【課題】簡単な機構で、ラックギヤとピニオンギヤとを円滑に噛み合わせることができる搬送装置、及びこれを備えた真空処理装置を提供する。
【解決手段】本発明の搬送装置は、基板３を搭載して搬送軌道９上を移動するキャリア２０に設けられたラックギヤ７と、ラックギヤ７に噛合する複数のピニオンギヤ５ａ，５ｂとを備え、ラックギヤ７は、ピニオンギヤ５ａがラックギヤ７の一端で歯合するときに、ピニオンギヤ５ｂと歯合する箇所のラックギヤ７が高くなるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】 ボール喪失時にナットを制動する制動ピースをリードの異なるボールねじ間で共用できるボールねじを提供する。
【解決手段】 ボール１１の喪失が起こった場合、ねじ軸４の雄ねじ溝２とナット７の雌ねじ溝５との係合が断たれ、ナット７および被駆動部材４１が重力によって落下しようとする。ところが、ナット７が下方に若干量移動すると、係止ポール３２の先端３２ａが間隙Ｓ１をもって対峙していた雄ねじ溝２に当接し、先端３２ａに沿って雄ねじ溝２の内周が滑ることでねじ軸４が図中右方に移動する。すると、ねじ軸４のランド３が間隙Ｓ２をもって対峙していた円弧状凸部３３の係止面３４に当接して係止され、制動リング３０とねじ軸４との相対動が係止ポール３２によって阻止される。これにより、ねじ軸４に対するナット７の軸方向移動が起こらなくなり、ナット７および被駆動部材４１が確実に制動される。 （もっと読む）

【課題】停電時に電源を用いずに電動真空弁を閉弁すること。
【解決手段】
第１ポート５１と第２ポート５２と、弁室５３と、弁座５４と、を備える弁部２２と、ステッピングモータ２７に接続した送りねじ３４と、シャフト３６と、送りねじ３４とシャフト３６により構成される送りねじ機構と、シャフト３６の回転を止める回転止手段と、シャフト３６の先端に取り付けられた弁体４２と、復帰ばね４４と、を有する電動真空弁２１において、停電時に、ステッピングモータ２７のステータとロータの間にディテントトルクが発生すること、復帰ばね４４の推進力がディテントトルクを送りねじ機構により変換した抵抗力より大きいことにより閉弁するものである。 （もっと読む）

【課題】完全非接触にて動力伝達を行うことができる機構であり、減速比を大きくとることができる機構を提供する。
【解決手段】近傍に配置した磁性体または電磁石により同極性に磁化された歯を持った歯車を駆動側と従動側に配置し、駆動側歯車の歯と従動側の歯の間に隙間をもたせ、磁気斥力により非接触で回転運動を伝達する非接触歯車において、従動側の歯車と駆動側の歯車の歯数が異なることを特徴とする非接触歯車。歯車の磁化には、例えば、鋼材からなる歯車をリングマグネットにて挟み込む手段を用いることができる。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバ内に設置される直動テーブル装置のメンテナンスの作業性を改善する。
【解決手段】真空チャンバ１０内に設置される直動テーブル装置１において、ベース２と、ベース２に対して直動可能に支持される移動テーブル４と、その移動テーブル４にナットブラケット５５を介して固定されるナット５１ｂおよびナット５１ｂを軸方向に駆動するねじ軸５１ｃを有するボールねじ５１とを備えている。そして、ナットブラケット５５は、その側面にナットブラケット５５に対するナット５１ｂの相対位置を決める位置決め部５３ｐが形成された位置決め部材５３を取付けており、ナット５１ｂは、位置決め部材５３に形成された位置決め部５３ｐに当接させて前記相対位置を決める当接部５１ｐを有する。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバ内に直動テーブル装置を設置した真空精密位置決め装置のメンテナンスの作業性を改善する。
【解決手段】真空チャンバ１０と、その真空チャンバ１０内に設置されて、ベース２と、そのベース２に対して直動可能に支持される移動テーブル４と、その移動テーブル４に取付けられたナットブラケット５５と、そのナットブラケット５５に着脱可能に支持されるナット５１ｂおよびそのナット５１ｂに螺合してナット５１ｂを軸方向に駆動するねじ軸５１ｃを有するボールねじ５１と、そのボールねじ５１の一端側に設けられて当該ボールねじ５１を駆動する駆動機構部とを有する直動テーブル装置１と、を備えた真空精密位置決め装置であって、前記真空チャンバ１０は、前記ねじ軸５１ｃの軸線上の当該真空チャンバ１０の隔壁に、前記ボールねじ５１の通過を許容する大きさの開口部５１ｐを有する。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバ内に設置される直動テーブル装置のメンテナンスの作業性を改善する。
【解決手段】真空チャンバ１０内に設置される直動テーブル装置１において、ベース２に対して直動可能に支持される移動テーブル４を駆動するボールねじ５１のねじ軸５１ｃを支承するサポートブラケット５４Ａ，５４Ｂをベース２上に備えている。さらに、ベース２上には、ベース２に対するサポートブラケット５４Ａ，５４Ｂの相対位置を決める位置決め部が形成された位置決め部材を取付けており、サポートブラケット５４Ａ，５４Ｂは、位置決め部材に形成された位置決め部に当接させて前記相対位置を決める当接部を有する。 （もっと読む）

【課題】 塵埃の多い環境下における使用や、水の直接噴流下においても問題なく使用することが可能なアクチュエータを提供すること。
【解決手段】 中空部材と、中空部材の内周側に収容・配置され回転駆動されるネジと、中空部材の内周側に収容・配置されネジに対して螺合・配置されたナットと、中空部材の内周側に収容・配置されナットに固着されたピストン部と、ピストン部に設けられた駆動側磁石部と、中空部材の外周側に回転を規制された状態で移動可能に配置されたスライダ部と、スライダ部に設けられた従動側磁石部とを具備し、ネジを回転・駆動することによりナット及びピストン部を適宜の方向に移動させ、それによって、駆動側磁石部と従動側磁石部との作用によってスライダ部を同方向に移動させるように構成したもの。 （もっと読む）

【課題】ステージ駆動装置でありながらチャンバの変形に起因する悪影響を防止することのできるステージ駆動装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバ１の外部に設けられたボールねじ駆動モータ１２と、ボールねじ駆動モータ１２の駆動力をボールねじ１１に伝達するトルク伝達軸１５と、トルク伝達軸１５の真空チャンバ貫通部をシールするシールユニット１６と、真空チャンバ１内に設けられたベース７と、を備えたステージ駆動装置において、シールユニット１６がベース７に対し固定され、真空チャンバ１とシールユニット１６との間がベローズ２８により弾性的に且つ気密に結合されてなることを特徴とする。 （もっと読む）