【課題】毛管状隙間を有するノズルによりレジスト塗布面を迅速に均一に乾燥させることが可能なレジスト塗布方法および塗布装置、並びに該レジスト塗布方法を用いたフォトマスクブランクおよびフォトマスクの製造方法を提供する。
【解決手段】被塗布面１０ａを下方に向けた基板１０にレジスト液を塗布する方法であって、液槽に溜められたレジスト液を、ノズル２４の毛細管現象によって被塗布面１０ａに導いて接液させ、ノズル２４と基板１０とを水平方向に相対移動させることにより、被塗布面１０ａにレジスト液１１０を塗布し、被塗布面１０ａに対し、一定方向にほぼ一定の相対流速で被塗布面１０ａと平行な気流を供給し、気流を被塗布面１０ａに接触させることにより、レジスト液１１０の乾燥を行うレジスト塗布方法および塗布装置、並びに該レジスト塗布方法を用いたフォトマスクブランクおよびフォトマスクの製造方法。 （もっと読む）

【課題】簡易な手段で、短時間で、メンテナンス不要で均一な膜厚を形成することができるシームレスベルトの製造方法及び装置を提供する。
【解決手段】円筒状の回転金型に対してその内面もしくは外面に熱硬化性樹脂などのベルトの前駆体溶液を適量塗布して塗布液膜を形成し、その塗布液膜を硬化させた後に回転金型から離型させるシームレスベルトの製造方法において、円筒状の回転金型と平行な位置関係に修正ローラー１を設置し、その修正ローラーを高速回転させることで修正ローラーの表面に均一な境界空気層２を発生させ、その状態で修正ローラーを平行移動させて回転金型４に塗布された乾燥前の塗布液膜３に対して所定ギャップになるまで接近させ、さらに回転金型を回転させることによって塗布液膜の膜厚を均一にする。 （もっと読む）

【課題】塗工部の外観が優れるエアナイフ塗工を可能とするエアナイフ、塗工方法及び装置、並びに外観が優れた硬化層を得ることのできる硬化層付き板状重合物の製造方法を提供する。
【解決手段】エア噴出し方向と平行なスリット部の内壁と、内壁と連続し直角を成す平面であるリップ面とを有するスリット形状の塗工用エアナイフであって、内壁及びリップ面の表面粗さが０．３μｍ以下であり、内壁とリップ面が成す角部が０．００５ｍｍ以上１ｍｍ以下の曲率を有する。シート状物を水平に走行させ、塗工液をシート状物上に供給した後、上記エアナイフからシート状物上へエアを吹き付ける塗工方法。２個のエンドレスベルトの相対するベルト面のうちの少なくとも一方の面に、予め上記塗工方法により形成された塗工部の硬化層を設けておき、硬化層を板状重合物の表面に移行させる硬化層付き板状重合物の製造方法。 （もっと読む）

熱可塑性樹脂で被覆された金属、セラミックおよびガラスの物体は、金属、セラミックおよびガラスの物体を提供し、第１の熱可塑性樹脂を被覆されたまたは被覆されていない物体の基材の表面に含む被覆材料の水溶液、懸濁液および／または分散液を浸漬、噴霧またはフロー被覆により塗布し、第１の密着している膜を形成するために物体を浸漬、噴霧、フロー被覆から引き出し、浸漬、噴霧またはフロー被覆に起因した余分の材料を除去し、そして、第１の膜を形成するために第１の膜が実質的に乾燥されるまで硬化および／または乾燥する処理により製造される。第１の熱可塑性樹脂は熱可塑性エポキシ樹脂を含む。同じまたは異なる組成の付加的な被覆は、本発明の処理のステップの連続反復により第１の被覆の上に塗布され得る。
（もっと読む）

親液性領域の所定パターンを残すためにウェブの表面に疎液性パターンを生成することによりフレキシブルな基板の適切に規定された離散的領域にコーティングする方法。コーティング溶液の層はパターニングされたウェブに対して置かれ、その溶液は、疎液性領域から後退し、親液性領域に集まる。 （もっと読む）