【課題】パルスビームを高周波化できるとともに、パルスビームの最大値や最小値の値を任意にコントロールでき、品質の高い溶接を可能にする電子ビーム加工機を得ることである。
【解決手段】電子銃の陰極とバイアス電極間に電圧を印加して電子ビームを制御するバイアス電源が、直列に接続された、高安定電源と高応答電源とで形成されており、高安定電源が、ビーム電流を計測する電流検出回路から出力されたビーム電流信号に基づき、ビーム電流をフィートバック制御する電圧を出力し、高応答電源が、パルス信号発生器で発生したパルス基準信号により制御されたパルス電圧を出力するものである。 （もっと読む）

【課題】フィラメント電流値を自動的に調整することが可能な電子ビーム加工装置を提供する。
【解決手段】電子ビームを照射する照射手段（5,1）と、照射手段（5,1）から照射された電子ビームのビーム電流を検出し、該検出したビーム電流実測値とビーム電流指令値との差分に応じたバイアス電圧値を取得する取得手段（3）と、照射手段（5,1）が電子ビームを照射する際に使用するフィラメント電流値を調整する調整手段（4）と、を有し、調整手段（4）は、取得手段（3）が取得した複数のバイアス電圧値を基に、バイアス電圧値の変化率を算出し、該算出したバイアス電圧値の変化率が所定の目標値に収束するように、フィラメント電流値を調整する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、加工対象物を広範囲でかつ適切に加工することが可能なビーム加工装置を提供すること。
【解決手段】ビーム加工装置は、ワークの加工を行うためのビームを出射するビーム出射源３と、ビーム出射源３から出射されたビームが通過するビーム通過路８を有する真空チャンバー４と、ビーム通過路８に連通しビーム通過路８を通過したビームが通過する通過空間２０およびワークに向けてビームを出射する出射孔１７ａを有する局所真空チャンバー９と、ワークに照射されるビームの焦点を調整するために出射孔１７ａの下方に配置される被照射部材３５を有する焦点調整手段７とを備えている。このビーム加工装置１は、ビームを用いて真空チャンバー４および局所真空チャンバー９の外部の大気圧中に少なくとも一部が配置されるワークの加工を行う。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム発生回路の電源装置において、電子ビーム特有の現象である放電管内のアーキング現象と電源装置の負荷短絡故障を区別することができなかった。
【解決手段】電源装置の内部電流及び出力電流を検出する電流検出回路１０９、１１１を設け、電源の内部電流のみ過電流または短絡電流を検出した場合は、故障原因が電源内部回路と判別し、電源の内部電流と出力電流が同時に短絡電流を検出した場合は、短絡故障と判断して電源装置１００の出力を停止する。所定時間後に電源装置の再起動を行ない、この再起動中に、再度内部電流及び出力電流に過電流もしくは短絡電流が検出されない場合はアーキング現象と判別し、再度内部電流及び出力電流に過電流もしくは短絡電流が検出された場合は負荷短絡故障と判別し、電源装置１００の出力を停止するようにする。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、加工対象物を広範囲で加工することが可能なビーム加工装置を提供すること。
【解決手段】ビーム加工装置１は、ワーク２の加工を行うためのビームを出射するビーム出射源１３と、ビーム出射源１３が出射されたビームが通過する第１経路３４を有する真空チャンバー３と、第１経路３４に連通し第１経路３４を通過したビームが通過する第２経路４０およびワーク２に向けてビームを出射する出射孔７８ａを有する局所真空チャンバー２７と、ビームの照射位置を検出するために、出射孔７８ａ等に配置される被照射部材５３を有する検出手段とを備えている。このビーム加工装置１は、ビームを用いて真空チャンバー３および局所真空チャンバー２７の外部の大気圧中に少なくとも一部が配置されるワーク２の加工を行う。 （もっと読む）

【課題】ワークにおける環状に配置された複数箇所の溶接部位をスキップ溶接する際に、実溶接境界位置と制御装置に予め記憶された溶接位置データとの間のズレを短時間で補正することのできるスキップ溶接における溶接位置補正方法を提供する。
【解決手段】溶接すべきワーク１０を円周方向にセンシングして各溶接部位ｓ１，ｓ２，ｓ３の円周方向の位相θに関する現データを得る。位相θを検出した少なくとも３個の溶接部位において溶接部位を横断する方向に線センシングし、当該溶接部位での溶接境界位置ｖ１，ｖ２，ｖ３について点としての現データを得る。取得した点としての現データから制御装置が当該ワークの溶接径Ｒおよび溶接中心を算出する。算出した溶接径および溶接中心についてのデータと取得した位相に関する現データに基づいて予め記憶した溶接位置データを補正する。補正した溶接位置データに基づいて溶接部位をスキップ溶接する。 （もっと読む）

【課題】 被加工物の表面に存在する突起の範囲がイオンビームの照射面積より大きい場合であっても、高い形状精度で形状を創成するための研磨加工シミュレーション方法を提供すること。
【解決手段】 測定装置によって測定した被加工物の表面形状と設計目標として予め入力された設計形状とに基づいて、表面形状を設計形状に加工するために必要な被加工物の表面を除去する除去量を算出し、イオンビームの照射ドーズ量とイオンビームの照射により除去される上記被加工物と同一の材料からなる被照射物の除去量との関係を取得し、取得した関係とイオンビームのプロファイルとに基づいて、表面形状を設計形状に加工するための研磨照射条件を算出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】イオンビーム加工において、加工面形状を精度良く創成できるようにする。
【解決手段】イオンビームを用いて被加工物の加工を行なうイオンビーム加工方法において、被加工物の加工面におけるイオンビームのプロファイルをリアルタイムで測定するプロファイル測定工程と、プロファイル測定工程で得られたイオンビームのプロファイルに基づいて、イオンビームを加工面上の各座標に滞在させる時間の分布を所定時間毎に設定する滞在時間設定工程と、を備える。 （もっと読む）