【課題】 特にプリントヘッドが使用されない期間に、プリントヘッドが詰まることを防止するのに使用される、工業用プリント装置のプリントヘッドメンテナンスステーションを提供する。
【解決手段】 メンテナンスステーションは、キャッピングステーションとブロッティングステーションとを備える。キャッピングステーションは、プリントヘッドを湿らせておくソケットを備える。ブロッティングステーションは、プリント機能を実行する前に残留するいかなるプリント流体も洗浄する。 （もっと読む）

【課題】 粘弾性が大きい材料を用いる場合であっても、安定した液滴吐出を可能とする。
【解決手段】 圧力発生素子に駆動信号を印加して駆動信号に応じた圧力をキャビティ内に発生させ、キャビティに収容された液状体を液滴として吐出する。駆動信号は、所定電位より第１電圧Ｖｂｃ大きい基準電位Ｖｃに対して第２電圧Ｖｃｈを印加してキャビティ内に負圧を発生させる第１波形部ｃと、基準電位Ｖｃより第２電圧Ｖｃｈ大きい保持電位Ｖｈでキャビティ内の負圧を所定時間保持させる第２波形部ｈと、保持電位Ｖｈから所定電位Ｖｂまで第３電圧Ｖｂｈを印加してキャビティ内を加圧する第３波形部ｄとを含み、第１電圧Ｖｂｃが第３電圧Ｖｂｈの１０％以下である。 （もっと読む）

【課題】 インク粘度が変化しても機能膜を精度良く形成することが可能な液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】 吐出前のインクの粘度測定手段３０と、その粘度測定手段３０の粘度測定結果に基づいてインクジェットヘッド２０の駆動電圧波形を決定する制御部７０とを備え、その制御部７０は、インクジェットヘッド２０からの液滴の吐出速度が略一定となるように駆動電圧波形の負勾配部の傾きを決定するとともに、インクジェットヘッド２０から吐出された液滴の乾燥後の重量が略一定となるように、駆動電圧波形の負勾配部の高さを決定する。 （もっと読む）

【課題】
容易に矯正できるが押さえをなくすと元に戻り反るような基板において、反りを矯正し、矯正した状態を保ちながら位置ズレなしに、搬送及び塗布を行うことができる装置を提供することにある。
【解決手段】
搬送機構部４をバキュームコンベアとし、バキュームコンベアをベルト12面上、及びベルト搬送面裏面に接触配置したチャンバ24上に吸引穴を設け、チャンバ24の吸着部分を分割し、センサにより基板の搬送に合わせ分割した部屋の吸引する部屋を切り替えるようにし、前記チャンバ24の始まりに基板反り矯正用押し付け機構14を設け、基板１を位置決め、反り矯正、吸着搬送することにより、反りを矯正した姿勢を保ち位置ズレが起きないようにしながら搬送塗布できる。
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【課題】歩留りの高い成膜方法および成膜装置を提供すること。
【解決手段】本発明の成膜方法は、被塗布基材７に液状の膜形成材料を塗布して膜８を形成する方法である。この成膜方法は、被塗布基材７に膜形成材料を塗布する塗布工程と、膜形成材料を加熱して乾燥させることにより膜８を得る熱処理工程と、膜８の表面の状態を検出して膜８に関する情報を得、該情報に基づいて、膜８の少なくとも一部に対して再加熱を行ない、これにより、膜８の表面の状態が均一になるように該状態を調整する調整工程とを有している。 （もっと読む）

【課題】 塗布ヘッドのスリットの間隔を調整する差動ネジの組み付け作業を簡単化する。
【解決手段】 間隙をあけて対向させて配置されてスリット１３を形成する一対のリップ部材１１、１２と、スリットに連通して設けられた塗布液の流路と、一方のリップ部材の側面にスリットの延在方向に沿わせて形成された切欠き溝１５と、この切欠き溝を挟むリップ部材の基部１１ａと先端部１１ｂとに係合された差動ネジ１６とを備え、差動ネジの親ネジの外ネジをリップ部材の基部に貫通して形成されたネジ孔１７に螺合し、差動ネジの子ネジ１６ｂの先端に円筒状のナット１８を螺合し、このナット１８が挿入される穴１９をリップ部材の先端部に形成し、穴１９に向かって先端部の側面からネジ孔２０を形成し、このネジ孔２０に止めネジ２１をねじ込んで、子ネジ１６ｂをリップ部に固定するように構成する。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板に溶液を所定のパターンで塗布したときに、そのパターンの周辺部の膜厚が他の部分よりも厚くなるのを防止する塗布装置を提供することにある。
【解決手段】基板に溶液を塗布して塗布膜を形成する塗布装置であって、
溶液を基板に噴射する複数のノズル１４を有するヘッド７と、基板がヘッドの下方を所定方向に沿って通過するようこれら基板とヘッドを相対的に移動させるテーブル３と、ノズルから基板の幅方向の端部に噴射塗布される溶液の量が、端部よりも幅方向の内方に噴射される量の方が多くなるよう制御する制御装置１００とを具備する。 （もっと読む）

【課題】液滴の着弾精度を低下させることなく、生産効率の向上が図れる描画方法、描画装置、電気光学装置および電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の描画方法は、液滴吐出ヘッド２と、ワークとしての基板１０Ａを相対的に移動させつつ、液滴吐出ヘッド２のノズル２５から基板１０Ａへ向けて液滴を繰り返し吐出して基板１０Ａに描画する描画方法であって、液滴吐出ヘッド２と基板１０Ａとの相対速度を周期的に変動させ、該相対速度が液滴吐出ヘッド２と基板１０Ａとの平均相対速度より遅くなっているときにノズル２５から液滴を吐出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】歩留りの高い成膜方法、成膜装置および基板処理方法を提供すること。
【解決手段】本発明の成膜方法は、被塗布基材７に液状の膜形成材料を塗布して膜８を形成する方法である。この成膜方法は、被塗布基材７に膜形成材料を塗布する塗布工程と、膜形成材料を加熱して乾燥させることにより膜８を得る熱処理工程と、膜８のストレスを検出し、該検出されたストレスに基づいて、膜８の少なくとも一部に対して再加熱を行ない、これにより、ストレスが均一になるように該ストレスを調整する調整工程とを有している。 （もっと読む）

【課題】
所望の位置にスペーサを配置できる技術を提供する。
【解決手段】
本発明のスペーサ塗布装置１１により、処理対象物５の表面に、表面改質装置２１ａからレーザ光２８₁〜２９_nを射出し、処理対象物５の疎水性表面のレーザ光２８₁〜２８_nが照射された領域を親水性に改質し、スペーサの配置位置に部分的に親水性表面４１を形成する。印刷装置２２ａから吐出液２９₁〜２９_nを吐出し、親水性表面４１を含む領域に着弾させる。着弾した吐出液４２中の分散液が蒸発すると、吐出液４２中のスペーサは親水性表面４１を中心に集合し、密集しあうので、レーザ光２９₁〜２９_nの照射位置に集合させることができる。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板を傾斜させて搬送する場合に、基板を精度よく洗浄することができるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】洗浄チャンバと、基板Ｗを搬送方向と交差する方向に所定の角度で傾斜させて上記洗浄チャンバ内を搬送する搬送ローラと、搬送される基板の上方にこの基板の搬送方向と交差する方向に沿って一列に配置され基板に上記洗浄液を細長いパターンＰで噴射する複数のノズルとを具備し、複数のノズルは、基板上に噴射される隣り合う洗浄液のパターンが基板の搬送方向と交差する方向に対して隙間が生じることがないよう配置されている。 （もっと読む）

【課題】パターン形成装置におけるヘッドの位置調整に要する時間を削減し、パターン形成装置の稼働率を向上させることを可能とする、ヘッド調整システム、ヘッド調整装置等を提供する。
【解決手段】ヘッド調整装置３は、カメラ１９により基準ノズル孔３５の位置を検出し、検出ノズル孔位置３９及び登録ノズル孔位置４１から、補正データ１７を算出してパターン形成装置５に送る。ヘッド調整装置３のベース２１からヘッドユニット２５を取り外し、パターン形成装置５のベース１２１に取り付ける。パターン形成装置５は、ヘッドユニット補正量４９に基づいて、ベース１２１におけるヘッドユニット２５の取付位置の調整を行い、吐出開始位置ズレ量５１等に基づいて、ノズル孔２９からの吐出タイミングを調整し、インク等の吐出処理を行い基板上にパターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】 基板の被塗布面にノズルを介して塗布液を塗布する際に、塗布液の塗布ムラを抑制できる塗布装置を提供すること。
【解決手段】 先端開口部８３に連通する毛管状隙間８８を備え、塗布液を毛管状隙間を経て先端開口部へ導くノズル８２と、このノズルの先端開口部を基板２８の被塗布面２８Ａに対し接近または離反させて、上記先端開口部に到達した塗布液を被塗布面に接液可能とする昇降機構部３３と、基板をノズルに対して走査させて、被塗布面に接液した上記先端開口部内の塗布液を当該被塗布面に塗布可能とする移動フレーム１６とを有し、上記昇降機構部３３が、ノズルを支持するノズル支持シャフト７８、７９、８０を備え、このノズル支持シャフトの先端に台座９３が固定されると共に、ノズル支持シャフトにコイル１０２が巻き付けられ、このコイルへの通電により発生する電磁石の磁力によって、上記台座にノズルが保持されて取り付けられるものである。 （もっと読む）

【課題】ビット数を増やすことなく多階調での吐出が行えるようにし、コストの上昇のないインクジェット塗工機にて各種カラーフィルタを製造する。
【解決手段】インクジェット塗工機のインクジェットヘッドに吐出データを転送するに際し、吐出データである吐出階調数が対応する０を含む階調値を、該階調値を変化させるデータを有した吐出データパラメータの前記データに基づいて、インクジェットヘッド側の演算回路で吐出階調数増加方向に演算して多階調化し、多階調化された吐出データを前記インクジェットヘッドに転送する。 （もっと読む）

【課題】蹴飛ばし現象に起因する記録用紙１７０の搬送量の変動を低減する。
【解決手段】記録用紙１７０の搬送経路に配され、回転駆動される搬送駆動ローラ１５２と、搬送経路を挟んで搬送駆動ローラ１５２に対向して配さる複数の搬送従動ローラ８１０、９１０と、搬送従動ローラ８１０、９１０に、搬送駆動ローラ１５２へ向けて荷重を与える荷重付与部８００、９００とを備え、更に、搬送ローラの軸と荷重付与部８００、９００に荷重を付与された搬送従動ローラ８１０、９１０のそれぞれの軸が、記録用紙１７０の搬送方向について単一の面上に配置され、複数の搬送従動ローラ８１０、９１０の少なくともひとつが記録用紙１７０を開放する位置と、他の搬送従動ローラ８１０、９１０が記録用紙１７０を開放する位置とが、搬送方向について異なる。 （もっと読む）

【課題】 塗布膜の形成後、乾燥が始まるとレベリングの進行は極端に制限される。そこで塗布の形成後、膜のレベリング性を向上し、かつ生産性を向上する。
【解決手段】 塗布液を基板１上に塗布して塗布膜２を形成する塗布膜２の形成方法において、基板１を塗布工程から次の工程へ搬送する過程で、塗布膜２を溶媒の雰囲気中に置くもの。具体的には前記基板を密閉容器により被い、容器内を溶媒雰囲気にする。また前記容器内のガスを導入して容器内の雰囲気を調整しても良い。 （もっと読む）

【課題】ノズルの高密度化と、それに伴う微細ピッチ配線の形成を実現可能にして高解像度化が図れるようにするとともに、小型化も図れるようにしたインクジェット記録ヘッドを得る。
【解決手段】振動板５２及び圧電素子５４を含んで構成される圧電素子基板５０を間に置いて、下側に流路基板８０を配置し、上側に第１上部基板７０を配置する。圧電素子５４は、バンプ７８で第１上部基板７０と電気接続され、圧電素子５４を駆動させる駆動ＩＣ７７は、第１上部基板７０に実装されている。 （もっと読む）

【課題】ダイまでの塗布液供給経路に発生する気泡を完全に捕捉して外部に排出して除去するだけではなく、塗布液の異物の除去性能にも優れた濾過手段を提供して、塗布欠点がなく、さらには高い塗布膜厚精度を長期間にわたって維持維持可能な濾過装置、それを用いた塗布装置および塗布方法、並びにこの方法を使用したディスプレイ用部材の製造方法を提供する。
【解決手段】平面状の濾材によって隔てられ、かつ液体を蓄えることができる１次室と２次室とを有し、１次室に液体が流入する第１流入通路と、１次室外に液体が流出する第１流出通路がそれぞれ１次室に接続されており、２次室には液体が２次室外に流出する第２流出通路が接続されている濾過装置であって、第１流出通路は１次室の重力方向の最上点を含む位置に接続されているとともに、第２流出通路は２次室内で重力方向の最上となる線上の位置に接続されていることを特徴とする濾過装置。 （もっと読む）

【課題】 液体噴射装置において、液体の無駄な消費及び液滴の目標着弾位置からのずれを抑え、効率的に精度が良い画像を得る。
【解決手段】 記録媒体２と記録ヘッド３とを相対移動させる移動動作を行う移動部４と、記録媒体２に記録する画像に関する記録データに基づいて移動部４に移動動作を実行させる移動制御部５と、移動部４による記録媒体２と記録ヘッド３との相対移動に応じてパルス信号を発生させるパルス発生部６と、パルス発生部６により発生したパルス信号を記録媒体２に対する液滴の着弾位置を目標の着弾位置に一致させるように変更するパルス変更回路７と、記録データに基づいて、パルス変更回路７により変更されたパルス信号に同期させて記録ヘッド３に吐出動作を実行させるヘッド制御部８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 吐出特性を実質的に均一化することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 シリコンウェハをエッチングすることによりシリコンウェハに液体流路の一部となる複数の溝部を形成するエッチング工程と、シリコンウェハを分割して液体流路の少なくとも一部が形成された複数の流路基板とする分割工程とを少なくとも具備すると共に、エッチング工程では、シリコンウェハの面内位置に応じてシリコンウェハのエッチング時間を実質的に調整して、複数の溝部を均一な深さで形成する。 （もっと読む）