【課題】要求される品質に応じて分割力を高めることができるレーザ加工方法を提供する。
【解決手段】半値幅と裾幅とが互いに等しいパルス波形を有するレーザ光Ｌを加工対象物に照射することで、切断予定ラインに沿って改質スポットを加工対象物内に複数形成し、複数の改質スポットによって改質領域を形成する。ここで、レーザ光源１０１は、レーザ光源制御部１０２によって駆動電源５１を制御し、レーザ光ＬのＰＥ値に応じてパルス波形を第１〜第３パルス波形の間で切り替える。低ＰＥ値の場合、その前半側にピーク値が位置し且つ鋸刃状となるよう構成された第１パルス波形をパルス波形として設定すると共に、高ＰＥ値の場合、その後半側にピーク値が位置し且つ鋸刃状となるよう構成された第２パルス波形をパルス波形として設定する。 （もっと読む）

【課題】ビーム空間内の温度状態に依存した、レーザビームのパラメータの制御を最適化すること
【解決手段】温度検出装置が、複数の測定装置を前記ビーム空間に沿って有することで、温度検出装置は、ビーム空間内のガス内の温度状態をビーム空間横断面にわたって検出し、複数の測定装置は、ビーム空間内のガスの温度を、レーザビームのビーム伝播方向に沿って、レーザビームからの種々異なる半径方向間隔で測定するレーザ装置。 （もっと読む）

【課題】新規な光加工装置とこの光加工装置に用いられる集光光学系を実現する。
【解決手段】微小な光放射部から放射される光束を、２以上の点状および／または１以上の線状に集光させる集光光学系であって、微小な光放射部ＦＯからの発散光束を、光軸に実質的に平行な平行光束とし得るように配置される第１のコリメートレンズＣＬ１と、この第１のコリメートレンズと同軸で、第１のコリメートレンズを透過した光束を集光させる第２のコリメートレンズＣＬ２と、第１のコリメートレンズと微小な光放射部との間に配置されて、光放射部からの発散光束を第１、第２のコリメートレンズの光軸に交わる１以上の光束とする光束変換光学素子ＦＴとを有し、光束変換光学素子ＦＴおよび第２のコリメートレンズのうちの少なくとも一方を、第１のコリメートレンズＣＬ１に対して、光軸の方向に変位可能としと集光光学系である。 （もっと読む）

【課題】１パルス当たりのパルス幅がピコ秒以下のオーダの幅であるパルスレーザ光を、ノイズ光を抑えつつ周波数変換しうる構成を提供する。
【解決手段】レーザ加工装置１は、所定の第１周波数で発振し、１パルス当たりのパルス幅がピコ秒以下のオーダの幅であるパルスレーザ光を出力するレーザ発信器１１と、レーザ発信器１１から出射されるパルスレーザ光を、レーザ発振器１１での第１周波数よりも低い第２周波数に変換して出力するパルスピッカ１４と、パルスピッカ１４から出力されたパルスレーザ光を増幅するメインアンプ１３と、このメインアンプ１３にて増幅されたパルスレーザ光を収束して加工対象物Ｗ上に照射する収束レンズ２２とを備えている。さらに、パルスピッカ１４の後段側においてパルスレーザ光の光路上に過飽和吸収体が配設されている。 （もっと読む）

【課題】 はんだ付け加工において部品焼け、ピン焼け、基板焼けを防止するインナーフォーカス、アウターフォーカスでの加工を容易に行える光加工装置を提供する。
【解決手段】 光学手段を保持する加工ヘッドを被加工物に対して上下方向に移動する第１の移動手段と、前記糸はんだ送給手段を被加工物に対して上下方向に移動する第２の移動手段と、前記糸はんだ送給手段を被加工物に対して左右方向に移動する第３の移動手段を設け、糸はんだ送給手段と被加工物との位置を最適に保つ。 （もっと読む）