【課題】 被加熱体を減圧下で加熱乾燥するときに、漏れ電流による人体への影響を防止しながら、乾燥処理を中断することなく継続してできる乾燥方法、加熱炉、及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 乾燥装置１００は、被加熱体を収容可能な収容室１１９と、この収容室１１９を加熱するヒータ１１２と、減圧する減圧ポンプ１１６と、圧力を検出する圧力検出部１１７と、漏れ電流を検出する漏電量検出部１１８とを備えている。漏電量検出部１１８が漏れ電流を検出して、その検出結果に基づいてヒータ１１２の通電をＯＦＦにし、圧力検出部１１７が圧力を検出して、その検出結果に基づいてヒータ１１２の通電をＯＮにする。つまり、乾燥装置１００は、減圧下で加熱乾燥するときに、ヒータ１１２の通電をＯＮとＯＦＦとの切り替えをする。 （もっと読む）

【課題】基板上に塗布された液体材料を乾燥させて塗布膜を形成するに際して、塗布膜の膜厚の均一化を図ること。
【解決手段】液状の塗布膜４が塗布された基板１を設置するための熱伝導プレート２と、この熱伝導プレート２および前記基板１を介して前記塗布膜４を加熱し乾燥させるための加熱手段３とを備え、前記熱伝導プレート２が、基板１上の塗布膜４の面内中央部に対応する基板設置領域に熱伝導率の高い高熱伝導領域を有し、かつ、上記塗布膜４の面内両端部または外周部に対応する基板設置領域に熱伝導率の低い低熱伝導領域を有する塗布膜の乾燥装置を提供することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】
基板上に形成した塗布膜の上方から送風し、塗布膜の中心部から外周部へ気流を制御することにより、乾燥後における膜の平坦性を高め、乾燥時間を短縮する乾燥方法を提供する。
【解決手段】
ステージ１３の上に積載された基板１２に塗布された液体材料の塗布膜１１を、前記塗布膜１１の上面側から送風し、前記塗布膜１１の中心部から外周部へと気流を制御することにより、前記塗布膜１１表面の溶媒蒸気を取り払い、前記塗布膜１１全体の乾燥速度のばらつきを抑える。 （もっと読む）

無機または有機基材表面への紫外線吸収剤層の形成方法が記載されている。
その方法は、
ａ）低温プラズマ、コロナ放電または高エネルギー放射を、無機または有機基材表面に作用させ、
ｂ）処理された無機または有機基材に、少なくとも１種のフリーラジカル形成性開始剤と、１個以上のエチレン性不飽和基を含む少なくとも１種の紫外線吸収剤と、場合により、溶融物、溶液、懸濁液または乳濁液の形態で、少なくとも１種の相乗剤および／または少なくとも１種のエチレン性不飽和化合物を適用し、
ｃ）被覆された基材を加熱するか、および／またはそれに電磁波を照射する、
ことを含む。
本発明はまた、その方法によって紫外線吸収剤層を付与された基材に関する。その方法は、実質的に、真空条件および過度な熱ストレスまたはエネルギーストレス、ならびにまた、紫外線吸収剤の分解を伴わない。良好に接着している、澄んだ、透明な紫外線吸収剤層が形成され、その特性、例えば光学濃度は、有利に調節可能である。 （もっと読む）

【課題】 基板に塗布された塗布膜を乾燥させるための装置の小形化および装置コストの削減を図るとともに、乾燥された塗布膜に関して平坦性の低下および平坦性のばらつきを抑えることができる乾燥方法および塗布膜の乾燥装置を提供する。
【解決手段】 ステージ８によって基板２を保持し、プレート状ヒータ９によって、前記基板２に塗布されたインク膜３を、その上方から加熱し、これによってインク膜３を乾燥させる。しかもインク膜３の、乾燥のために加熱される被加熱領域２６は、インク膜３の塗布領域２２よりも小さい。すなわち、インク膜３を加熱するためのプレート状ヒータ９は、インク膜３の一部を加熱する。 （もっと読む）

本発明は、無機又は有機の基材に強く付着している金属コーティングを製造する方法であって、（ａ）無機又は有機の基材上に、低温プラズマ処理、コロナ放電処理又は火炎処理を実施し；（ｂ）無機又は有機の基材に、１種類以上の光開始剤、又は少なくとも１つのエチレン性不飽和基を含んでいるモノマー若しくは／及びオリゴマーと光開始剤との混合物、或いは前記物質の溶液、懸濁液若しくは乳濁液を適用し；（ｃ）ステップ（ｂ）の層を場合により乾燥させ、そして、ステップ（ｂ）の層に電磁波を照射し；そして（ｄ）光開始剤でプレコーティングした基材に、気相から、金属、半金属又は金属酸化物を堆積させる方法に関する。 （もっと読む）

本発明は、無機又は有機の金属化基材に強く付着しているコーティングを製造する方法であって、第一のステップにおいて、（ａ）無機又は有機の基材上に、低温プラズマ処理、コロナ放電処理又は火炎処理を実施し；第二のステップにおいて、（ｂ）無機又は有機の金属化基材に、１種類以上の光開始剤、又は少なくとも１つのエチレン性不飽和基を含んでいるモノマー若しくは／及びオリゴマーと光開始剤との混合物、或いは前記物質の溶液、懸濁液若しくは乳濁液を適用し；そして、第三のステップにおいて、（ｃ）適切な方法を用いて、前記物質を乾燥させ、及び／又は、前記物質に電磁波を照射し、場合により第四のステップにおいて、（ｄ）このように前処理した基材にコーティングを付し、コーティングを硬化させ及び／又は乾燥させる方法。 （もっと読む）

【課題】 有機モノマーを飽和蒸気圧の大きい高温で効率良く気化させるとともに得られた有機モノマーガスのプラズマ重合反応により有機高分子膜を高真空中で高速成長する。
【解決手段】 液体ジビニルシロキサンビスベンゾシクロブテン（ＤＶＳ−ＢＣＢ）モノマーをキャリアガスと混合した後、高温に保持された減圧気化室に噴霧して有機モノマーの液体微粒子からなるエアロゾルを形成し、該エアロゾルを介してＢＣＢモノマー（有機モノマー）を瞬時に気化させてＢＣＢモノマーガス（有機モノマーガス）を発生させる。これによって、比表面積の大きいエアロゾルは気化面積が大きく、高温加熱しても重合反応が生じる前に気化が生じるため、飽和蒸気圧の大きい２００℃での０．１ｇ／ｍｉｎ以上のＢＣＢモノマーガスが可能となり、プラズマ重合ＢＣＢ膜を従来の５倍以上の高速成膜が可能となる。 （もっと読む）