【課題】高速変動する外乱負荷による移動体の精度低下の抑制が可能な流体保持装置（静圧軸受け、静圧案内）を提供する。
【解決手段】流体保持装置において、主軸３と静圧軸受け４、５の外乱力による相対変位を計測する変位センサ９、１０と、静圧ポケットのリセス体積を増減する体積増減手段７、８と、を備え、変位センサ９、１０により検出された変位を抑制するように、体積増減手段７、８によりリセス体積を増減することで、外乱力による流体保持装置の精度低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】周囲の磁性体の影響を受けない可動部の平衡位置を保つ機構を備えた直線駆動装置を提供すること。
【解決手段】チャンバー１３とチャンバー１４のそれぞれにエアタンク１５，１６を取り付ける。エアタンク１５はチャンバー１３と連通管１７により連通しており、エアタンク１６はチャンバー１４と連通管１８により連通している。エアタンク１５には圧力調整装置１９、エアタンク１６には圧力調整装置２０が接続されており、エアタンク内の圧力を調整できるようになっている。エアタンク１５，１６とチャンバー１３，１４とは連通管１７，１８によって連通していることから、チャンバー１３内の圧力とチャンバー１４内の圧力とをそれぞれ圧力調整装置１９，２０によって調整できる。チャンバー１３，１４には軸受面７から排気エアが流入することによって、カウンタスライド３を平衡位置に保持できる。 （もっと読む）

【課題】ピストンとシリンダとが接触するおそれを低減すること。
【解決手段】ピストン２０は、シリンダ３０内を往復運動する。ピストン２０とシリンダ３０との間には、気体軸受ＧＢが形成される。ピストン２０は、頂面２０Ｔｔから頂面反対側端部２０Ｂｔに向かってピストン側段差部Ｋｐまでの外径が、ピストン側段差部Ｋｐから頂面反対側端部２０Ｂｔまでの外径よりも小さく形成される縮径部２１を備える。そして、この縮径部２１には、環状部材５０が嵌め合わされる。環状部材５０は、ピストン２０の縮径部２１の材料よりも熱膨張率が小さい材料で作られる。 （もっと読む）

【課題】ピストンとシリンダとが接触するおそれを低減すること。
【解決手段】ピストン２０の側周部２０Ｓであって、ピストン側段差部Ｋｐからピストン２０の頂面反対側端部へ向かって所定の距離Ｌ３の範囲には、ピストン側クリアランス徐変部２０Ｊが設けられる。ピストン側クリアランス徐変部２０Ｊは、ピストン側段差部Ｋｐを起点Ｖｓとし、ピストン側段差部Ｋｐからピストン２０の頂面反対側端部２０Ｂｔへ向かって所定の距離Ｌ３の位置を終点Ｖｆとする。ピストン側クリアランス徐変部２０Ｊは、ピストン側段差部Ｋｐからピストン２０の頂面反対側端部へ向かって、ピストン２０の直径が徐々に小さくなるように形成される。 （もっと読む）

【課題】エアシリンダを作動する高圧エアを用いながら強い調芯作用が得られるエア軸受にてピストンを支持したエアシリンダを提供する。
【解決手段】シリンダ本体３１と、シリンダ本体３１内に摺動自在に収容されたピストン３２と、シリンダ本体３１内のピストン３２の摺動方向の少なくとも一側に配設され、高圧エアが供給される圧力室３３ａ、３３ｂとを備えたエアシリンダ１２であって、圧力室３３ａ、３３ｂ内の高圧エアの一部が導かれる高圧エア吹出口３４をピストン３２の外周でのピストン摺動方向の中央位置に配設し、ピストン３２の外周でのピストン摺動方向の両側部に大気圧開放部である環状溝３６ａ、３６ｂを配設した。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、「ピン＋ピストン」（ピン及びピストン）のシステムの固有共振が最小化される、垂直方向及び水平方向に有効なエアベアリングを提供することである。
【解決手段】 エアベアリングは、底部プレート、底部プレートに可動に配置されたインタフェース部、インタフェース部の内部に可動に配置されると共に、底部プレートに対して水平及び垂直方向に除振支持される荷重を支持するピストン、及びピストンを荷重と接続する結合要素を有する。結合要素は、好ましくはピンを有し、当該ピンは、ピストンと接続される、特にピストンに螺着される。 （もっと読む）

【課題】摺動抵抗が小さく且つ耐久性の高い開閉弁を提供すること。
【解決手段】高圧の作動流体が流れる高圧作動流体流路２と当該作動流体が導入される作動流体動作室３とを連通又は遮断させる筒状の弁体５と、この弁体５の周壁部５ｂとの間に微小隙間ｇを形成し且つ当該弁体５を軸線方向に案内する筒状のガイド部６ａとを備え、弁体５の内方に高圧作動流体流路２よりも相対的に低圧となる蓄圧室１０を設け且つ弁体５に蓄圧室１０と作動流体動作室３との連通路１３を設け、周壁部５ｂをガイド部６ａの外周面側に配置した場合、前記高圧の作動流体を微小隙間ｇへと供給する高圧作動流体供給通路９を周壁部５ｂに設け且つ微小隙間ｇの高圧の作動流体を蓄圧室１０へと流入させる圧抜き通路１１をガイド部６ａに設け、周壁部５ｂをガイド部６ａの内周面側に配置した場合、高圧作動流体供給通路９をガイド部６ａに設け且つ圧抜き通路１１を周壁部５ｂに設けること。 （もっと読む）

【課題】 特別な装置等を必要とすることなくスラスト力をキャンセルすることができ、かつ信頼性の向上を図ることができる流体圧縮機のスラスト軸受構造を提供すること。
【解決手段】 回転軸３および羽根車を備えてなる回転体を収容するハウジング５内に形成されたバランス室２４と、前記回転軸３に取り付けられるとともに、前記バランス室２４内に納められる円盤状のバランスピストン２１と、前記バランスピストン２１の外周面２１ａと前記バランス室２４の内面との間に設けられた第１のラビリンスシール２２とを備え、前記バランス室２４の低圧側出口には、前記回転軸３と前記ハウジング５との相対変位によって流路面積が変化する絞り部２５が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ピストン駆動機構の静圧気体軸受において、径方向の衝撃に対する軸受摺動面の損傷を防止することである。
【解決手段】ピストン駆動機構はピストンロッド１２と、シリンダの機能を有するハウジングを有し、ハウジング２０の前後エンドプレートはピストンロッド１２の前後端を軸方向移動自在に支持し、そこに静圧気体軸受１００が設けられる。静圧気体軸受１００のところにおいて、ピストンロッド１２の表面と、例えば後エンドプレート２６の内壁にはそれぞれ潤滑層が塗布される。すなわち静圧気体軸受１００が作動するとき、ピストンロッド１２と、後エンドプレート２６との間の隙間部分は、後エンドプレート２６側の潤滑層１０２，１０４、ピストンロッド１２側の潤滑層１０６、及び浮上のための気体層５９によって構成される。これらの潤滑層は衝撃等のバッファとして働く。 （もっと読む）