【課題】フィルター装置が配設された液体製品の製造管路に残留する残留物としての液体製品を有効に管路から送液させて回収する。
【解決手段】
管路内に残留した液体を加圧空気により圧送して送液する管路内残留液の送液方法であって、上記管路には液体をろ過するろ過フィルター装置が設けられ、上記管路に設けられたベントバルブの開度を調製することにより空気の流速を制御して管路内に残留する液体を上記空気と分離して送液する。 （もっと読む）

【課題】雰囲気を一定に保って半導体を処理する半導体処理室の雰囲気を大容量でスループットを低下させることなく置換し、定常時などには精度良く処理ガスを導入して雰囲気を常に適切に管理することができる半導体処理装置を提供する。
【解決手段】雰囲気を一定に保って半導体を処理する半導体処理室を備え、前記半導体処理室の雰囲気調整を行うため半導体処理室に接続された真空排気系および処理ガス導入系を有し、前記処理ガス導入系には、大容量マスフローコントローラと小容量マスフローコントローラとを備える。大容量のガスを供給する際には、大容量マスフローコントローラによって大容量ガスをスループットを低下させることなく導入でき、定常時などには、大流量マスフローコントローラの精度の悪い領域を使うことなく、小容量ガスの流量を精度良く制御して導入できる。 （もっと読む）

【解決手段】一実施形態において、複数のガスのガス混合物を提供する装置は、複数の質量流量コントローラ（ＭＦＣ）と、複数のＭＦＣのそれぞれと流体連通する混合マニホールドと、混合マニホールド上に位置決めされた複数の混合マニホールド出口と、複数の混合マニホールド出口のそれぞれと流体連通する隔離デバイスと、を有し得る。 （もっと読む）

【課題】バルブを使用することなく流路の切換えが可能な流路切換装置の提供。
【解決手段】所定の流体の導入路または排出路となる流路が形成された流路ヘッド部と、該流路と連通状態となる流路が形成された流路ポート部と、を少なくとも備え、流路ヘッド部と流路ポート部の両方またはいずかれ一方が二以上設けられており、流路ヘッド部と流路ポート部との組み合わせを切換えることによって、一又は二以上の連通流路が形成される流路切換装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ガスの輸送導管を成分の異なる複数種類のガス輸送に使用する場合における、導管内の物性変化推定方法であって、当該推定に用いられる拡散定数を時間や費用をかけることなく容易に決定することができる物性変化推定方法等を提供する。
【解決手段】ガス導管内を流れる互いに種類の異なるガスの混合比を変更させた場合における、ガス導管内を流れるガスの物性変化挙動を推定する物性変化推定方法において、各ガスの動粘度係数、ガス流速、及び導管の内径に基づいて、ガス導管内の流れが、層流領域、乱流領域、又は、両領域間の遷移領域、のいずれの領域に属するかを判定し、拡散方程式で用いる拡散定数を、層流領域、乱流領域、及び遷移領域のそれぞれに対して用意されている、互いに異なる、所定の関係式のうちの、前記判定された領域に対して用意されている関係式を用いて決定する。 （もっと読む）

【課題】輸送するガスの置換、混合比の変更による導管内の物性変化挙動を適確に把握することのできる物性変化推定方法等を提供する。
【解決手段】ガス導管内を流れる互いに種類の異なるガスの混合比を変更させた場合における、前記ガス導管内を流れるガスの物性変化挙動を把握するための物性変化推定方法において、前記混合比を変更させる地点から下流における、前記ガス導管内の各ガスの濃度変化挙動を、前記変更前後の混合比、前記ガス導管内の流速、及び拡散係数に基き、所定の拡散方程式を用いて求める。 （もっと読む）

【課題】 対象流体の反応等の処理に対して最適な処理環境を付与することが可能なマイクロ流体素子を提供する。
【解決手段】 ２つの原料液Ｌ_１，Ｌ_２を導入する第１のパターン層１３Ａと、原料液Ｌ_１，Ｌ_２が合流する合流部を有する第２のパターン層１３Ｂと、原料液Ｌ_１，Ｌ_２を反応させて反応液Ｍを得る反応部を有する第４のパターン層１３Ｄと、恒温水Ｗ_１を流して第４のパターン層１３Ｄの反応部３０を一定温度に保つ第３および第５のパターン層１３Ｃ，１３Ｅと、反応液Ｍを洗浄する洗浄部を有する第６のパターン層１３Ｆとを積層する。 （もっと読む）