【課題】 簡単な構成で安価であり、且つ効率的に除振制御を行うことができる除振装置を提供すること。
【解決手段】
対象物２を載置する除振テーブル３と、除振テーブル３を鉛直方向に浮上支持し位置決めする空気ばね１０と、除振テーブル３の鉛直方向及び水平方向の振動を制御すると共に位置決めをする電磁アクチュエータ２０と、除振テーブルの振動を検出する加速度センサＡＺ１〜ＡＺ３と、除振テーブル３の位置を検出する変位センサＺ１〜Ｚ４とを備えた除振装置１において、空気ばね１０を制御する第１の制御回路４０と電磁アクチュエータ２０を制御する第２の制御回路５０とをそれぞれ別個に設け、制御回路４０で除振テーブルの位置を制御し、制御回路５０で除振テーブル３の振動を制御するように構成した。 （もっと読む）

【課題】 ＡＶ機器やパソコンなどのような小型の装置にも使用することができ、しかも、その形状を選ばす、どのような場所にも設置固定することができる免震モジュールを提供する。
【解決手段】 凹状の球面部分からなる上側部材１と、凹状の球面部分からなる下側部材２と、前記上側部材１と前記下側部材２との間に介在する上下が対称的な凸状の球面部分からなる転動部材３と、前記上側部材１と前記下側部材２を全体的に包囲する弾性部材４と、からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 エンジンの振動の過渡期においても能動型防振支持装置に有効な防振性能を発揮させる。
【解決手段】 振動状態推定手段Ｍ１で推定したエンジンの振動状態に応じてアクチュエータ駆動制御手段Ｍ２が能動型防振支持装置のアクチュエータ２９に供給する電流を制御してエンジンの振動の伝達を抑制する際に、振動過渡期判定手段Ｍ３が、例えば全筒運転状態と休筒運転状態との切り換えに伴うエンジンの振動の過渡期を判定すると、振動状態補正手段Ｍ４が前記推定した振動状態を補正するので、エンジンの振動の過渡期においても能動型防振支持装置に有効な防振性能を発揮させることができる。特に、振動過渡期判定手段Ｍ３が振動体の振動の過渡期を判定すると、エンジンの振動状態が実際に変動を開始する以前に前記推定した振動状態を補正することができるので、制御の時間遅れを防止して応答性の高い制御を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 接着剤により所定の部材に貼り付けた圧電アクチュエータ等の物理量電気変換素子を、被貼付部材に損傷を与えることなく、また容易かつ短時間に剥がし取ることができる物理量電気変換装置等を提供する。
【解決手段】 被貼付部材１１０の所定の物理エネルギーを電気量エネルギーに変換する、或いは電気量エネルギーを被貼付部材１１０の所定の物理エネルギーに変換する物理量電気変換素子１０１を有する物理量電気変換装置１００であって、剥離支援板１０５を介して物理量電気変換素子１０１を被貼付部材１１０上に固着する。
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【課題】 本発明は、ロッキング振動制止装置において、予測困難なロッキング振動を簡易な構成で阻止し得るようにする。
【解決手段】 免振対象物２０及び基部２１にそれぞれ固結して該固結部から伝達される免振対象物２０及び基部２１の上下方向相対変位を水平方向変位に変換する板ばね部材５〜８を免振対象物２０と基部２１との間に複数配設すると共に、各板ばね部材５〜８にそれぞれ固結して相互に連結し、所定の板ばね部材５，６から得られる水平方向変位を他の板ばね部材７，８に伝達する連結部材４を設ける。 （もっと読む）

【課題】リソグラフ装置はマスクテーブル（５）と、投影システム（３）と、駆動ユニット（２１）によって投影システム（３）に対して移動可能な基材テーブル（１）と、投影システム（３）に対する基材テーブル（１）の位置を測定する測定システム（３９）とを具える。
【解決手段】駆動ユニット（２１）の静止部（１５７）はリソグラフ装置の機械フレーム（８５）に固定されており、測定システム（３９）の静止部（５１、５３、５５）は動的絶縁装置（９５）によって機械フレーム（８５）から動的に絶縁されるリソグラフ装置の基準フレーム（８９）に固定されている。このようにして、駆動ユニット（２１）の反力によって機械フレーム（８５）内に発生する振動が基準フレーム（８９）に伝わるのを防止し、測定システム（３９）の精度がこのような振動によって悪影響を受けないようにする。 （もっと読む）

ダンパシステム４００は、センサ４３０と、電気コントローラ２２９５と、アクチュエータ４１０を有する。センサは、機械的振動を測定し、その振動により引き起こされる電気入力信号を生成する。センサは、ボディと基準マス４２２との間に取付けられる。電気コントローラは、電気入力信号に応答し、電気出力信号を生成する。アクチュエータは、電気出力信号に応答し、ボディと外部ボディとの間に力を生成する。センサとアクチュエータは、遅延を低減するよう実質的に近くに配置される。遅延は、アクチュエータとセンサのループにおける音響信号遅延と電子信号遅延の合計からなる。
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【課題】設備機器や家庭内の什器および家具調度品などの被吸振体が既設のものであっても、被吸振体に対して簡易な操作で迅速に据付けられ、後付けが可能となる吸振装置を提供する。
【解決手段】吸振装置５の吸振部８は、設置面１に固定されて複数のゴム板７を積層している。連結板部１８は工場内の設備機器２に連結固定され、吸振側板部９は吸振部８のゴム板７に挟まれるように固定されている。吸振装置５の据付けは、吸振部８を設置面１に固定して連結板部１８および吸振側板部９を既設の設備機器２および吸振部８に連結固定する比較的簡易な操作で済む。このため、設備機器２や家庭内の什器および家具調度品などの被吸振体が既設のものであっても、被吸振体に対して簡易な操作で迅速に据付けられて近年の防災意識の高まりに対応できるものである。 （もっと読む）

【課題】球と椀形曲面を利用した免震装置で、減衰力として機械的すべり摩擦力を利用し、その摩擦力が復元を妨げないような機構を提供する。
【解決手段】基礎側受台１と対象物側受台５にそれぞれ対向する面に椀形曲面を形成し、その間に球をころがり支承させ、また一体に連結されている板５と直接対象物を受ける板１１との間に、ばねにより押圧された板８を設け、５と８の間にも対向する面に椀形曲面を３〜４組設け、その間に球を入れて支承させ、一体となっている５および１１が水平動した時に、８が水平方向に力を受けながら上下動すると、棒１２との間にすべり摩擦損失が発生する。またこの摩擦力の駆動力はころがり接触で伝動されているため復元力を妨げることはない。 （もっと読む）

例えば半導体装置の製造に用いられるシステムは、真空室部のような封止された内部空間（１１）を持つ室部（１０）を有する。テーブルのような重い質量体（１４）は、この真空室部内に配され、１つ以上の振動減衰器又は絶縁器（１５）により支持又は保持される。各振動絶縁器は、室部（１０）の封止空間内へ延びる開口内側端部を有する空洞又は管状部材（１８）を有する。支持構造体（２１）は、質量体又はテーブル（１４）を支持するために空洞部材の内側端部に配される。ベローズ状体（２４）の対向両端部は、空洞部材（１８）の内部空間（２６）を室部（１０）の内部空間（１１）から封鎖するように、空洞部材（１８）及び支持構造体（２１）にそれぞれ封止状態で結合される。支持構造体の表面部分は、室部の封止された内部空間のものとは異なる気圧に曝され、少なくとも部分的に支持構造体（２１）及びこれに支持される質量体又はペイロード（１４）の重量の平衡を保つようにしている。
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【課題】 ダイナミックキネマティックマウントを提供する。
【解決手段】 ダイナミックキネマティックマウントは、３つのボール、第１のプレート、および対向する第２のプレートを含む。第１のプレートは、第１のプレートの並進および回転運動を抑制する６つの接触点で３つのボールに接触し、また第２のプレートは、第２のプレートの並進および回転運動を抑制する６つの接触点で３つのボールに接触する。同様に、対向する第１および第２の面と、第１の面から第２の面に延在する３つの穴とを有するスペーサが設けられる。３つのボールの各々は、スペーサに対して回転するための３つの穴の１つに配置され、このスペーサ内で、３つのボールが第１および第２の面の外側に突出する。第１のプレートは第１の面に並置され、また第２のプレートは第２の面に並置される。 （もっと読む）

振動および防振装置（１００）が開示される。装置（１００）は、流体、第１の流体閉じ込めチャンバ（１４６）、第２の流体閉じ込めチャンバ（１４８）、および第１の流体閉じ込めチャンバ（１４６）と第２の流体閉じ込めチャンバ（１４８）を接続する制動パス（１２２）を含む。第１の流体閉じ込めチャンバ（１４６）および第２の流体閉じ込めチャンバ（１４８）の断面積と、制動パス（１２２）の断面積との比によって、振動絶縁に有効な流体質量が生成される。
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ペイロード（５７）をアース動作から絶縁させるアクティブ振動絶縁のためのシステム及び方法である。システムは、本体（１６；５１）と、少なくとも１つのバネ（４５）を用いて本体（５１）により支持される質量（４１）と、少なくとも１つの更なるバネ（４３）を用いて質量（４１）により支持される更なる質量（３９）とを有する。センサが、質量（４１）と更なる質量（３９）との間の距離を感知し、距離信号を生成する。コントローラ（４９）は、距離信号を受信して、距離信号に基づいた制御信号を生成する。アクチュエータ（４７）は、制御信号に基づいて質量（４１）の位置を作動させ、一方、更なる質量は、アース（１６）から絶縁されるべきペイロードを支持する。
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【課題】テーブルのペイロード面に取り付けて、かつそれに対して移動させることのできる振動ダンパー・アセンブリ。
【解決手段】この振動ダンパー・アセンブリは、ハウジング内に設置されたセンサとダンパーを含む。このハウジングは、１つまたは複数の留め具を用いて、ペイロード面に取付けできる。作業者は、振動ダンパー・アセンブリを、ペイロード・アセンブリの異なる場所に移動させて、振動ダンパー・アセンブリの制振機能を最適化することができる。 （もっと読む）

アクチュエータ（８）と、基準質量（２２）と、バネ（２４）と、第一のセンサ（２６；４２、４３；３２、３６）とを備えたアクチュエータ構成。アクチュエータ（８）は、第一の物体（２）と第二の物体（１６；５４）の間に力を加える。基準質量（２２）は、使用中、バネ（２４）によって、第三の物体（１６；５６）に支持される。第一のセンサ（２６；４２、４３；３２、３６）は、基準質量（２２）と第一の物体（２）の間の第一の距離（ｚ２；ｚ５，ｚ６；ｚ３，ｚ４）に依存し、アクチュエータ（８）を動かすコントローラ（６）へ入力される第一の距離信号を生成する。
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【課題】 目的の使用温度に応じて優れた振動吸収性を発現する制振材シートを提供する。
【解決手段】 側鎖が、塩素基２０wt％以上（対ポリマー）、シアノ基５〜４５ｗｔ％（対ポリマー）で、主鎖が炭素と炭素の単結合または、二重結合で構成された熱可塑性樹脂とベンゾチアジル基含有化合物を含む制振シート。 （もっと読む）

【課題】 エアマウントによる疑似３点の支持構成が採用された従来の露光装置では、アクチュエータの推力をエアマウントで置換した場合、定盤を僅かながら歪ませてしまい、露光ショットずれを引き起こす恐れがある。
【解決手段】 各エアマウント５Ａ〜５Ｄの内圧を計測する圧力計４９Ａ〜４９Ｄを設け、これら圧力計４９Ａ〜４９Ｄの出力に基づいて各エアマウント５Ａ〜５Ｄの推力を調節してアクチュエータ４Ａ〜４Ｄの推力と置換させる除振装置を露光装置に採用することにより、推力置換後の除振台の歪みを防止することができる。これにより、投影光学系や位置センサ、レーザ干渉計の支持部等に撓みが生じなくなるので、露光ショットずれを防止して露光精度の向上を図ることができる。 （もっと読む）