【課題】 発熱抵抗体を覆うオーバーコート層の表面を、より平滑化させたセラミックヒータを実現する。
【解決手段】 基板１１に貼着された発熱抵抗体１２１〜１２４が形成された発熱抵抗体上と発熱抵抗体１２１〜１２４が形成されていない基板１１上でオーバーコート層１８に発生する気泡の大きさの関係を、（発熱抵抗体上）＜（基板上）とし、基板１１上のオーバーコート層１８に位置する部分を盛り上げ、オーバーコート層１８表面にできる凸凹を小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】 保護層であるオーバーコート層の膜厚が４０μｍ〜６０μｍにおいても、高い耐電圧特性が得られるため、熱効率のよい定着ヒータを効率的に作製する。
【解決手段】 耐熱・絶縁性材料で形成される長尺平板状の基板１１の長手方向に発熱抵抗体１２１，１２２、それに発熱抵抗体１２１，１２２、に電力を供給するための電極１４，１５を形成し、発熱抵抗体１２１，１２２上にオーバーコート層１８が施される。オーバーコート層１８は、発熱抵抗体１２１，１２２を直接覆う無機酸化物のフィラーを１％〜１０％添加した第１層のガラス１８１と、第１層のガラス１８１上に無機酸化物フィラーを添加しない第２層のガラス１８２とから構成したことで、高い耐電圧特性が得られ、熱効率のよい定着ヒータが実現可能となる。 （もっと読む）

【課題】ウェハ加熱装置では、ヒータ部に冷却ガスを供給しても、冷却ガスの供給量を大幅に増加することは難しいため、３００ｍｍ以上の大型のウェハを加熱するウェハ加熱装置のヒータ部を短時間で冷却することができないという問題があった。
【解決手段】板状体の一方の主面に複数の帯状の抵抗発熱体を備え、他方の主面にウェハを載せる載置面を備えたヒータ部と、前記抵抗発熱体に電力を供給する給電端子と、該給電端子を包むように板状体と接続したケースと、該ケースに前記ヒータ部を冷却するノズルと開口部とを備え、載置面への投影面から見て、上記抵抗発熱体は略同一の幅を有する円弧状の帯と折り返し帯とを連続させて略同心円状に配設され、上記ノズルの先端が上記各抵抗発熱体の間に位置する。 （もっと読む）

【課題】 透明基板に形成された導電性薄膜に通電するための電極部を簡易に取り付けることができ、さらに、電極部が熱衝撃の耐久性を十分に備えるとともに、電極部の発熱を防止することができる発熱素子を提供することを課題とする。
【解決手段】 裏面に導電性薄膜３が形成された透明基板２と、導電性薄膜３に対峙している透明板４とが積層されている発熱素子１であって、透明基板２と透明板４との間には、所定間隔を空けて配置された２体の電極付スペーサ５，５が介設され、各電極付スペーサ５，５には、導電性薄膜３に接している接触端子１１を備えた電極部１０が取り付けられており、電極部１０の接触端子１１を通じて導電性薄膜３に通電することにより、導電性薄膜３が発熱するように構成されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 像加熱装置の加熱ニップの長手方向での左右両端部の温度ムラを解消し、定着ムラやこれにともなう定着不良、高温オフセットを発生させないとともに、温度ムラによって定着フィルムが一方的に片側に寄って破損することを防止する。
【解決手段】 給電電極が長手方向の片側に集中して設けられた加熱体を用いた像加熱装置において、発熱体の発熱量を左右両端部で異ならせ、給電電極側端部よりも非給電電極側端部の発熱量を多くする。 （もっと読む）

【課題】ウェハ加熱装置では、ヒータ部に冷媒を供給しても、冷媒の供給量を大幅に増加することは難しいため、３００ｍｍ以上の大型のウェハを加熱するウェハ加熱装置のヒータ部を短時間で冷却することができないという問題があった。
【解決手段】本発明のウェハ加熱装置は、板状体の一方の主面に帯状の抵抗発熱体を備え、他方の主面にウェハを載せる載置面を備えたヒータ部と、前記抵抗発熱体に電力を供給する給電端子と、該給電端子を包むように板状体と接続したケースと、該ケースに前記ヒータ部を冷却するノズルと開口部とを備え、載置面への投影面から見て上記ノズルの先端を上記抵抗発熱体の帯の間に設ける。 （もっと読む）

【課題】加熱対象物を加熱するに当たって、セラミックヒータの表面の反りがあると、加熱対象物に対してセラミックヒータが片当たりして加熱対象物が均等に加熱できず、また、セラミックヒータ表面の反りをなくすためには、セラミックヒータ表面を平面研磨することが可能であるが、加工工程が増えるとともに、表面の研磨痕がセラミックヒータの熱衝撃性を低下させるという問題があった。
【解決手段】セラミック基体中に、配線導体が埋設されたセラミックヒータにおいて、前記セラミック基体の外表面に前記配線導体と対応した位置に突起があることとした。 （もっと読む）

【課題】 高温処理なしで、安価に製造された、熱衝撃の耐久性が優れた発熱素子を提供する。
【解決手段】 透明基板２と、透明基板２の裏面に形成される導電性薄膜３と、導電性薄膜３の裏面の両端部に設けられる短冊状の電極部４と、導電性薄膜３と電極部４との間に設けられ、導電性薄膜３と電極部４とを接合する導電性固定材５とを備える発熱素子１であって、導電性固定材５は、電極部４の長手方向に沿って複数設けられ、導電性固定材５の各々の間に空隙部６が設けられる。 （もっと読む）

本発明は、伝導性組成物であり、質量比が１００:１〜１５である液状シリコンゴムと導電性カーボンブラックとの混合物からなるか、あるいは、質量比が１００:１０〜１５０である液状シリコンゴムと黒鉛粉末との混合物からなる。また、カーボン柔軟性発熱構造体は、液状シリコンゴムと充填剤とからなる伝導性組成物を混合する段階と、液状シリコンゴムと導電性カーボンブラックとの混合物に、液状シリコンゴムの質量対比１〜１００％の割合で稀釈剤を添加して攪拌する段階と、一定の形状に成形した後に、これを硬化させる成形及び硬化段階と、により製造される。
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【課題】ＰＴＣ抵抗発熱体を用いながら長手方向により均一な温度分布を有するヒータを実現する。
【解決手段】セラミック製の長尺状基板１１上に形成された電極１２，１３からそれぞれ基板１１の長手方向に配線パタン１４，１５を形成する。配線パタン１４，１５にはそれぞれ基板１１の長手方向に沿ってＰＴＣ抵抗発熱体１６，１７の一端を接続する。発熱抵抗体１６の他端は配線パタン１４，１５同材料で同時に形成された基板１１の長手方向に延びる配線パタン１８に接続する。発熱抵抗体１７の他端は配線パタン１４，１５同材料で同時に形成された基板１１の長手方向に延びる配線パタン１９に接続する。配線パタン１８，１９は電極１２，１３から離れた位置の結合部２０で電気的に接続する。これにより、抵抗発熱体１６，１７の特定箇所に異常があっても幅が大きいことから発熱への影響を極力抑え、均一な温度分布を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 並列接続されたＰＴＣの抵抗発熱体が発する熱を長手方向により均一な温度分布の得られるセラミックヒータを実現する。
【解決手段】 セラミック製の長尺平板状基板１１上の長手方向に所定の間隔を置いて正の温度係数を有する抵抗発熱体１６，１７を形成する。抵抗発熱体１６の短手方向の一端と配線パタン１４を電気的に接続した状態で基板１１上で接続する。抵抗発熱体１７の短手方向の一端配線パタン１５を電気的に接続した状態で基板１１上で接続する。抵抗発熱体１６の短手方向の他端と配線パタン１８を基板１１上で電気的に接続する。抵抗発熱体１７の短手方向の他端と配線パタン１９を基板１１上で電気的に接続する。一端が開放された配線パタン１４，１５の長手方向の他端と電極１２を接続する。一端が開放された配線パタン１８，１９の長手方向の他端と電極１３を電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、難燃性と高い信頼性を有する柔軟性発熱体を提供することを目的としている。
【解決手段】柔軟性を有する難燃性ベース不織布２と、難燃性ベース不織布２に熱融着された柔軟性と耐熱性を有する難燃性ベースフィルム３と、難燃性ベースフィルム上に印刷により形成された櫛形電極４と櫛形電極４により給電される高分子抵抗体５と、櫛形電極４、高分子抵抗体５、及び難燃性ベースフィルム３との接着性と柔軟性を有する難燃性カバーフィルム６と、難燃性カバーフィルム６上に接着された柔軟性を有する難燃性カバー不織布７とを備えてなる柔軟性発熱体とすることで、柔軟性と難燃性を有して、かつ、高い信頼性を有する柔軟性発熱体を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 小型または薄型で、耐冷熱衝撃性および熱交換効率が優れた温水加熱用のセラミックヒータ及びそれを用いた温水装置を提供する。
【解決手段】 セラミック基材３の表面に配設された矩形状の発熱抵抗体４と、該発熱抵抗体４の対向する端部に接続される複数の電極５と、該電極５に夫々接続される複数の端子７と、前記発熱抵抗体４表面に積層した保護層６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】セラミックスからなる板状体の一方の主面に発熱抵抗体を有するとともに、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を具備してなるセラミックヒーターにおいて、板状体の厚みを薄くすると、発熱抵抗体で発生した温度分布が十分緩和されず、載置したウエハの温度がなかなか均一にならないという課題があった。
【解決手段】上記発熱抵抗体の少なくとも一部を、周囲のパターンの抵抗値に対し３倍以内の抵抗値にトリミングした抵抗調整部を形成する。 （もっと読む）