【課題】めっき層の割れ、及び導電糸の断線のない発熱糸、及びこの発熱糸が構成糸の一部として用いられた織編物を提供する。
【解決手段】絶縁糸と、この絶縁糸に巻き付けられた導電糸１と、を備え、導電糸１は、絶縁性の芯糸１１と、この芯糸１１の周面に設けられためっき層１２（銅めっき層等）と、を有し、芯糸１１は、初期引張抵抗度が４．９ＧＰａ以上の高弾性糸（アラミド繊維等）である。また、めっき層１２の表面に樹脂コーティング層（被覆層１３、ポリウレタン系樹脂等を用いたコーティング層）が設けられている、又はめっき層１２が銅めっき層であり、この銅めっき層の表面に錫めっき層又はニッケルめっき層（被覆層１３）が設けられていることが好ましい。更に、織編物には、前記の発熱糸が構成糸の一部として織り込まれている、又は編み込まれている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、マイクロヒーターの加熱要素を化学的及び／または機械的に保護するための保護層を備えたマイクロヒーター及び該マイクロヒーターを製造する方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るマイクロヒーターは、基板と、前記基板と離間した発熱体としての金属パターンと、前記金属パターン上の保護層と、を含むことを特徴とすることにより、マイクロヒーターの加熱要素を化学的及び／または機械的に保護する。 （もっと読む）

【課題】電熱線とはんだとの電気導通性を安定して高めることができると共に反射光の発生を低減することができる構造を提供することを課題とする。
【解決手段】電熱線１３と電極部１７とからなるヒータエレメントであって、電極部１７は、電熱線１３を挟む一対の導体金属帯体１５、１６と、これらの導体金属帯体１５、１６の間隙を埋めるはんだ１４とから構成され、電熱線１３は、芯線１０と、この芯線１０に被覆された下地めっき層１１と、この下地めっき層１１に被覆された黒色めっき層１２とからなることを特徴とする。
【効果】下地めっき層は、芯線と黒色めっき層とを結合する結合作用を発揮する。黒色めっき層ははんだと濡れ性がよく、はんだ付け性が高い。この結果、電熱線、下地めっき層、黒色めっき層、はんだの順で行われる電気導通性能は良好で安定する。 （もっと読む）

【課題】 外側ハウジング及び内側管体を含むことができるヒータが提供される。
【解決手段】 内側管体は、外側ハウジングに対して同軸であり、ハウジング内にある。内側管体の内側表面は、反応カプセルを受けるのに十分な容量を定め、外側表面は、間隙を定めるのに十分な間隙を外側ハウジングの内側表面から半径方向に離間している。充填材料が間隙内に配置される。充填材料は圧力に対応し、これによって充填容量は、５００ＭＰａより高い圧力及び５００℃よりも高い温度で５容量パーセントより小さく減少する。１つ又はそれ以上の加熱素子が間隙内に配置される。加熱素子は内側管体と熱伝達する。 （もっと読む）

【課題】保護層上に抵抗率や硬さが調整された耐食層が形成され、高温・腐食性ガス環境下でも、導電層、特に給電端子部の腐食による劣化を回避でき、しかもチャックパターンを有する場合でも静電チャックとして高い機能を発揮できる長寿命で低製造コストな加熱素子を提供する。
【解決手段】 少なくとも、耐熱性の基材１と、該耐熱性基材上に形成されたヒーターパターン３ａを有する導電層３と、該導電層上に形成された絶縁性の保護層４とを有する加熱素子１０であって、少なくとも前記保護層４の上に第三の元素が含有された化合物からなる耐食層４ｐを有するものであることを特徴とする加熱素子。 （もっと読む）

【課題】高温・腐食性ガス環境下でも、腐食性ガスが透過し難く、導電層、特に給電端子部の腐食による劣化を回避できる長寿命で低製造コストの加熱素子を提供する。
【解決手段】少なくとも、耐熱性の基材１と、該耐熱性基材上に形成されたヒーターパターン３ａを有する導電層３と、該導電層上に形成された絶縁性の保護層４とを有する加熱素子１０であって、少なくとも前記保護層４の上に窒素ガス透過率が１×１０^−２ｃｍ^２／ｓｅｃ以下である耐食層４ｐを有するものであることを特徴とする加熱素子。 （もっと読む）

【課題】オーバーエッチングのない所望の形状の膜パターンが形成された薄膜ヒーターを製造する。
【解決手段】基板１上に薄膜２１からなる第１の被エッチング層と薄膜２２からなる発熱抵抗層と薄膜２３からなる第２密着層を積層する積層工程と、第１のレジストマスク３１を形成する第１のレジスト形成工程と、第１のレジストマスク３１を用いて第２密着層及び発熱抵抗層をエッチングして第１密着層の上面の一部を露出する第１のエッチング工程と、第１のレジストマスク３１を除去する工程と、第２密着層の上面及び側面と発熱抵抗層の側面とを被覆し且つ第１密着層の露出された上面における第２密着層及び発熱抵抗層の周囲の部分を被覆する第２のレジストマスク３２を形成する第２のレジスト形成工程と、第２のレジストマスク３２を用いて第１密着層をエッチングする第２のエッチング工程と、を含む薄膜ヒーター１０の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】給電端子が腐食することなく保護層の寿命も長く耐久性が高くてコンパクトで製造コストが低い加熱素子を提供する。
【解決手段】ヒーターパターン３ａが形成される板状部１ａと、板状部１ａの片面から突出する導電路３ｂが形成される棒状部１ｂと、棒状部１ｂの板状部１ａとは反対端に位置し給電端子３ｃが形成される先端部１ｃとが形成された一体物の耐熱性基材１を有し、耐熱性基材１の表面に絶縁性の誘電体層２と、誘電体層２上に導電性の導電層３とを有し、導電層３は、板状部１ａではヒーターパターン３ａが形成され、棒状部１ｂでは導電路３ｂが形成され、先端部１ｃでは給電端子３ｃが形成されており、前記ヒーターパターン３ａと前記導電路３ｂの表面が絶縁性の保護層４で覆われた一体的に形成されてなるものであることを特徴とする加熱素子１０。 （もっと読む）

【課題】
静電チャックなどの半導体ウェーハプロセス機器において、被覆材料内の電気的／機械的応力の集中を緩和し、被覆材料の剥離および／または割れを防止する。
【解決手段】
グラファイトなどの基材と少なくとも一つの電極パターンを有し、当該パターンの溝をＢ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｇａ、高融点金属、遷移金属および希土類金属の群から選択される元素の窒化物、炭化物、窒化物、炭化物または酸窒化物、またはこれらの錯体および／またはこれらの混合体から選択される少なくとも一つの材料を含む絶縁性または半導体材料で充填して実質的に平坦な面を形成し、さらに当該実質的に平坦な面をＢ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｇａ、高融点金属、遷移金属および希土類金属の群から選択される元素の窒化物、炭化物、窒化物、炭化物または酸窒化物、またはこれらの錯体および／またはこれらの混合体から選択される少なくとも一つの材料を含む少なくとも一層の半導体層で被覆する。 （もっと読む）

【課題】 透明基板に形成された導電性薄膜に通電するための電極部を簡易に取り付けることができ、さらに、電極部が熱衝撃の耐久性を十分に備えるとともに、電極部の発熱を防止することができる発熱素子を提供することを課題とする。
【解決手段】 裏面に導電性薄膜３が形成された透明基板２と、導電性薄膜３に対峙している透明板４とが積層されている発熱素子１であって、透明基板２と透明板４との間には、所定間隔を空けて配置された２体の電極付スペーサ５，５が介設され、各電極付スペーサ５，５には、導電性薄膜３に接している接触端子１１を備えた電極部１０が取り付けられており、電極部１０の接触端子１１を通じて導電性薄膜３に通電することにより、導電性薄膜３が発熱するように構成されていることを特徴としている。 （もっと読む）