【課題】不要なエネルギー領域のＸ線の発生量を抑制するＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置５０は、第１の線形加速器５４により加速された電子ビームＢを出射するビーム出射部５２と、電子ビームＢの経路上で薄膜ターゲットＴ１を保持する保持部２０と、薄膜ターゲットＴ１透過後の電子ビームＢを減速するための第２の線形加速器５６と、減速後の電子ビームＢを受け止めるビームダンプ部１８とを備え、第２の線形加速器５６は、高周波が供給されることによって内部に定在波電場が形成される加速セル１５ａを備えた加速部１５を有し、この加速部１５は、定在波電場により荷電粒子を加速したときに当該荷電粒子を外部に出射する開口１６を有し、この開口１６から加速部１５の内部に薄膜ターゲットＴ１通過後の電子ビームＢが入射する位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】反跳電子の捕捉による構造部材の加熱を抑えると共に、回転陽極ターゲットの回転軸受の加熱も抑えることが可能な技術を提供することである。
【解決手段】
電子ビームを放出する陰極と、前記電子ビームを衝突させ、該衝突位置を焦点位置とするＸ線を発生させる陽極ターゲットと、前記陽極ターゲットを回転させる回転機構部と、前記陰極及び前記陽極ターゲットを真空に保持する外囲器とを備えたＸ線管装置であって、前記外囲器の内壁面側に形成され、前記陽極ターゲットの電子ビーム衝突面側に突出する第１の凹凸部を備えるＸ線管装置である。 （もっと読む）

【課題】ハウジングの破損を防止することができる回転陽極型Ｘ線管装置を提供する。
【解決手段】回転陽極型Ｘ線管装置は、陰極３６と、陽極ターゲット３５ａと、ガラスで形成された真空外囲器３１と、回転体２と、固定体１と、を有したＸ線管３０と、回転体を回転させるステータコイル９１０と、固体の樹脂材を主成分とする材料で形成されたハウジング２０と、防護体７０と、冷却液７とを備えている。防護体７０は、真空外囲器３１及びハウジング２０の少なくとも一方に固定され、真空外囲器３１及びハウジング２０間に位置し、真空外囲器３１及びハウジング２０に隙間を置いて設けられ、Ｘ線を透過させるＸ線透過窓７１を有している。 （もっと読む）

本発明は、ガス放電光源用の電極デバイスに関しており、また、当該ガス放電光源を作動させる方法に関している。電極デバイスは、回転軸3の周りで回転可能な電極車輪1と、前記電極車輪1の回転の間、電極車輪1の外周表面18の少なくとも一部に適用される液体材料の膜の厚みを限定するために配置されたワイパー・ユニット11 と、を有する。ワイパー・ユニット11は、外周表面18とワイパー・ユニット11の拭き取り端19との間にギャップ17を形成するよう、及び回転の間、電極車輪1の側面から外周表面18への液体材料の移行を禁止又は少なくとも減じるよう、設計され、配置されている。提案された電極デバイスがあると、電極車輪1は、液滴の形成も無く、より高い回転速度で回転することができ、結果として、斯様な電極デバイスをもつガス放電光源のより高い出力パワー及びより高いパルス周波数を生じる。
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【課題】プラズマ放射源の電極から発生するマイクロ粒子を減少させるか、または、ＥＵＶ光学系に到達するのを防ぐこと。
【解決手段】自己遮蔽電極（３１、３２）を有する放射源（５０）を開示する。電極（３１、３２）から発生したデブリを減少させる。電極（３１、３２）からＥＵＶ光学系（１０）への経路は、電極自体の一部によりブロックされる（自己遮蔽と呼ぶ）。これにより、電極から発生するデブリの量を大幅に減少させることができる。一実施形態では、両方の電極（３１、３２）の影に入っていない光エレメント（１０）の部分（６０、６１）にデブリが到達するのを防ぐために、１つまたは２つの汚染バリア（１２）を使用してもよい。 （もっと読む）

ビーム軸に沿い投射する電子ビーム２５５を発生する電子源２５０と、発生電子ビーム２５５を偏向する電子偏向装置２５６と、電子偏向装置２５６に結合されビーム軸を空間的に制御する制御ユニット２５７と、ビーム軸内に配されたアノードであって電子ビーム２５５がアノード２０６の表面の焦点上へ突き当たるようにしたアノード２０６とを有するＸ線管２０５を記述している。これにより、アノード２０６は、発振する態様でｚ軸に沿い移動可能であり、アノード２０６の表面は、ｚ軸に対し斜めに方向づけられ、制御ユニット２５７は、第１のｚ座標を有する第１の焦点位置１０６ａ，４０６ａと第１のｚ座標とは別の第２のｚ座標を有する第２の焦点位置１０６ｂ，４０６ｂとの間で焦点が略離散した形態で動くよう焦点２５５ａを空間的に制御する。Ｘ線管２０５を備えたコンピュータ断層撮影システム１００とＸ線管２０５を動作する方法も記述している。
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【課題】陽極ターゲットの冷却率の優れた回転陽極型Ｘ線管及びこの回転陽極型Ｘ線管を備えたＸ線管装置を提供する。
【解決手段】回転陽極型Ｘ線管１は、固定体と、固定体を囲み、固定体を軸に回動可能に設けられた回転体２０と、回転体の外面を囲むように設けられ、回転体と一体化された陽極ターゲット３０と、陽極ターゲットに対向配置された陰極４０と、固定体、回転体、陽極ターゲット及び陰極を収容し、固定体を固定する真空外囲器５０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】長時間安定的に大出力のＸ線を発生することが可能なＸ線発生方法及びＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】回転対陰極をその回転軸方向に回転させるとともに、前記回転軸の長さ方向に沿って反復的に移動させる。次いで、前記回転対陰極の表面における、前記回転に伴って生じる遠心力に抗して存在する部分にエネルギー線を照射し、前記回転対陰極の前記エネルギー線が照射された部分を前記回転対陰極の融点近傍又は融点以上にまで加熱して、少なくとも部分的に溶解させた状態で前記回転対陰極よりＸ線を発生させる。 （もっと読む）

本発明は、非同期式機器４０の回転子６の機械的回転子周波数をセンサレスで測定するための装置２０及び方法に関し、回転子６は、所定の欠部を有し、非同期式機器４０は、一定数の極部対を有する。非同期式機器４０は、固定子７の固定子電流を判定する電流判定ユニット２を有し、固定子電流は固定子周波数を有する。処理ユニット３は、固定子電流の固定子電流スペクトルを形成する。分析ユニット４は、固定子電流スペクトルを分析し、固定子電流スペクトルにおける逆ピーク２６及び対応の逆周波数を判定し、逆ピーク２６は、固定子周波数の周波数範囲における固定子電流スペクトルにおいて２番目に高い振幅を有するピークとする。計算ユニット５は、非同期式機器４０の滑りが５０％以下の場合、極部対の数で固定子周波数を割ったもの及び逆周波数の合計から、当該滑りが５０％より高い場合、固定子周波数を極部対の数で割ったものと逆周波数の差から、回転子６の機械的回転子周波数を計算する。
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回転可能な陽極ターゲット１５及び陽極ターゲット１５に対向して配置された陰極１６を真空外囲器１３内に収納した回転陽極型Ｘ線管１１と、陽極ターゲット１５を回転させるための誘導電磁界を発生するステータ２６と、少なくとも回転陽極型Ｘ線管１１を収納保持するハウジング１０と、回転陽極型Ｘ線管１１の少なくとも一部に近接して設けられ、水系冷却媒体が循環する循環路と、循環路の途中に設けられ水系冷却媒体を強制駆送する循環ポンプ２７ａ及び水系冷却媒体の熱を放出させるラジエータ２７ｂを有するクーラーユニット２７と、を具備したＸ線装置であって、水系冷却媒体は、２５℃における溶存酸素量が５ｍｇ／リットル以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

回転可能な陽極ターゲット１５及び陽極ターゲット１５に対向して配置された陰極１６を真空外囲器１３内に収納した回転陽極型Ｘ線管１１と、陽極ターゲット１５を回転させるための誘導電磁界を発生するステータ２６と、少なくとも回転陽極型Ｘ線管１１を収納保持するハウジング１０と、回転陽極型Ｘ線管１１の少なくとも一部に近接して設けられ、水系冷却媒体が循環する循環路と、循環路の途中に設けられ水系冷却媒体を強制駆送する循環ポンプ２７ａ及び水系冷却媒体の熱を放出させるラジエータ２７ｂを有するクーラーユニット２７と、を具備したＸ線装置であって、水系冷却媒体に接触する金属部品の少なくとも一部の表面は、被覆体によって被覆されたことを特徴とする。 （もっと読む）

ＣＴ撮像システムは、Ｘ線コーンビームを検査領域（１４）に挿入するＸ線管（１２、２１２）を含む。このＸ線管（１２、２１２）は、ターゲットの外部表面領域を持つ回転する円柱状陽極（３０、２３０、３３０、４３０）を含む。この円柱状陽極（３０、２３０、３３０、４３０）は長軸方向に並べられた円柱軸（３２）の周りを回転する。電子は、この円柱状陽極（３０、２３０、３３０、４３０）の前記ターゲットの外部表面領域上にある選択した焦点に向かい加速される。電子又は電磁気デフレクタは、前記円柱状検査領域の前記ターゲットの外部表面領域にわたって前記選択した焦点を前後に掃引する。前記撮像システムはさらに、円柱軸に平行な回転軸の周りにある検査領域の周りをＸ線管に回転させる回転ガントリ（２２）及び前記Ｘ線が前記検査領域（１４）を通過した後のＸ線を検出するように構成されるＸ線検出器を有する。
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