【課題】 従来の超音波洗浄装置では、微細粒子を除去することができないという点であり、又、洗浄した後の乾燥に問題があるという点である。
【解決手段】 霧化部６は霧化液体供給装置７から霧化液体８が供給され、霧化液体８の中に超音波振動子９が装着されて、超音波振動子９に発振器１０から発振出力が供給されることにより霧化液体８が霧化されて霧化粒子１１が発生し、霧化部６の上部に搬送ガス供給装置１２が接続され、霧化部６内に仕切板１３が形成され、搬送ガス供給装置１２から供給された搬送ガスによって、超音波振動子９で発生した霧化粒子１１は仕切板１３で大径の霧化粒子が除去され、微小霧化粒子が霧化部６から搬送管１３を通ってデミスタ部１４に搬送され、デミスタ部１４にフィルタ１５が装着され、フィルタ１５を通過した搬送ガスと微細霧化粒子は搬送管１６、ノズル部１７を介して被洗浄体１８に吹き付けられる。 （もっと読む）

【課題】 ノズルから噴射される微粒子の量を調整し、安定で均一性の高い成膜を得る。
【解決手段】 成膜材料の粒子を含むエアロゾルを形成するエアロゾル形成手段と、該エアロゾル形成手段により形成されたエアロゾルを噴射するノズルと、を有する成膜装置において、前記エアロゾル形成手段が、成膜材料の粒子の量を検出する検出手段と、形成するエアロゾルに含まれる、成膜材料の粒子の量を、前記検出手段の検出結果に基づいて、制御する手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 エアロゾルを停止することなく原料の補充が可能な複合構造物形成システム及び形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材に衝突させて前記微粒子の構成材料からなる構造物と前記基材との複合構造物を形成する複合構造物形成システムであって、前記微粒子を収容する収容機構と、前記微粒子をガス中に分散させてエアロゾルを形成するエアロゾル化機構と、前記収容機構から前記エアロゾル化機構に前記微粒子を供給する供給機構と、前記収容機構と前記エアロゾル化機構との間のガスの流れを遮断する圧力遮断機構と、前記エアロゾル化機構に前記ガスを供給するガス供給機構と、前記エアロゾルを前記基材に向けて噴射する吐出口と、を備えたことを特徴とする複合構造物形成システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】粉体を吹き付け面に均一に吹き付けることができると共に、吹付け装置のノズルの目詰まり等を防止するガスボンベカートリッジを用いた粉体吹付け装置を提供する。
【解決手段】蓋体２２により封止され圧縮ガスが充填されたボンベ１３と、蓋体２２の穿孔２２ａに突き立てられることにより蓋体２２を閉塞する尖鋭体１４と、蓋体２２と対向して尖鋭体１４を保持する保持体１５と、保持体１５をボンベ１３の蓋体２２側に付勢する付勢部材１５と、保持体１５を蓋体２２と離間する方向に操作し、ボンベ１３を開放する操作部材１７と、ボンベ１３及び保持体１５を収納するとともに、ボンベ１３より噴出した圧縮ガスを外方へ流すガス流路４２が形成されたハウジング１８とを有するガスボンベカートリッジ１０と、粉体が充填されたタンク部８１と、一端がタンク部８１内に臨み他端が外方に臨まされ粉体をタンク部８１外に吹き出す導管８２とを有する粉体タンク８０とを備える。 （もっと読む）