【課題】石油及びガス環境下で、耐食性で使用可能な磁気ベアリングの提供。
【解決手段】回転マシン用の被覆されたアクティブ磁気ベアリングで、プロセスガスと接触するロータに取着された薄層磁気材料のベアリングアーマチュア３１と薄層磁気材料のヨーク４３に巻き付けられた電磁石巻線４２のベアリングステータ４１を有し、ベアリングステータは、第１の耐漏ハウジング４０を形成するために第１のハウジング部分と協働する磁気耐食材料のフェライト系ステンレス鋼の第１のジャケット３４で保護され、第１のハウジング部分は、フェライト系ステンレス鋼ででき、かつ電磁石巻線及びベアリングステータのヨークが適所に置かれる前に、溶接部３６Ａ、３６Ｂ；３７Ａ、３７Ｂで磁気耐食材料のハウジング端壁部分４４に接続された挿入部３８Ａ；３８Ｂを有して、ベアリングアーマチュア及び検出器アーマチュアの薄層磁気材料をフェライト系ステンレス鋼とする。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受によりラジアル荷重を支持する構成の両吸込横軸ポンプにおいて、締切点付近を含む小流量領域で主軸に作用する動的スラスト荷重を効果的に抑制する方法を提供する。
【解決手段】両吸込横軸ポンプ１の主軸２のラジアル荷重は静圧軸受８，９で支持される。背静圧軸受８，９には羽根車３の吐出口２１から吐出された圧力水が供給される。主軸３に取り付けられた受圧ディスク４３の主軸３の駆動側の面には静圧軸受８を通過後の圧力水の静圧が作用する。受圧ディスク４３の主軸２の反駆動側の面には、羽根車３の吸込口２０Ａ側の静水圧が作用する。 （もっと読む）

【課題】面精度の悪い接合面を有するハウジングを互いに組み付けても、使用給気圧力に対して自励振動発生圧力を十分高く保つことができる静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、回転軸１と、回転軸１を回転可能に支持するための軸受用気体が供給される軸受隙間５をはさんで、回転軸１の外周面を取り囲む固定部２０とを備えている。固定部２０はハウジング２およびシート４１，４２を含んでいる。ハウジング２は、複数の部材２１、２２、２３から構成されており、かつ複数の部材２１、２２、２３間の少なくとも１つの接合部にハウジング２より変形しやすい特性を有するシート４１，４２を介して複数の部材２１、２２、２３が結合されている。 （もっと読む）

【課題】 焼付きを生じ得る程度の被軸受部材と静圧気体軸受との接触を未然に防止することのできる静圧気体軸受装置及びこれに用いられる限界荷重検知装置を提供すること。
【解決手段】 静圧気体軸受装置１は、回転軸２の被軸受面３と協働して軸受隙間４を形成する軸受面５から被軸受面３に向かって噴出する高圧気体に基づく軸受隙間４における気体圧力により回転軸２を支える導電性の多孔質静圧気体軸受７と、回転軸２及び多孔質静圧気体軸受７に電気的に接続されると共に、軸受隙間４における回転軸２と多孔質静圧気体軸受７との電気的接触に基づいて回転軸２から多孔質静圧気体軸受７に加えられる負荷荷重が限界に至った旨を検知する限界荷重検知装置８と、回転軸２を回転駆動させる駆動手段９と、限界荷重検知装置８による検知に基づいて駆動手段９による回転軸２の回転駆動を制御する駆動制御手段１０とを具備している。 （もっと読む）

【課題】減衰性や制御性を高めることができ、また、クリーンルーム等の環境で使用する装置類に好適な流体軸受装置を提供する。
【解決手段】シャフト１と、シャフト１の外周に対して非接触状態の軸受２を備え、軸受２は、シャフト１の軸線方向における両側に、シャフト１の全周にわたって気体を供給する気体供給部３，３を備えると共に、両気体供給部３，３の間に、シャフト１の全周にわたって液体Ｌ１を供給する液体供給部４を備えた流体軸受装置としたことにより、気体による低摩擦機能に加え、液体の粘性によるダンパ機能を確保して減衰性や制御性を高めることができ、また、液体の漏出を阻止してクリーンルーム等の環境で使用する装置類に非常に好適なものとなった。 （もっと読む）

隙間を維持しながら、相互に噛み合う関係に噛み合わされる内部負荷軸受部材と外部負荷軸受部材とを有する、小型非接触機械連結、減衰及び／または負荷軸受装置に関する。制限されるわけではないが、静力学手段、流体力学手段、電子流動学的流体、磁気流動学的流体、電気流体及び／または磁気流体を含む、隙間を内外負荷軸受部材間に維持する手段を有してもよい。 （もっと読む）

【課題】酸性ガスなどの腐食環境に適合可能である、動作中のロータシャフト支持用に磁気軸受を配したロータアセンブリおよびステータアセンブリの提供。なお、前記ロータアセンブリおよびステータアセンブリには、ＮＡＣＥ防食規格準拠の磁気軸受を含む。
【解決手段】ロータアセンブリ１００および／またはステータアセンブリの露出表面の特定領域に施されるバリヤ層１０６を使用する。さらに、バックアップ軸受内輪および外輪、ロータ接地スリーブ１０８に用いる耐食材料とともに、耐食性が向上した真空ステータアセンブリを提供する。 （もっと読む）

【課題】スライダ装置の内部振動を抑制し、振動の少ない安定したスライダ装置を提供する。
【解決手段】第１の部材１０と、第１の部材１０を介して対向する部分を有し第１の部材に対して相対移動可能に配置された第２の部材２０と、第２の部材２０の第１の部材を介して対向する部分にそれぞれ設けられ第１の部材１０との間に空気による静圧を作用させて第１の部材１０を非接触で支持する空気静圧軸受３０Ａ〜３０Ｄとを備える。空気静圧軸受３０Ａは、第２の部材２０に固定的に配置される固定部３２Ａと、固定部３２Ａに対して第１の部材１０に向かう方向に進退自在に設けられ第１の部材１０に対して空気による静圧を供給する空気静圧部３３Ａを備える。さらに、空気静圧部３０Ａは、固定部３２Ａと空気静圧部３３Ａとの間にバネ部材３４Ａと、振動を減衰させる振動減衰部材３５Ａとを備える。 （もっと読む）

【課題】自励振動が発生しにくい多孔質気体軸受を提供する。
【解決手段】ハウジング１内に回転軸３が挿通されており、この回転軸３は、ハウジング１の内周面に設けられた多孔質気体軸受４によって回転自在に支持されている。
多孔質気体軸受４を構成する多孔質グラファイト製の軸受部材５は、多孔質グラファイトの空孔を小さくする２つの処理が施されていて、軸受面の表面層９のみが芯部よりも空孔率が低くなっている。この２つの処理とは、多孔質グラファイトを形成するグラファイト粒子にガラス状カーボンを被覆して空孔率を低下させる処理と、空孔内に封孔材を配して空孔率をさらに低下させる処理である。 （もっと読む）

【課題】移動体を空気静圧軸受を介して固定体に支持してなる空気静圧軸受装置に関し、移動体に生じる振動を容易，確実に減衰する。
【解決手段】移動体３１を空気静圧軸受５３を介して固定体３３に支持してなる空気静圧軸受装置５１において、前記移動体３１と固定体３３との相対速度の増大に伴い前記移動体３１に対する抵抗力を増大させる抵抗手段５５を有する。また、移動体３１を空気静圧軸受５３を介して固定体に支持してなる空気静圧軸受装置５１において、前記移動体３１に、前記移動体３１から突出するフィン部５９を形成して前記抵抗手段５５を構成する。 （もっと読む）

【課題】 製造コストの低減を図りつつ、摺動性を向上し、耐焼き付き性能を増大すること。
【解決手段】 テーブル２の案内面（空気軸受面）に、軸受隙間より小さくなるように配置してあるタッチダウンすべり軸受１０（摺動部材）が着脱自在に設けてある。タッチダウンすべり軸受１０は、例えば、摺動性の優れたグラファイト材から形成してある。このタッチダウンすべり軸受１０は、テーブル２の案内面で、進行方向の前側・後側と、幅方向の外側とに配置してある。タッチダウンすべり軸受１０の突出量は、軸受隙間より小さく、数μｍであるが、空気軸受の剛性と負荷容量との兼ね合い、又は、用途によって設定する。 （もっと読む）