真空ポンプは、分子ドラッグ排気機構と、再生排気機構と、を含む。分子ドラッグ排気機構のロータ要素は、再生排気機構のロータ要素を取り囲む。
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回転軸（１０１）の周りを回転するシャフト（２０）を回転自在に支持するための電磁ベアリング装置（１）を開示する。装置（１）は、第一作動ラジアルベアリング（５）、一つまたは複数の第一ラジアル変位センサ（８１）、および軸方向ベアリング（６，７）からなる。軸方向ベアリング（６，７）の少なくとも一部分は、回転軸（１０１）の正射影で見たときに、第一作動ラジアルベアリング（５）と第一ラジアル変位センサ（８１）との間に配置される。また、前記電磁ベアリング装置（１）と複合センサユニット（８）からなる真空ポンプを開示する。
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本発明は、通風装置筐体（２８）内で回転する通風装置の羽根車（１２）を駆動する駆動モータ（１０）を含む規格ユニット形式の流体冷却装置に関する。少なくとも一つの流体は、供給貯液槽（２０）から液圧作動回路へ移送され、流体は、運転状態で基本的に加熱され、接続された熱交換器（２４）に導かれて冷却されてから、供給貯液槽（２０）に戻される。供給貯液槽（２０）の部分は、少なくとも部分的に通風装置の羽根車（１２）を囲み、好ましくはプラスチック材料から作られる通風装置の筐体（２８）を形成する。それ故、通風装置の筐体は、供給貯液槽の一部分として組込まれ、タンクの容積を増加させて、結果として通風装置羽根車の騒音の減衰を増進させる。
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