【課題】極端紫外光を放射するプラズマを生成するための理想的な面状放電を発生させることが可能なプラズマ光源を提供する。
【解決手段】プラズマ光源であって、互いに対向配置され、極端紫外光を放射するプラズマを発生すると共に前記プラズマを閉じ込める一対の同軸状電極１０と、各同軸状電極１０に対して極性を反転させた放電電圧を印加する電圧印加装置３０とを備え、各同軸状電極１０は、単一の軸線Ｚ−Ｚ上に延びる棒状の中心電極１２と、中心電極１２と一定の間隔を隔て、且つ中心電極１２の周方向に配置された複数の外部電極１４と、中心電極１２及び複数の外部電極１４を絶縁する絶縁体１６とを有する。 （もっと読む）

【課題】同軸状電極内に発生する面状放電（電流シート）の密度を高め、かつ同軸状電極内の周方向に均一な面状放電を生成することができるプラズマ光源とプラズマ光発生方法を提供する。
【解決手段】１対の同軸状電極１０の中心電極１２とガイド電極１４との間に、中心電極とガイド電極間の浮遊容量Ｃｓより大きい静電容量Ｃ２を有する補助コンデンサ１８をそれぞれ備え、補助コンデンサ１８により中心電極とガイド電極間の電圧を放電電圧より短い周期で変動させて、擬似的に高周波の面状放電２を発生させる。 （もっと読む）

本発明はＸ線撮影装置に関し、さらに詳しくは、低いバッテリ電圧によりコンデンサを充電させ、コンデンサの充電電圧を使用するか、またはコンデンサとシリアル接続されているバッテリの出力電圧とコンデンサの充電電圧との合計電圧をＸ線発生電源として使用するＸ線撮影装置に関する。本発明に係るＸ線撮影装置は、バッテリ電源とコンデンサ電源とをシリアル接続してＸ線撮影装置の動作電源を提供することにより、低いバッテリ電源でもＸ線撮影装置の高い動作電源を生成することができる。また、本発明に係るＸ線撮影装置は、コンデンサ部の充電電圧を感知して、コンデンサ部への充電が完了したと判断される場合に、バッテリからコンデンサ充電部に印加される電源を遮断することにより、バッテリの電源消耗を低減することができる。
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本発明は、特にＥＵＶ放射及び／又は軟Ｘ線放射を生成するためのガス放電光源であって、少なくとも、２つの電極体１１０、１２０であって、そのうちの第１の電極体１１０が回転可能に装着された電極ディスク１００を有する、２つの電極体を有するガス放電光源に関する。該光源は更に、該電極ディスクのための回転ドライブ１３０と、電極ディスク１００の径方向外側の表面に目標物質１４０の液体膜を塗布するための装置と、該目標物質を蒸発させるために、放電領域２４０において、電極ディスク１００の径方向外側の表面に、フォーカスされたレーザと、を有する。該光源は、該電極体の間に中間の空間２６０が形成され、該中間の空間は、放電領域２４０の外において、該放電領域における中間の空間よりも小さな、５ｍｍ未満の低減された幅を持つことを特徴とする。該光源は、生成される放射が、電極により遮断されることなく、大きな立体角に亘って、単純な態様で発せられることを可能とする。
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【課題】
多様な電圧条件においても安定した回路動作が可能な高電圧スイッチ制御回路を提供する。
【解決手段】
本発明の高電圧スイッチ制御回路は、直列接続される複数の半導体スイッチと、前記半導体スイッチ間に並列接続される第1のコンデンサと、前記第1のコンデンサ毎に直列接続される第1の電流制限手段と、前記複数の半導体スイッチのうち一の半導体スイッチを導通制御することで残余の半導体スイッチの導通を制御させる制御回路と、を有する高電圧スイッチ制御回路において、前記半導体スイッチ間に並列接続され、前記第1のコンデンサと別設される第2のコンデンサと、前記第2のコンデンサ毎に直列接続される第2の電流制限手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】放電チャンネルの位置を画定可能とし、放電チャンネルにおける高温プラズマ原料の密度を適宜設定できるようにし、また、ロングパルス化を可能するとすること。
【解決手段】高温プラズマ原料２１に第１のエネルギービーム２３を照射して気化させる。気化した原料が放電領域に到達したとき、電極１１，１２間にパルス電力を印加するとともに第２のエネルギービーム２４を照射する。これにより、プラズマが加熱励起されてＥＵＶ放射が行われる。放射されたＥＵＶ放射はＥＵＶ集光鏡２により集光され取り出される。第１、第２のレーザビーム２３，２４を照射しているので、高温プラズマ原料の空間密度分布を所定の分布に設定するとともに、放電チャンネルの位置を画定することが可能となる。また、放電経路にイオン密度が極端紫外光放射条件におけるイオン密度にほぼ等しい原料ガスを供給することで、ＥＵＶ放射のロングパルス化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】バイアス電圧を安定させ、Ｘ線焦点サイズおよびＸ線強度を安定させることができるバイアス電圧制御回路およびこれを用いたＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】昇圧された高電圧に重畳されたバイアス電圧を検出し検出電圧を生成するバイアス電圧検出部５１と、同期クロックにより基準パルスを生成するパルス発生部６１と、検出電圧と基準パルスから発生させた鋸波との交点のタイミングでフィードバック用パルスを生成する信号変換部７１と、生成されたフィードバック用パルスを２次側の回路から１次側の回路に伝送する信号伝送部７４と、伝送されたフィードバック用パルスを用い基準パルスから発生させた鋸波をピークホールドして検出電圧を復元する検出電圧復元部７７と、復元された検出電圧に基づいて１次側の回路でバイアス電圧を制御する１次電圧制御部７８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】入力線から低減された平均電力を引き出しつつ高いピーク電力を送達することが可能なＣＴシステムを提供する。
【解決手段】装置が、入力電力線のピーク負荷要件を軽減するために、電力送達をこの入力電力線と分担するように構成されている蓄積装置（２８）を含む固定式計算機式断層写真法（ＣＴ）システムを含んでいる。他の観点では、該蓄積装置（２８）は複数の大容量キャパシタを含んでいる。さらに他の観点では、システムが、Ｘ線源と、この線源から放出されたＸ線を受光するように配置されているＸ線検出器と、上述の線源に結合されて動作し、ガントリが減速され及び／又は管ロータが減速されたときにエネルギを回収するエネルギ蓄積装置とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】 高電圧スイッチを構成する半導体スイッチを駆動する駆動回路を小形化して、X線管のアノ−ドとカソ−ド間の管電圧を高速に降下させる機能を備えたX線高電圧装置の小型、低価格化を図る。
【解決手段】 交流電圧源の交流電圧を高電圧変圧器で昇圧し，この昇圧された交流電圧を高電圧整流器で直流高電圧に変換し、この変換され直流高電圧を高電圧コンデンサで平滑してX線管に印加する。このX線管からのX線の放射を停止する期間に前記高電圧コンデンサに蓄積された電荷のエネルギーを放電させる半導体式高電圧スイッチは、制御用電源回路23の直流電圧を前記X線管からのX線の放射期間に第1のスイッチ3b1，3b2を閉じて第1のコンデンサ1bに充電しておき、前記X線放射の停止時から前記高電圧コンデンサに蓄積された電荷のエネルギーの放電期間に第2のスイッチ3g1〜3g4を閉じて前記第1のコンデンサの電圧を第2のコンデンサ1c1，1c2に充電し、この充電された電圧を前記高電圧スイッチの半導体の導通制御部に印加する。 （もっと読む）

高電圧変圧器３における二次巻線の端子間にそれぞれインバータ２の周期よりも長い期間電圧ピーク値を維持するコンデンサなどの電圧維持手段を介して複数のダイオードフルブリッジ回路の入力側端子を並列接続し、各ダイオードフルブリッジ回路の入力側端子間にはそれぞれインバータの周期よりも長い期間電圧ピーク値を維持するコンデンサなどの電圧維持手段を接続し、また各ダイオードフルブリッジの出力側端子をそれぞれほぼ同等の平滑コンデンサなどの平滑手段を介して直列接続し、その出力側端子間に陽極接地型Ｘ線管５を接続したことで、陽極接地型Ｘ線管を用いながら、小型軽量で安価な構成を実現し、さらに出力電圧のリップルを低減した。
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【解決手段】 Ｘ線装置は、電流制御コンバータと、キャパシタバンクと、インバータと、供給電源と、高圧変圧器とを備え、供給電圧によって供給接続点におけるいかなる手動の変更をも不必要となるように補助供給変圧器の接続点のリレーを作動させる入力電圧評価装置を備える。更に、キャパシタの充電をプログラムされた方法で実行可能にし、キャパシタバンクの充電電圧は供給電圧に関わらず固定され、Ｘ線装置は９０から２６４ボルトの電圧で自動的に作動することができる。 （もっと読む）