【課題】絶縁特性及び放射線遮蔽特性を維持しながら容易に製造し供給することが可能な放射線遮蔽を提供する。
【解決手段】放射発生器（１００及び６００）において発生させる電磁波放射の送出を制御するための装置（１２５、２００、３００、４００、５００、６１４、７００、８００、９００）を提供する。本装置は、サブストレート層（２０５、３０５、４０６、４０８、５２５、７０５）を有するプリント回路基板（２０２、３０２、４０２、５０２、６１６、８０５、８１０、８１５、９０５、９１０及び９１５）と、該サブストレート層にバインドさせた少なくとも１つの媒質層（２１０、３１０、３１５、４１０、４１２、５０５、５１０、７１０、８２５、８３０）と、を含む。プリント回路基板は電磁波放射の送出を制御するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】プラズマの加熱状態を維持できる電流波形を発生することができる高電圧パルス発生部を備えた極端紫外光光源装置を提供すること。
【解決手段】高電圧パルス発生部２０の負荷Ｌとして極端紫外光光源装置の一対の主放電電極が接続される。固体スイッチＳＷをｏｎとし、磁気スイッチＳＲ２を介してコンデンサＣ２１、Ｃ２２、Ｃ２３を充電する。ついで磁気スイッチＳＲ３がＯＮとなりコンデンサＣ２１〜Ｃ２３の電荷はそれぞれコイルＬ１〜Ｌ３及び負荷を介して放電する。コイルＬ１〜Ｌ３とコンデンサＣ２１〜Ｃ２３の各直列回路のパラメータを異ならせておけば、負荷Ｌに流れる電流波形は変極点（折曲点）を有する波形となる。したがって、この変極点で電流を増大させ、プラズマがピンチされた状態で電流を増大させるようにすれば、プラズマの加熱状態を維持して、ＥＵＶ光の出力エネルギーを大きくすることができる。 （もっと読む）