【課題】周囲温度の変化により除振特性に悪影響を殆ど受けることのない、耐久性に優れた除振マウントを提供すること。
【解決手段】所定の機器を除振又は制振する除振マウント１０であって、第一及び第二の取付部材１２，１４との間に配されて、機器の重量を支持するコイルばね１６と、コイルばね１６の内側空間内に設けられる円筒体１８と円筒体１８内をその軸方向に摺動せしめられるピストン部材２０にて形成される空気室２４に対する空気の流出入より、入力振動の減衰を図るようにした振動減衰機構を有し、またピストン部材２０と第二の取付部材１４との間に球形磁石３０を配して、点接触構造にて当接される点支持機構を構成し、更にピストン部材２０が第二の取付部材１４に常に支持されるように構成した当接維持手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】揺れに対して優れた反応性および減衰性を発揮することのできる制震装置を提供すること。
【解決手段】制震装置１は、鉛直方向にて互いに対向する１対の上側基台２および下側基台３と、上側基台２と下側基台３との間に位置するとともに、平面視にて四角形の各角部に対応する位置に設けられた４つの制震部４〜７とを有している。各制震部４〜７は、上側基台２の固定された上側部材と、下側基台３に固定された下側部材と、上側部材と下側部材との間に設けられた変位部材とを備え、各制震部４〜７における変位部材のうちの、四角形の一方の対角線上にある２つの制震部５、６の変位部材は、略球状をなすボール部材５１、５２で構成され、他方の対角線上にある２つの制震部４、７の変位部材は、上面と下面とがそれぞれ湾曲凸面で構成された円盤状の円盤部材４３、７３で構成されている。 （もっと読む）

【課題】制御対象である定盤と床との間の微小変位の検出を簡単に且つ低コストにて行ない得るようにして、装置全体の高価格化を効果的に抑制乃至は阻止してなるアクティブ除振マウント機構を提供すること。
【解決手段】床４の振動を絶縁する一方、定盤２の重量を支える弾性支持体６；定盤２のたわみ量に対応して復元力が変化する第一のコイルばね１８と、その復元力変化を検知して制御信号として出力するロードセル２０とを直列に組み合わせてなるセンサ手段８；及び床４に対する定盤２の相対的な高さ変化を補償するように上下動するようにしたものである微小変位アクチュエータ４０と、微小変位アクチュエータの上下動によりたわみ量を変化させるようにしたものである第二のコイルばね３８とを直列に組み合わせてなるアクティブ除振装置１０を有するように、アクティブ除振マウント機構を構成した。 （もっと読む）

【課題】搭載盤３２に対する半導体ウエハＷの搬送位置の精度を向上させることである。
【解決手段】基台２と、半導体ウエハＷが載置されるウエハステージ３１を搭載する搭載盤３２と、前記基台２上に設けられ、前記搭載盤３２を支持して、前記搭載盤３２の除振を行う複数のばね要素４と、前記ウエハステージ３１に前記半導体ウエハＷを載置する際に、前記ばね要素４の除振機能を無効にして、前記搭載盤３２を前記基台２に対して、所定位置に位置決めする位置決め機構５と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】水平方向に振動が加わっても、水平軸中心に回転するピッチングの発生を抑制する防振装置のスタビライザ機構を提供する。
【解決手段】支持フレーム１１上に設けた弾性体１４に支持された機器設置台１２とで構成された防振装置のスタビライザ機構において、機器設置台１２の第１端部Ｐ１と、防振装置のスタビライザ機構１０の重心を通る機器設置台１２の鉛直軸Ｘに対して線対称な位置に設けた第２端部Ｐ２と、当該第１端部Ｐ１および第２端部Ｐ２にその一端を回動自在に取付けた第１の支持アーム１７および第２の支持アーム２２と、当該第１の支持アーム１７および第２の支持アーム２２とは略直角をなし先端に第１の支持アーム１７および第２の支持アーム２２の他端を回動自在に取付けた可動アーム２１の回転軸支持部において回転運動をねじれ剛性により回転自由度を抑制する前記各支持アーム１７および２２に回転自在に支持されたねじり棒２０を備える。 （もっと読む）

【課題】 胴内排紙タイプのマルチファンクションプリンタにおいて、プリンタ部において発生した振動が、原稿読取部に伝達してしまう。また、ユーザにより、胴内排紙部にアクセスするためにプリンタ部に支持されていない原稿読取部の一隅に荷重をかけられた場合、における原稿読取手段の変形を防止することを目的とする。
【解決手段】 原稿の画像を読み取る原稿読取手段と、該原稿読取手段の下方に空間を隔てて配設された画像形成部と、上記空間に設けられた排紙収納部と、を画像形成装置は有する。画像形成装置はさらに、原稿読取手段と画像形成部との間に上記空間を形成するための支持手段を備え、該支持手段は上記画像形成部の上部に固設され、上記原稿読取手段を包囲するように形成されている。そして、支持手段の原稿読取手段の載置面に振動吸収部材を設けた。 （もっと読む）

【課題】効率的に制御を行うことができると共に除振性の高い物体吊り下げ装置及び露光装置を提供すること。
【解決手段】吊り下げ部材を介して物体を第１方向に吊り下げる物体吊り下げ装置であって、前記物体と前記吊り下げ部材とが接続される位置を前記物体に対して相対的に移動させる位置調節装置を備える。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化・複雑化を招くことなく支持振動系の固有振動数を低く（小さく）することができ、除振効果（除振性能）を高めることができる除振装置およびその制御方法を提供すること。
【解決手段】除振台７の上に載置された除振対象機器８を、設置面Ｇに対して弾性的に支持する除振装置１であって、前記設置面Ｇに対する前記除振台７の変位を計測する変位計測手段４と、前記除振台７をアクティブに駆動する駆動手段３と、前記変位計測手段４が計測した計測結果に基づいて、前記除振台７が、前記変位の方向と同じ方向に移動するように前記駆動手段３を制御する制御手段５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 レチクルステージを支持する構造体のうち、支持部材によって支持されていない隅部が梁状となって振動してしまう。この振動によって、露光時の重ね合わせ精度に悪影響を及ぼすおそれがある。
【解決手段】 レチクルステージを支持する構造体のうち、第１支持部材によって支持されていない隅部に、振動を減衰させる手段を備えた第２支持部材を設ける。 （もっと読む）

【課題】 受動的に振動を減衰する安価で効率的な振動減衰装置を提供する。
【解決手段】 設置部Ｆに設置された荷重支持部１０と、荷重支持部１０と連結され荷重と釣り合う負荷を与えるカウンタバランス部３０と、荷重支持部１０の設置部Ｆに対する振動を減衰する振動減衰手段２１を有する振動減衰部２０と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 様々な重量の荷重の振動を絶縁するため、柔軟に使用することができ、特に先行技術の状況では、これまで使用することが不可能であった振動絶縁用アクチュエータの使用を可能にする、能動的振動絶縁の装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、荷重と据付面との間に作用する静的力および動的力を少なくとも部分的に分離するため、荷重と据付面との間に配置された少なくとも１つの第１振動絶縁器具を備え、ほぼ分離された動的力を吸収するため、１つの第１荷重および／または荷重に割り当てられた少なくとも１つの第２振動絶縁器具を含むという事実によって、装置に作用する動的力および／または装置から生じる動的力を、振動を積極的に絶縁する方法で、静的力からほぼ分離する可能性が、初めて生じた。 （もっと読む）

【課題】大きな可動範囲を確保しつつ、装置の小型化、簡素化が可能となる、応答性に優れたアクティブ除振マウント機構を提供すること。
【解決手段】搭載物１０と床１１との間に介装されて、かかる搭載物１０を防振、支持するようにしたマウント機構にして、振動入力方向に変位して、搭載物１０と床１１との間の微振動を除去する微小変位アクチュエータ２と、搭載物１０の荷重を支持するコイルばね１とを並列に組み合わせてなるアクティブ除振装置を含み、且つかかる微小変位アクチュエータ２を、チューブ内への空気圧の導入による膨張によって収縮し、軸方向長さを変化させるラバーチューブ２００にて構成すると共に、かかるラバーチューブ２００の軸方向が前記コイルばね１の軸方向と同方向となるように配置して、アクティブ除振マウント機構を構成した。 （もっと読む）

【課題】気体ダンパを用いる際に、気体ダンパ用の気体供給源の圧力変動又は流量変動が大きい場合の除振性能を向上する。
【解決手段】空気取り入れ部４５と、構造物を支持するエアダンパ４３とを有する防振装置において、空気取り入れ部４５から供給される空気の流量を制御してエアダンパ４３に供給するサーボバルブ４７と、その構造物の位置情報に基づいてサーボバルブ４７を介してエアダンパ４３の内圧を制御する制御部７６と、空気取り入れ部４５から供給される空気の圧力変動によるその構造物の位置変動を抑制するように、その構造物に推力を与えるフィードフォワード部６５とを備えた。 （もっと読む）

【課題】精密除振台Ａの定盤１に搭載した機器Ｄに制振ユニット３を取り付けて、所定方向の振動を減殺するようフィードバック制御する。制振ユニット３の可動質量３３及び板ばね３４からなる付加振動系の共振による影響を排除して、除振性能を向上させる。
【解決手段】加速度センサ３１により検出した機器Ｄの振動状態に基づいて、コントローラ４の基本制御部４ａによりリニアモータ３２への操作量ｕ₁を求める。これにより可動質量３３が駆動される反力として、機器Ｄの振動を減殺するような制御力が得られる。この制御において、可動質量３３及び板ばね３４からなる付加振動系の共振による機器Ｄの振動分を無視するよう、コントローラ４の補正制御部４ｂにより前記操作量ｕ₁を補正して操作量ｕ₂を求める。 （もっと読む）

【課題】部品数が少なく、しかも装着が簡単で、仮組み状態で取付孔２３から脱落するおそれもない防振マウント１を提供する。
【解決手段】取付対象部材２２に上下方向に開設された取付孔２３に、その下側から挿入可能であって取付孔２３の上方への抜け止め部１１ａが形成された外筒１１と、この外筒１１の内周に配置され支持側部材４に固定される内筒１２と、前記外筒１１と内筒１２の間に一体的に設けられたゴム状弾性材料からなる環状弾性体１３とを備え、外筒１１を取付孔２３に適当な締め代で挿入し、あるいは外筒１１を取付孔２３に挿入し、あるいは挿入後に取付孔２３の上側へ貫通した外筒１１の上端を折り曲げて取付孔２３の上端に掛止することにより、取付対象部材２２に仮組みしておくことができる。 （もっと読む）

【課題】定盤１に機器Ｄを上載し空気ばね２０により支持するともに、この空気ばね２０の内圧を変更して機器Ｄの振動を減殺するような制御力を発生させる場合に、その機器Ｄの局所的な共振を抑えて、アクティブ制御の性能を十分に発揮できるようにする。
【解決手段】機器Ｄの上部において下端部を中心に揺動し、低周波の共振を起こす塔部ｄ２に、制振ユニット３を取り付ける。制振ユニット３の加速度センサ３１により塔部ｄ２の振動を検出し、この加速度センサ３１からの信号を受けたＡＭＤコントローラ４によりリニアモータ３２を作動させて、可動質量３３を水平（軸線Ｘ）方向に駆動する。この駆動反力が塔部ｄ２に作用して共振を抑えることで、空気ばね２０により制御力を発生させるアクティブ制御のゲインを大きく設定することができ、その効果が十分に得られるようになる。 （もっと読む）

【課題】ポンプユニット等の機器の長手方向に延びる長尺状の防振台１を、該機器の幅方向に２つ並べて連結してなる防振台装置Ａであって、それら防振台１，１の連結剛性を低下させることなく、設置作業を容易化する。
【解決手段】２つの防振台１，１の各架台２間に架け渡した梁部材５の両側をそれぞれ連結するブラケットとして、各架台２の長手方向にスライド移動可能な第１ブラケット部材６と、梁部材５の長手方向（架台の幅方向）にスライド移動可能な第２ブラケット部材７と、を備える。第１ブラケット部材６には架台２の幅方向外方に延びる延出部６４を設ける一方、梁部材５は架台２の下方を潜らせてその左右両側に突出させ、ここにおいて第２ブラケット部材７を第１ブラケット部材６の延出部６４に下方から接合して、ボルト８により共締めで機器のベース部に締結する。 （もっと読む）

【課題】小型かつ簡単な構成で什器等を支持可能で、地震時には水平変位を許容し、摩擦力による減衰を得ることができ、水平方向の復元力も備える免震装置等を提供する。
【解決手段】下方に開口するハウジング部２と、ハウジング部２内の保持部４に枢着される球状部６ａからなる上部荷重支持部１１と、上方に開口するハウジング部３と、ハウジング部３内の保持部５に枢着される球状部６ｃからなる下部荷重支持部１２と、両荷重支持部１１、１２の各々の球状部６ａ、６ｂを繋ぐ腕部６ｃからなる免震体１３と、両荷重支持部１１、１２が相対的に移動した際に、両荷重支持部１１、１２を元の位置に戻すように復元力を付与する復元手段７とを備える免震装置１等。地震時等には、球状部６ａ、６ｃと、保持部４、５との間の摩擦によって減衰力を発揮し、復元手段７により復元力を発揮する。免震装置１を雄ねじ８を介して什器２０の底面に３台以上装着する。 （もっと読む）

【課題】除振効果が向上する除振システムを適合する方法を提供する。
【解決手段】除振システムを設置する際に、特に除振システムを囲む壁、床、又は音源等の複合物の形状、素材、質量、及び／又は間隔が決定される。決定された境界条件に基づいて、除振システム及び／又は環境に対する、環境からの影響を減少させる構造上の処置が特定され実行される。特に除振システムを囲む複合物、特に壁に、少なくとも部分的に防音材を設ける。そのようにする際、特に面平行な複数の面領域から発生する共振が生じ得る容積部が検出され、共振が生じ得る容積部を排除させるため、壁に構造を設けるか又は防音材を設ける等の適切な処置が実行される。さらに、音波による外乱を減少させるために、除振システムの周囲に少なくとも１つのアクティブ制御されるスピーカが配置される。これらの処置により、特に面平行な面領域を排除するため、環境からの外乱の影響が低減される。 （もっと読む）

【課題】荷重変動により柔軟に緩衝動作が行われ、長いストロークに亘って安定したバネ定数が得られる防振脚体及び防振台を提供する。
【解決手段】支持体である床Ｂと、被支持体である機器類Ａとの間の振動の伝達を抑制するため、緩衝機構として、空気の弾力性を利用した空気バネ７を備えた防振脚体２において、空気バネ７には、減圧により被支持体を上昇させる方向の引張力を付与し、また、環状溝に環状の防振ゴム１２を嵌め込んだゴム緩衝部５，６を備える。そして、防振脚体２を複数本配置して、これらの防振脚体２により機器類Ａの載置板３を支持した防振台１を構成する。荷重の増大に伴い、空気が圧縮されるのではなく、引き伸ばされて減圧されるので、長いストロークに亘って安定的かつ柔軟に緩衝され、また、ゴム緩衝部５，６の防振ゴム１２によって方向性なく緩衝され、自己位置復元性が得られる。 （もっと読む）