプが取り付けられる真空装置での真空処理に適合した運転状態のモニタリングを実現する。
【解決手段】制御部は、真空装置において設定されている２段クライオパネル上限温度より低温に設定された警戒温度以上に２段クライオパネルが昇温されたか否かを判定する第１判定と、警戒温度を上限として設定された温度範囲に設定時間以上継続して２段クライオパネルが昇温されているか否かを判定する第２判定と、を１段クライオパネルの目標温度への制御中に行う。制御部は、クライオポンプの稼動当初に測定された２段クライオパネルの最低到達温度から排気運転中の２段クライオパネル温度が乖離した状態が設定時間よりも長く設定された持続時間以上継続したか否かを判定する第３判定を、目標温度への制御中に行ってもよい。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプへの輻射熱低減及び排気速度向上を図る。
【解決手段】クライオポンプ１０は、開口２０を有する放射シールド１８と、放射シールド１８の内側に配置されるクライオパネル２４と、開口２０に配列された複数の羽板４１を含み、クライオパネル２４を開口２０に投影した投影領域よりも羽板４１を疎に配列した領域を投影領域の外側に有するルーバー２３と、放射シールド１８及びルーバー２３を第１冷却温度に冷却し、クライオパネル２４を第１冷却温度より低い第２冷却温度に冷却する２段冷凍機１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】外部からの輻射熱の影響を軽減する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、第２段クライオパネル１４と、第２段クライオパネル１４を包囲し、シールド開口３１を有する放射シールド１６と、シールド開口３１に設けられている第１段クライオパネル３２と、を備える。第１段クライオパネル３２は、第１の分布で開放領域が形成されている第１パネル５０と、第１パネル５０よりも第２段クライオパネル１４に近接して配列され、配列方向に見て第１の分布とは異なる第２の分布で開放領域が形成されている第２パネル５２と、を備える。 （もっと読む）