【課題】荷重曲線で使用範囲の制限が生じることを防止することができるのはもちろんのこと、大型にすることなく、同じ荷重特性の弾性部材を用いることができるとともに、高周波振動の伝達を抑制することができる締結機構およびそれを用いた防振装置を提供する。
【解決手段】防振装置に適用される締結機構１００は、ブラケット１０１と車体１０２との間で振動の伝達をばね１，２により抑制している。ブラケット１０１と上側ばね２との当接部２Ａを固定し、ボルト１０４の大径部１０４Ａの下面と上側ばね２との当接部２Ｂを固定している。初期状態において上下方向の引張荷重を受けるように上側弾性部材２を設定することができるから、上側弾性部材２は、ブラケット１０１の自重を受けることが可能になる。上側弾性部材２を適宜設計することにより、ばね１，２は、初期状態において同一の荷重を受けることができる。 （もっと読む）

基板（４２）を製造するための精密装置（１０）は、精密製造装置（１２）と、ペデスタル体（１４）と、緩衝系（１６）とを備える。精密製造装置（１２）は、基板（４２）を製造する。ペデスタル体（１４）は、製造装置（１２）の少なくとも一部を支持する。緩衝系（１６）は、前記搭載ベース（２０）と前記ペデスタル体（１４）との間での動きの伝達を抑制する。緩衝系（１６）は、（１）搭載ベース（２０）及びペデスタル体（１４）に接続され、搭載ベース（２０）及びペデスタル体（１４）の少なくとも１つに枢動可能に接続された第１ブーム材（３８０）と、（２）搭載ベース（２０）と第１ブーム材（３８０）及びペデスタル体（１４）の少なくとも１つとの間で接続された第１弾性体（３８２）と、を含むことができる。第１弾性体（３８２）は、弾性体（３８２）の作動範囲においてゼロ長スプリングと同様に機能できる。
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【課題】センサの支持構造として用いたときに、センサに伝わる外部入力の周波数特性に影響を与え難く、衝撃緩衝機構が作動したときにも衝撃緩衝の機能を容易に復帰でき、小型化が可能な衝撃緩衝構造の提供。
【解決手段】スリーブ軸２の円筒部の内壁には面荒らし処理により摩擦発生面２０が形成してある。摩擦発生面２０における静摩擦力により、固定軸１とスリーブ軸２とは初期位置に保持されている。その静摩擦力を超える衝撃が加わると、固定軸１とスリーブ軸２とは相対的に初期位置から移動し、バネ３の弾力に応じた位置で移動を停止する。この移動中、摩擦発生面２０では動摩擦力が作用し、その動摩擦力が生じている期間に衝撃のエネルギーが消費され、衝撃は緩衝される。 （もっと読む）

【課題】スパイクを構成するホーン部分の形状を双曲線又は指数関数曲線を稜線に持つ回転曲面形状にすることにより、振動の抑制・除去効果をさらに改善する。
【解決手段】 振動防止支持装置は筒状のスパイク受け３０と、そのスパイク受け３０に挿入され円柱部分４１および双曲線又は指数関数曲線を稜線に持つ回転曲面形状を有するホーン部分４２とを備えるスパイク４０とよりなり、スパイク４０の円柱部分４１の上面に被載置機器を載置するようにする。 （もっと読む）

【課題】 空気ばねの空気容量を大きくすることなく、除振性能を向上させることができ、しかも、応答性が良く制振性能に優れた除振装置を提供する
【解決手段】 設置構造Ｇと除振対象ｍとの間においてその双方に圧力を作用させて振動を遮断又は抑制する空気ばねを用いた除振装置であって、前記設置構造Ｇに接続される第１容器要素１１と、前記除振対象に接続される第２容器要素１２と、を具備し、前記第１容器要素１１と前記第２容器要素１２とが密閉状態を保ったまま相対移動可能に構成された容器１と、前記容器１に設けられ、容器内部１３の圧力よりも低い圧力の低圧源と接続される低圧ポート３と、前記容器１に設けられ、容器内部１３の圧力よりも高い圧力の高圧源と接続される高圧ポート２と、前記低圧ポート３及び前記高圧ポート２の開口量を調整し、前記容器内部１３の圧力を負圧に保つとともにその負圧力を制御して、前記第２容器要素１２を前記除振対象ｍの振動が遮断又は抑制されるように作動させる制御機構４を具備した。 （もっと読む）

【課題】圧縮コイルばねの圧縮変位に対して弾性抵抗の上昇や形状保持のための強度による影響を殆ど生じさせることのない簡単な構造の制振・防振装置を提供する。
【解決手段】、圧縮コイルばねによる制振・防振装置において、荷重坦持用の圧縮コイル２と、当該圧縮コイルばね２の外周に対向して配設された低硬度かつ低反発弾性率部材３とから構成され、前記低硬度かつ低反発弾性率部材３は前記圧縮コイルばね２との対向面が常時接触するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】水平面内において振動が入力しても、レベリングユニットの存在により、定盤とベースとの間に配設される除振マウントの水平方向の性能劣化を効果的に回避することの出来る構造を提供すること。
【解決手段】空気圧アクチュエータ２と定盤６との間に、水平方向移動許容機構である転動装置３０を配し、この転動装置３０における上側軌道盤３２と下側軌道盤３４とが、円形に配した複数個の鋼球３６を介して、水平方向において、相対的に自由に移動可能とされていると共に、それら軌道盤３２、３４やリテーナ３８の中心部位にそれぞれ配した３つの永久磁石４０、４２、４４の相互の磁極間吸引力によって、それら軌道盤３２、３４、及びリテーナ３８の自由な離間を阻止しつつ、それら軌道盤３２、３４及びリテーナ３８のセンタリングが行なわれるように、除振機構におけるレベリングユニットを構成した。 （もっと読む）

振動絶縁システムとともに使用される能動減衰システムを設け、能動減衰システムは、地上に配置されるアクチュエータと、アクチュエータに支持され動的力が減衰され負荷から絶縁される安定点として作用する中間質量を備える。能動減衰システムはまた、受動減衰要素と支持ばねを備え、両者は一端で負荷に連結され、他端で中間質量に連結される。少なくとも一つの除荷ばねが、中間質量と地面との間に配置され、アクチュエータに作用する負荷からの重量を部分的に支持している。センサが中間質量に取り付けられ、その後の中間質量への作用のためにアクチュエータにフィードバック信号を発生して中間質量が安定点として作用するようにしている。このような能動ダンパを使用して動的力を絶縁するシステム及び方法も提供している。
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【課題】（１）地動外乱に対する除振性能・・・床振動に対する振動絶縁（２）直動外乱に対する制振性能・・・ステージ移動の駆動反力による揺れ抑制上記（１）の除振性能を高いレベルに維持したままで、（２）の制振性能に大幅な改善を図ることのできる除振装置を提供する。
【解決手段】定常時に気体を流し続ける状態で駆動される気体ばねを用いて、この気体ばね内部から気体の供給側と排気側に通ずる流路の流路抵抗だけに依存して決まる剛性をK_d1、前記流路を含むすべての流路を遮断した場合に決まる剛性をK_d2として、前記剛性が前記剛性K_d1から前記剛性K_d2に移り変わる周波数領域を動剛性遷移領域としたとき、この動剛性遷移領域、あるいはこの動剛性遷移領域よりも低い周波数領域に、前記気体ばねの前記剛性と負荷質量で決まる共振周波数を設定する。 （もっと読む）

【課題】気体の共鳴を防ぐことができ、所期の防振特性を確保することが可能な防振装置の製造方法、防振装置、ステージ装置及び露光装置を提供すること。
【解決手段】構造体を支持する気体が所定圧力で充填された第１気体室と、連通路を介して前記第１気体室に連通された第２気体室とを備え、前記構造体を支持して防振する防振装置の製造方法であって、前記連通路の諸元を、当該連通路における前記気体の共鳴周波数に基づいて決定する。 （もっと読む）

【課題】弾性筒体を大径にすることなく、スピーカが発生する振動が弾性筒体から軸部を経てキャビネットに伝達されるのを低減することができる振動吸収構造、及び表示装置を提供する。
【解決手段】スピーカの被取付部に開設される貫通孔３３を、弾性筒体５と周面同士が接触する接触部３３ａ，３３ａ及び該接触部３３ａ，３３ａに連なり、その中心軸に向けた凸部３３ｂを有する構成とし、凸部３３ｂと接触し軸長方向の相対移動を規制する規制凹所５ｃを弾性筒体５に設けて、貫通孔３３の接触部３３ａ，３３ａ及び弾性筒体５の内周面間の吸収部厚さＨ１を比較的厚くすることにより、スピーカが発生する振動が弾性筒体５から軸部２３を経てスピーカ支持部２１ｃに伝達されるのを低減でき、スピーカ支持部２１ｃに連なるキャビネットの微振動を低減できるようにした。 （もっと読む）

【課題】高速・高加速度で載置台を動作させた場合であっても、ガイドレールにかじりの生じない載置台搬送技術を提供する。
【解決手段】本発明においては、基板７を載置する載置台４０を、第１及び第２のガイドレール１１、１２上を支持しリニアモータで駆動して搬送させる。第１のガイドレール１１を、載置台４０の移動方向と直交する横方向に付勢して載置台４０を拘束された状態で案内する拘束エアベアリング２３と、第１のガイドレール１１を、載置台４０の移動方向と直交する横方向に付勢して載置台４０を弾性的な緩衝状態で案内する緩衝用エアベアリング２４とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、振動の影響を大幅に低減することのできる機械装置を提供することにある。
【解決手段】アクティブ制振機構１８として、被制振部１４に設けられ、該被制振部１４の振動方向に振動を発生するアクチェイタ２６と、該被制振部１４に設けられ、該被制振部１４の振動成分を含む加速度信号を出力する加速度センサ２８と、予め得ておいた該被制振部１４の固有振動情報に基づき、該加速度センサ２８よりの加速度信号に含まれる成分のうち、該被制振部１４の振動成分を検出し、該検出された振動成分の逆位相の信号を発生する信号処理手段３８と、該信号処理手段３８よりの逆位相信号に基づき、該被制振部１４の振動に対して逆位相の振動を該アクチェイタ２６に発生させる制御手段４０と、を備えたことを特徴とする機械装置１０。 （もっと読む）

【課題】広範囲の振動周波数に対して良好な減衰特性を持ち、かつ減衰特性の調整が容易な位置決めテーブルを提供する。
【解決手段】位置決めテーブル１０１は、駆動機構５３と、駆動機構５３により直線的に移動可能なテーブル可動部１１と、テーブル可動部１１に取り付けられたダンパ機構３と、テーブル可動部１１の振動量を検出する振動検出部３２Ａ，３２Ｂとを備え、ダンパ機構３は、圧電素子１Ａ，１Ｂと、圧電素子１Ａ，１Ｂに組み合わされたおもり２とを含み、さらに、振動検出部３２Ａ，３２Ｂによって検出された振動量に基づいて圧電素子１Ａ，１Ｂに駆動電圧を供給する制御部３３を備える。 （もっと読む）

【課題】支持する荷重に拘わらず、上部構造体の固有周期を長期化して加速度を低減し、適宜好適な摩擦力を得て振動エネルギ吸収能力に優れ、復元特性も併せ持つ免震装置等を提供する。
【解決手段】建築物等の上部構造体３に固定され、下方に開口する凹球面状下表面１１ａを有する上沓１１と、基礎等の下部構造体２に固定され、上方に開口する凹球面状上表面１２ａを有する下沓１２と、上沓１１と下沓１２との間に移動自在に配置される移動体１３、１４とを備え、移動体１３、１４は、上沓１１の凹球面状下表面１１ａに対向する凸球面状上表面１３ａと、下沓１２の凹球面状上表面１２ａに対向する凸球面状下表面１４ａとを有し、凸球面状上表面１３ａ及び凸球面状下表面１４ａに複数の空気吹出溝１３ｅ、１４ｅを備える免震装置１。また、この免震装置１を少なくとも３以上配置した免震構造物４１。 （もっと読む）

【課題】
この発明の主な目的は、機器脚部の高さ調整に際し低床化を図りやすく、かつ横揺れの防振効果に優れた設置台を提供することである。
【解決手段】防振材を装着して接地面に据え付けられる円盤状のフレーム部材と、フレーム部材の上面に搭載された取付ボルトとで構成されており、
前記防振材は上面に同心円状の１つもしくは複数のリブを備えるとともに、少なくともその１つは下に向かって拡がるテーパ状断面に形成され、
前記円盤状のフレーム部材は、下面に前記防振材の同心円状の１つもしくは複数のリブに対応する１つもしくは複数の凹溝を形成するとともに、外周には前記防振材の外周面にはまり合う突条ガイドが立設され、
前記機器脚部への取付ボルトは、下端に前記フレーム部材の上面に設けたボルト受け凹部にはめ込むピボットを形成され、
前記ナット部を回転させて各種機器類を所定の高さで保持することができるようにしたことを特徴とする設置台。 （もっと読む）

【課題】防振性が高く、防音・制振性も有しており、耐荷重性及び寿命の向上を図ることができる防振プレートを提供する。
【解決手段】防振プレート１０は、鋳物製のベースプレート２０の主面２０Ｂに、発泡ウレタンゴムからなる弾性プレート３０の主面３０Ａを接着固定した構造となっている。前記ベースプレート２０の他方の主面２０Ａには、機器１２の足１４を受ける凹部２２が形成されている。前記弾性プレート３０を構成する発泡ウレタンは、独立気泡構造となっている。前記機器１２から荷重や振動を受けると、前記弾性プレート３０のウレタン樹脂中の気泡（ないしセル）が潰れ、ウレタン樹脂が撓むスペースができるため、振動を吸収しやすく防振・制振効果が得られる。また、鋳物性のベースプレート２０と弾性プレート３０を組み合わせているため、弾性プレート３０だけの場合と比べて、防音効果が格段に向上する。 （もっと読む）

【課題】気体圧制御によって支持対象物を微小振動させることである。
【解決手段】除振システム２００は、除振台２０２の振動を加速度検出器２０４で検出し、検出された加速度に応じて制御部２０６において気体圧を制御し、制御された気体圧を微小振動制御装置２００に供給し、微小振動制御装置２００によって取付部２１０を介して除振台２０２の微小振動を相殺して除振する。微小振動制御装置２００においては、筐体部に複数の平板可動子が整列配置され、各可動子間隙間に隙間制御用気体が供給される。各平板可動子は、気体圧変化に対する各可動子隙間の変化量に関する気体軸受剛性特性が正方向の符号を有し予め定めた閾値剛性値以下に設定される気体絞り部をそれぞれ有している。 （もっと読む）

【課題】対象物を搭載するための搭載面の面積を確保しつつ、固有振動数が高く軽量な装置用定盤を提供する。
【解決手段】対象物を搭載するための搭載面１２ａである平坦な一方の面を有する板状部１２の他方の面１２ｂに、搭載面１２ａの長手方向に沿って補強部１３が設けられている。この補強部１３は板状部１２の搭載面１２ａの長手方向に直交する断面が中空円弧形状の形状を有する。そして、補強部１３の中空円弧形状を維持するため、補強部１３の長手方向の両端および前記両端の間には補強板１４がそれぞれ配置されている。また、補強板１４の両側端縁に対応する部位に前記両側端縁から外方へ突出する板状部１２の突出部１２ｃを補強する補強リブ１５が設けられている。なお、補強板１４には軽量化のための穴１６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】機器から発生した騒音の一部を吸収し、周囲に発生する騒音の低減を図る。
【解決手段】本発明の防振架台は、上部に付加質量８を有する防振架台本体２と、防振架台本体２と機器４間に配設される騒音吸収架台３とを備えている。
騒音吸収架台３は、金属製の筺体３１と、筺体３１内に収容された吸音材３２とを備えている。
筺体３１は、機器４と対向する側が開放された直方体状の筐体本体３１ａと、筐体本体３１ａの対向する上縁３１ｂ、３１ｃ間に上縁３１ｂ、１ｃの長手方向に沿って離間して跨設される複数個の橋桁３４ａ、３４ｂとを備えている。
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