【課題】スプリングを使用せずにメカニカルシールを構成する回転環の摺動シール面と固定環の摺動シール面の面圧を確保するとともに、回転環と回転軸との間のシール部及び固定環とフレームとの間のシール部にデットスペースを生じないようにし、さらに、回転軸が回転軸線方向に対して直交する方向に振れた場合であっても液漏れを確実に回避することができるメカニカルシール及び一軸偏心ねじポンプを提供する。
【解決手段】メカニカルシール２０を構成する回転環２１と回転軸３ｂとの間にエラストマーを材料とする回転環側弾性材２３を配設し、固定環２２とフレーム１１との間にエラストマーを材料とする固定環側弾性材２４を配設する。回転環側弾性材２３と固定環側弾性材２４との弾性力により回転環２１の摺動シール面２１ａと固定環２２の摺動シール面２２ａとの面圧を確保するとともに、回転環側弾性材２３により回転環２１と回転軸３ｂとの間を封止し、固定環側弾性材２４により固定環２２とフレーム１１との間を封止する。 （もっと読む）

炭化ケイ素と黒鉛とを含む多孔質の炭化ケイ素焼結体およびその製造方法が記載される。多孔質の炭化ケイ素体はシールであることができる。多孔質の炭化ケイ素焼結体は、約１容量％〜約５容量％の範囲の気孔率を構成する、約２０μｍ〜約４０μｍの範囲の平均孔径で細孔を画定する。
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【目的】 回転密封環を押圧附勢するためのコイルスプリングを、シール機能に悪影響を及ぼすことなく、回転密封環の回転軸に対する相対回転を阻止するドライブ手段として兼用できるようにする。
【構成】 回転密封環(５)を一本のコイルスプリング(７)により静止密封環(４)へと押圧附勢するようにしたメカニカルシールにおいて、コイルスプリング(７)の一端部(７１)を、その先端をコイルスプリング(７)の径方向且つ内方に折曲してなる係合突起(７１ａ)を回転密封環(５)に形成した係合凹部(５２ａ)に係合させることにより、回転密封環(５)に相対回転不能に連結すると共に、コイルスプリング(７)の他端部(７２)を回転軸(３)に固定したストッパリング(６)に相対回転不能に連結して、回転密封環(５)の回転軸(３)に対する相対回転をコイルスプリング(７)により阻止するように構成してある。 （もっと読む）

【課題】 本質的により簡単かつ少ない部品から製造することができ、そのため製造技術的及び経済的観点においてより簡単かつ低コストで好適に製造することが可能なスライドリングシールを提供する。
【解決手段】 本願発明のスライドリングシールは、１つの対向リング（２）を含む被密閉軸（０）を取り囲むスライドリングシールであって、被密閉軸（０）がスライドリングシールの１つの構成要素として形成され、被密閉軸（０）と対向リング（２）が一体的にかつ単一の材料から形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】分割型密封環をその密封端面に歪を生じることなく適正な環状形態に緊縛保持しておくことができる分割型メカニカルシールを提供する。
【構成】第１及び第２密封環５，９は周方向に分割された分割型密封環であり、リテーナリング３，７に締め付け自在に取り付けた緊縛リング４，８によって、円環状に緊縛された状態で固定保持されている。分割型密封環５，９とこれに外嵌させた緊縛リング４，８との対向周面は、緊縛リング４，８のリテーナリング３，７への締め付け方向に漸次拡大する截頭円錐状のテーパ面４ａ，５ｂ，８ａ，９ｂに構成されている。分割型密封環５，９は、緊縛リング４，８をリテーナリング３，７へと締め付けることにより、リテーナリング３，７の軸線方向端面３ｄ，７ａに端面側弾性部材１７，２９を介して押圧保持されると共に緊縛リング４，８の内周面４ａ，８ａに周面側弾性部材１８，３０を介して嵌合保持されている。 （もっと読む）

【目的】セラミックス等からなる脆性材製リングの分割を熟練度を必要とすることなく容易且つ確実に行いうるようにする。
【構成】脆性材製リング１の内周面１ａにおける第一直径線Ｘ−Ｘ上の二箇所に、内周面１ａの全幅に亘って軸線方向に延びる微小な切欠溝２ａ，２ａを形成した上、内周面１ａにおける二箇所であって第一直径線Ｘ−Ｘに直交する第二直径線Ｙ−Ｙ上に位置する受圧部３ａ，３ａに、リング１を第二直径線Ｙ−Ｙに平行する方向に拡径させる押圧力Ｆ，Ｆを付与して、前記切欠溝２ａ，２ａを起点とする亀裂をリング１の外周面１ｃ方向へと進行させることにより、リング１を、その分割面が不規則な凹凸面となるように二分割する。押圧力Ｆ，Ｆは、受圧部３ａ，３ａに夫々当接させた一対の押圧体４１，４１を第二直径線Ｙ−Ｙ上において相対的に離間させるべく強制移動させることにより、付与される。 （もっと読む）

本発明は、成形工程が複数の点状の微小突起物を備えるヘッドを有するパンチを用いて実施されることを特徴とする、適切な鋳型に容れられたセラミック粉末に関する第１冷間成形工程と、リングに関する第２焼結工程とを含むタイプの、ポンプのセラミック製機械用シールリングに関する表面処理工程に関する。本発明の別の目的は、前記工程により得られるシールリングである。 （もっと読む）

【課題】優れた摺動特性とシール特性とを維持しつつ、高い耐久性を有するセラミック部材、このセラミック部材の製造方法、このセラミック部材によって形成されたセラミック摺動部材、及び、このセラミック摺動部材を備えた摺動装置の提供。
【解決手段】平均開口径が５０〜５００μｍである複数の凹部を有し、摺動面積率が２０〜８５％である表面を有するセラミック部材、セラミック粉末と造孔剤とを混合し、得られた混合物を成形し、次いで、焼結するセラミック部材の製造方法、前記セラミック部材によって形成されたセラミック摺動部材（２０）及び（３０）、及び、このセラミック摺動部材（２０）又は（３０）を少なくとも１つ備えた摺動装置（１０）。前記セラミック部材は、前記表面を有する緻密なセラミックであるので、優れた摺動特性とシール特性とを維持しつつ高い耐久性を有し、摺動部材及び摺動装置に好適に使用可能である。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置、液晶デバイス製造装置用の絶縁性部材等として好適に用いることができ、また、前記部材等の大型化、高精度化、複雑化にも対応することができる高比抵抗炭化ケイ素焼結体を提供する。
【解決手段】 常圧焼結法により、窒素含有量が０．４ｗｔ％以上０．５ｗｔ％以下であり、前記窒素の一部が炭化ケイ素結晶に固溶しており、残部が炭化ケイ素結晶粒界に窒化ホウ素結晶として存在し、かつ、比抵抗が０．１ＧΩ・ｃｍ以上である高比抵抗の炭化ケイ素焼結体を得る。 （もっと読む）