【課題】洗浄等に使用した後や、余剰のオゾン水またはオゾン水を含む混合溶液を効率良く、確実にオゾンを分解することができるオゾン水分解装置を提供する。
【解決手段】オゾン水分解装置であって、少なくとも、オゾン水またはオゾン水を含む混合溶液である被分解オゾン水を受け入れる受けタンクと、該受けタンクとつながり、受けタンクから送液される前記被分解オゾン水を気液分離する気液分離手段を有するオゾン気液分離槽と、該オゾン気液分離槽とつながり、前記オゾン気液分離槽で分離されたオゾンガスを所定濃度以下に分解するオゾンガス分解槽と、前記オゾン気液分離槽とつながり、前記オゾン気液分離槽で分離された被分解オゾン水を所定濃度以下に分解するオゾン水分解槽を具備するオゾン水分解装置。 （もっと読む）

【課題】脱気効率に優れ、コスト廉価で維持管理も容易な脱気装置と、この脱気装置を用いた超音波洗浄装置を提供すること。また、マイクロバブルの存在下で被洗浄物の超音波洗浄を行なうようにした超音波洗浄装置を提供すること。
【解決手段】超洗浄槽１内の洗浄液２を循環ポンプ８によって吸引して所定の経路を循環させた後、再び洗浄槽に戻すようにした洗浄液循環路７を形成するとともに、該洗浄液循環路の経路途中に、キャビテーションによって洗浄液中の溶存空気を気泡化する脱気装置９を接続し、該脱気装置９によって洗浄液循環路７内を流れる洗浄液中の溶存空気を気泡化し、該気泡化した溶存空気を洗浄液とともに洗浄槽１へ還流することにより、気泡化した溶存空気を洗浄槽の液面から槽外へ排出するようにした。また、循環ポンプ８としてプロペラ式のポンプを用いるとともに、洗浄液の溶存空気濃度を２．５〜３．５ｍｇ／ｌの範囲に制御した。 （もっと読む）

【課題】液体中の溶存酸素を効果的に除去する液体中の溶存酸素除去装置および溶存酸素除去方法を提供する。
【解決手段】本発明の液体中の溶存酸素除去装置１は、原水と窒素ガスとを気液接触させて原水中の溶存酸素を除去する気液接触部４１を有する脱酸素塔４３と、原水を脱酸素塔４３の気液接触部４１より上方に供給する原水供給管４５と、窒素ガスを脱酸素塔４３の気液接触部４１より下方に供給する窒素ガス供給管４７や貯溜槽４９内の水面上空間４９ａと、脱酸素塔４３の気液接触部４１により窒素ガスと気液接触した原水を貯溜する貯溜槽４９と、貯溜槽４９に貯溜された原水のうち一部を処理水として外部に導出する導出管５１と、貯溜槽４９に貯溜された原水のうち一部を脱酸素塔４３の気液接触部４１より上方に導入して還流させる還流管５３とを備える。 （もっと読む）