【課題】送液過程で発生する圧力脈動に対して、比較的簡単な設備で送液量の制御を高い精度で行うことができる送液方法及び液体含浸シートの製造方法を提供すること。
【解決手段】液体の貯留槽２と液体付与手段５とを配管３で接続し、配管３の途中に配置したプランジャー型ポンプ４により、貯留槽２に貯留された液体を所定量ずつ間欠的に液体付与手段５に送液する。貯留槽２とポンプ４との間の配管３１を、不動部位７，２０に固定せず且つポンプ４から下方に略垂直に延びる部分３１Ｃを有するように配置するか、又は下記１）〜３）を全て満たすように配置する。１）貯留槽２の近傍の１箇所で不動部位７に固定し、その固定箇所と該貯留槽との間に、前記配管の一部が不動部位に固定されずに存するようにする。２）前記１）の固定箇所とポンプ４との間は、不動部位に固定しない。３）ポンプ４から下方に略垂直に延びる部分３１Ｃを有する。 （もっと読む）

【課題】流体供給異常検知システム及び流体供給異常検知方法において、レセプタクル内のシール部材の正規の設置位置からの外れを検知可能とすることである。
【解決手段】レセプタクル１２に設けた接続口２８に小径Ｏリング１４を係止する。レセプタクル１２に設けたガス供給流路２６内の小径Ｏリング１４の正規の係止位置よりもガス下流側に、外周部にフィルタ本体部を有するフィルタ部材１８を設ける。フィルタ部材１８は、小径Ｏリング１４が正規の係止位置から外れた場合に、ガス供給流路２６の内面との間で小径Ｏリング１４を受け止め可能とする。異常検知装置２０は、大径ガス供給ノズル２２からガス供給流路２６への燃料ガスの供給時に、大径ガス供給ノズル２２またはガス供給流路２６内の圧力を検知し、検知した圧力が予め設定された閾値以上に上昇した場合に異常と判定する。 （もっと読む）

本発明は、特に、醸造システムにおいて、流動媒体を移送する管網を自動的に制御する方法であって、管網が、移送元と移送先との間の複数の移送経路を提供し、管網が、複数の管路セクションもしくは複数の制御モジュールまたはその両方を備えており、移送元、特に所定の移送元と、移送先、特に所定の移送先との間の、流動媒体の移送経路、を自動的に計算する移送経路計算ステップであって、移送元と移送先との間の一連の管路セクションもしくは制御モジュールまたはその両方を計算するステップを含んでいる、移送経路計算ステップ、を含んでいる、方法、に関する。
（もっと読む）

【課題】フィルター装置が配設された液体製品の製造管路に残留する残留物としての液体製品を有効に管路から送液させて回収する。
【解決手段】
管路内に残留した液体を加圧空気により圧送して送液する管路内残留液の送液方法であって、上記管路には液体をろ過するろ過フィルター装置が設けられ、上記管路に設けられたベントバルブの開度を調製することにより空気の流速を制御して管路内に残留する液体を上記空気と分離して送液する。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置に腐食性ガスを供給する際に，被処理基板に対する金属性汚染物質の混入を極力抑える。
【解決手段】 複数の流体制御機器（ハンドバルブ２３１，減圧弁（レギュレータ）２３２，圧力計（ＰＴ）２３３，逆止弁２３４，第１遮断弁２３５，第２遮断弁２３６，マスフローコントローラ（ＭＦＣ）２３７，ガスフィルタ（ＦＥ）２３８）を備え，これらを接続する流路を構成する流路ブロック２４１〜２４９を非金属の炭素材料で構成した。 （もっと読む）

【課題】取り扱いが簡単で、かつ確実に配量可能であり、特に薬学的に有効な媒体を排出するために使用する、液状媒体のための微量配量装置を提供する。
【解決手段】配量室と、媒体容量の排出処理のために配量室の少なくとも１つの境界面を振動させることができる、電気的または電子的に能動化可能な振動ユニットと、少なくとも１つの流れ通路を用いて配量室と接続されている媒体貯蔵器とを有する液状媒体のための微量配量装置に、少なくとも１つの流れ通路に、配量室内へ媒体を供給するため、および／または配量室から媒体を媒体貯蔵器内へ戻すために、手動で操作可能な送給装置を対応づける。 （もっと読む）