【課題】多入力多出力を扱え、かつ非振動的な除振制御が可能であり、システム変動に頑強な制御を実現する。
【解決手段】搭載物が載置される定盤１を駆動する複数の駆動部３ｂに対応して配置された複数のセンサ３ａにより、定盤１の状態量を計測する。次に、定盤１についての複数の状態量及び定盤１の運動方程式に基づいて、スライディングモード制御により、該当する駆動部３ｂに対する制御量を作成し、出力する。
またカルマンフィルタ９をさらに備え、制御部は、複数のセンサ３ａのうち一部のセンサから取得した状態量をカルマンフィルタ９に入力し、カルマンフィルタ９で推定された他の状態量と一部のセンサから取得した状態量及び定盤１の運動方程式に基づいて、該当する駆動部に対する制御量を算出することが好適である。 （もっと読む）

【課題】重量のある構築物の転倒防止がより簡便、容易に施工できる、弾性体シートと塊状体とを組み合わせた器材およびこの器材を用いて転倒防止された構築物の提供。
【解決手段】内部塊状体３を内部に配した弾性体シート２の周縁部に、内部塊状体の高さより大きい高さの外部塊状体４が配してあることを特徴とする転倒防止用器材１、および、この転倒防止用器材１を、石材５、６の間に挿入して、石材を積み重ねて構築された耐震構築物。 （もっと読む）

【課題】周期的に運動する運動体から伝わる振動が機器へ及ぼす影響を抑えることができ、調整が容易な振動防止装置を提供する。
【解決手段】偏心した運動体の周期的運動から伝わる振動を防止する振動防止装置１００であって、振動が伝わる被振動体に設けられ、振動の第１成分を検知する第１の振動検知部１１１と、運動体の運動に基づき位相同期信号を生成する位相同期信号生成部１５０と、検知された振動の第１成分および生成された位相同期信号に基づいて、検知された振動の第１成分を相殺する振動を発生させる第１の振動発生信号を生成する第１の信号生成ユニット１１０と、第１の振動発生信号に基づいて被振動体を駆動する第１の駆動部１１６と、を備える。これにより、微小な位置決め等への振動の影響を未然に防止することができる。また、運動体の種類を問わず適用でき、設置の際の細かい調整は不要である。 （もっと読む）

【課題】床面の局所的な沈下量を補正する除振装置内の空気ばねの鉛直方向駆動量および防振対象のステージ位置に因らず固有振動数を所定の値にすることを可能とする除振装置を提供する。
【解決手段】製造に用いる装置の大型化に伴い、その荷重を支持する床が経年変化して局所的に沈下する。これにより装置全体がねじれて防振対象のステージ等の製造に用いる装置に影響を与えることがないよう、装置の構造体２０を支持する除振装置内の空気ばね部２１を鉛直方向に駆動させる。この駆動に伴って空気ばねの内容積が変化し、除振装置の固有振動数が変化するので所定の制振性能が得られない可能性がある。空気ばね２１に接続されたエアタンク２５の内容量を可変に制御することで固有振動数を所望な値に変化させることが可能な除振装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】良好な加工性を維持しつつ、現状よりも減衰性能が向上した高減衰部材を製造できる高減衰組成物を提供する。
【解決手段】ベースポリマー１００質量部に、シリカを１００質量部以上、１８０質量部以下、軟化点が１２０℃以上、１８０℃以下のロジン誘導体を５質量部以上、５０質量部以下の範囲で配合した高減衰組成物である。 （もっと読む）

【課題】摩擦ダンパにおける摩擦力の大きさを相対変位および相対速度に応じて変化させることにより、絶縁効果を損なわずに過大な振動を抑え、位置ずれも生じない振動絶縁装置及び摩擦ダンパを提供する。
【解決手段】外力が作用している場合の過大な共振振動を抑制するとともに作用外力が去った後の振動を速やかに収束させるための減衰機構として、テーブル１又はベース２の一方の対向面に、ブロック形状の摩擦部材（円柱部材７ａ，７ｂ）を設け、テーブル１又はベース２の他方の対向面には、軸回りに回転可能なレバー（８ａ〜８ｄ）と該レバーを摩擦部材の外周面に押し付けるためのばね（押し付けばね１０ａ〜１０ｄ）からなる押圧装置を設け、テーブル１とベース２に相対変位が生じた場合、摩擦部材とレバーとの間に生じる摩擦力の大きさが変化する摩擦ダンパ１０１を用いた。 （もっと読む）

【課題】防振性能上求められる極めて低いバネ定数をもちながら、支持位置補正のための支持力補正感度が高い特性をもつと共に、その支持力の補正制御における制御エネルギー消費量を画期的に抑制する。
【解決手段】支持部材１０と固定部材１４との間に配設され、比較的高いバネ定数をもつ第一バネ要素１５と、支持部材１０と支持力補正制御部材１２との間に配設され、第一バネ要素１５のバネ定数とは正負が逆の関係のバネ定数をもつ第二バネ要素１６と、支持力補正制御部材１２と固定部材１４との間に配設され第二バネ要素１６のバネ定数とは正負が逆の関係のバネ定数をもつ第三バネ要素１７と、油圧を受けてその油圧に応じた補正推力を支持力補正制御部材１２に与える補正推力発生油圧ピストン・シリンダ機構１３と、支持部材１０の変位に応じた出力油圧を補正推力発生油圧ピストン・シリンダ機構１３に作用させる油圧比変換装置６２とを備える。 （もっと読む）

【課題】要求される強度を備え、振動を検出するセンサを別途必要としない膜型アクチュエータを提供する。
【解決手段】膜型アクチュエータ１０は、板バネ２２の片面にアクチュエータ用圧電素子２０が接合され、他面にセンサ用圧電素子２４が接合されている。アクチュエータ用圧電素子２０は、圧電セラミックで形成され板バネ２２の片面を覆い、板バネ２２と接着剤で接合されている。センサ用圧電素子２４も同じ構成である。センサ用圧電素子２４の側面には、センサ用圧電素子２４が自らの歪量に対応して発生させた電圧を取り出すリード線３２が取付けられ、リード線３２の他端はアクチュエータ用圧電素子２０を変形させる制御信号を出力する制御手段２６に接続されている。アクチュエータ用圧電素子２０の側面には電圧を印加するリード線３０が取付けられ、リード線３０の他端は電圧発生手段２８に接続されている。 （もっと読む）

投影露光装置における光学素子（１）用の本発明に係る制振装置は，互いに離隔して配置された少なくとも２つの質量ダンパ（３）を備え，各質量ダンパ（３）が少なくとも１つの制振質量（３０）と，少なくとも１つのダンパ素子（３２）とを有し，少なくとも２つの質量ダンパ（３）における制振質量（３０）が，少なくとも１つの結合素子（４）により互いに結合している。さらに本発明は，投影露光装置用の光学素子（１）と，投影露光装置とを提供するものでもある。 （もっと読む）

【課題】載置された機器類の稼動に伴い発生する衝撃力による振動を抑制する、載置台の支持装置を提供する。
【解決手段】台座２２上面に凹部２８が形成されている。凹部２８の底面にはアーチ状支持板１２が摺動可能に配置され、折り曲げ部の一方の側面には印加電圧に対応して変形するアクチュエータ用圧電素子１４が接合されている。アクチュエータ用圧電素子１４に載置台２６が載せられ、アーチ状支持板１２で載置台２６を支持している。載置台２６の上の機器類２７から、運転情報が稼動タイミング出力手段１６に出力され、稼動タイミング出力手段１６から、稼動タイミングが制御手段１８に出力される。制御手段１８は、圧電発生手段２０に載置台２６の振動を低減させる制御信号を出力し、圧電発生手段２０は、アクチュエータ用圧電素子１４に発生させた電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】アイソレータとしての空気バネの固有周期を地震の振動特性に応じて調整することができ、地震の揺れに対する空気バネの共振を防止して、長周期地震動等のように揺れの周期が長いものにも対応し得る免震床装置の固有周期調整方法及び装置を提供する。
【解決手段】圧力源としてのコンプレッサ１０が接続された空気バネ８に対し複数の補助タンク１１をそれぞれ開閉弁１２を介して直列に接続し、地震の振動特性に応じて所望の開閉弁１２を開くことにより、前記空気バネ８に接続される補助タンク１１の個数を変化させ、前記空気バネ８及び該空気バネ８に接続された補助タンク１１のトータル内容積量を変化させて、前記空気バネ８の固有周期を調整するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】縦方向及び横方向部材とこれら両部材を連結するコーナー部材を備えた防振架台において、簡単に且つ少ない工数でこれらの部材の組み付けを行う技術を提供する。
【解決手段】エアコン室外機用防振架台１の上架台３は、縦方向に延びる一対の第１縦フレーム部材９，９と、当該一対の第１縦フレーム部材９，９を横方向に連結するように架け渡される一対の第１横フレーム部材１１，１１と、第１縦フレーム部材９の端部に配設されて、その端面９ｈに重ね合わされる竪壁部４３を有する上側耐震ブラケット１３と、を備えている。第１横フレーム部材１１の端部は、第１縦フレーム部材９の端部に形成された第１貫通孔９ｅ，９ｆに貫通されるとともに、固定金具１５を介して上側耐震ブラケット１３の竪壁部４３に連結されている。固定金具１５は、第１横フレーム部材１１の端部を角根丸頭ボルト２７，２７によって竪壁部４３に縦方向に進退可能に連結している。 （もっと読む）

【課題】機器１の載置される天板５がコイルばね４によって支持されているアクティブ除振台Ａを、できるだけ小さくかつ軽量にするとともに、コストの上昇を招くことなく所要の減衰特性が得られるようにする。
【解決手段】鉛直用リニアモータユニット６のボビン６７を、その当接部材７０の球面状凸部を介してケース２の床板２０上に転動可能に支持し、そのボビン６７の揺動によって水平方向の振動を吸収するとともに、適度な減衰力が発生するようポールピース６２との間に高減衰ゴムのＯリング６５を配設する。当接部材７０は樹脂材によって形成し、ポールピース６２とボビン６７との間に配設した予圧縮状態のコイルばね６６によって、ケース床板２０上に略一定の押圧力で押し付ける。水平用リニアモータユニット７も同様の構造とする。 （もっと読む）

【課題】輸送制限の問題および精度低下の問題を解決できる測定機を提供すること。
【解決手段】ガイド部２と載置テーブル部５とが振動伝達部材６によって着脱可能に連結されるので、画像測定機をガイド部２、可動部３、および載置テーブル部５等に分割することが可能となり、各部材２，３，５を分割輸送することができる。そのため、輸送制限にかかることなく画像測定機を大型化することが可能となる。また、ガイド部２側で生じた振動も載置テーブル部５側で生じた振動も、振動伝達部材６を介して他方に伝達させることができるので、各側２，５に設けられた測定部と被測定物ｍとの間の相対振動を抑えることができ、相対振動による精度低下を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】免震装置を支持する支持装置に、免震装置が壁に面した状態で設置された場合にも、免震装置の機能を有効に発揮させる。
【解決手段】構造体２０の水平面２１上に互いに平行に配置され、水平面２１に直接、もしくは間接的に固定される複数本の固定部３と、この各固定部３に対してその軸方向に相対移動自在に支持され、水平の２方向に相対変形可能な免震装置１００を支持可能な可動部４とを有する複数本のスライド部材２と、固定部３と水平面２１のいずれかに直接、もしくは間接的に形成され、可動部４の長さ方向の一端が接触可能な壁部２２から免震装置用支持装置１を構成する。 （もっと読む）

【課題】除振台の水平方向の振動に対して、応答性良く、アクティブ除振を行い得ると共に、除振台に鉛直方向の移動が生じても、それによる悪影響を受けることの少ない、コンパクトな構造のアクティブ除振ユニットを提供すること。
【解決手段】微小変位センサ８による検出情報に基づき、除振台２における水平方向の微小変位を除去する微小変位アクチュエータ機構１０として、ダイヤフラム２８に永久磁石４４を取り付けてなる水平ダイヤフラムアクチュエータ２０を、床４に立設した支持板２２に配設する一方、永久磁石４４が磁着可能な鉄ブロック１６を除振台２側に設けてなる、水平方向の微小変位を除去するための第一の微小変位アクチュエータ１２を設け、更に、永久磁石４４と鉄ブロック１６とが、それらの鉛直方向の相互の摺動を許容する第一のすべり板４６を介して、磁着可能として、アクティブ除振ユニットを構成した。 （もっと読む）

【課題】地震波によって生じる応答加速度、相対変位の双方を低減させる。
【解決手段】固定ベース１１上において、圧縮ばね１２ｂを介して上向きに付勢する支持材１２と、縦横のスライドレール１３、１３、１４、１４を介して水平方向に相対移動自在に支持する移動フレーム２０と、水平の規制板２３とを設け、支持材１２は、上端の球面を介して規制板２３の凹部２３ａの内面に滑り接触させる。 （もっと読む）

【課題】比較的小型の低荷重の軽重量物に適した免震構造体とその製造方法を提供すること。
【解決手段】上下の面板の間に金属板などの剛性板と、ポリウレタン樹脂組成物などの弾性層とが交互に積層された積層弾性体の積層方向に空洞部が形成されており、前記弾性層には、ガラス、セラミックス、金属、樹脂などの硬質粒子が含有されていることを特徴とする免震構造体。この免震構造体は、剛性板の上に硬質粒子とを交互に積層し、剛性板の間に介在する硬質粒子に弾性層形成原料を充填して積層方向に空洞部が形成された積層弾性体を用意し、積層弾性体に上下の面板を取り付けるて製造される。 （もっと読む）

【課題】振動除去装置において、流体供給を要せずに対象物に振動除去のための反力を発生する慣性体を支持できるようにすることである。
【解決手段】振動除去装置１０は、慣性体と慣性体を駆動するアクチュエータ機構とを含んで構成される装置本体部２０と、図示されていないが定盤８のＸ方向加速度αを検出してこれを取得し、装置本体部２０にこのαを打ち消すように慣性体の反力を生じさせる制御を行う制御部１２とを含んで構成される。装置本体部２０は、筐体２２と、筐体２２の内部に、軸方向移動に対する剛性が径方向移動に対する剛性よりも小さい支持バネ２６によって支持される慣性体２４と、慣性体２４を筐体２２に対し軸方向に保持する保持バネ５０，５２と、慣性体２４をＸ方向に移動駆動するアクチュエータ機構３０と、速度センサ４０とを含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】荷重曲線で使用範囲の制限が生じることを防止することができるのはもちろんのこと、大型にすることなく、同じ荷重特性の弾性部材を用いることができるとともに、高周波振動の伝達を抑制することができる締結機構およびそれを用いた防振装置を提供する。
【解決手段】防振装置に適用される締結機構１００は、ブラケット１０１と車体１０２との間で振動の伝達をばね１，２により抑制している。ブラケット１０１と上側ばね２との当接部２Ａを固定し、ボルト１０４の大径部１０４Ａの下面と上側ばね２との当接部２Ｂを固定している。初期状態において上下方向の引張荷重を受けるように上側弾性部材２を設定することができるから、上側弾性部材２は、ブラケット１０１の自重を受けることが可能になる。上側弾性部材２を適宜設計することにより、ばね１，２は、初期状態において同一の荷重を受けることができる。 （もっと読む）