【課題】
塗布する基板の大型化、塗布処理の高速化を図るために多数の塗布ヘッドを備えた塗布装置の要求が大きくなっているが、塗布ヘッドの多数化に伴って、信号線および電線の本数が増加して発塵によりクリーン度の低下や塗布精度の低下が問題になっている。
【解決手段】
一方向に往復動可能な門型フレームと、前記門型フレームの長手方向に移動可能な塗布ヘッドを複数設け、前記塗布ヘッドの設けてあるノズルの吐出口に対向するように設けられたテ−ブル上に基板を載置し、ペースト収納筒に充填したペーストを前記吐出口から前記基板上に吐出させながら該基板と該ノズルとの相対位置関係を変化させて基板上に所望形状のペーストパターンを塗布するペースト塗布機において、前記門型フレームへの給電するために、架台側に直線状に配置した給電線と門型フレーム側に設けた受電コア間で磁気結合を利用して非接触給電する構成とし、移動する門型フレームと制御信号を行う光無線通信を設けた構成とした。
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【課題】 高粘度の液状体を液滴として基板の吐出領域に吐出し、各吐出領域に吐出した液状体の容量の均一性を向上した液滴吐出装置、液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置を提供する。
【解決手段】 吐出ヘッド３１と対峙する状態の吐出領域Ｓの実温度を検出する温度センサ３０をキャリッジ２９に取り付け、液晶の液滴を吐出する吐出領域Ｓ毎に、対応する吐出領域Ｓの実温度を検出し、前記温度センサ３０の検出する実温度に基づいて、圧電素子の伸張幅を規定する吐出電圧を演算するようにした。そして、前記吐出電圧に基づいて、圧電素子を駆動させる圧電素子駆動信号を生成するようにした。 （もっと読む）

【課題】
処理対象物上に基準個数以上のスペーサを配置できる技術を提供する。
【解決手段】
印刷装置１２₁〜１２_mで処理対象物の種類を読み取り、中央制御装置１１に照合し、処理対象物の種類に応じた配置位置の位置情報を中央制御装置１１から得る。位置情報に従って吐出液を吐出した後、修正装置１３₁〜１３_nに移動させ、検査装置により、配置位置毎にスペーサの個数を計数し、不足位置に吐出液を吐出させる。処理対象物の一部領域を画像処理するだけで配置位置のスペーサ個数を計数することができるので、画像解析の負担が軽い。 （もっと読む）

【課題】 高粘度の液状体を液滴として基板に吐出し、基板に吐出した液状体の容量の均一性を向上した液滴吐出装置、液滴吐出方法、液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置を提供する。
【解決手段】 液滴吐出装置２０に、マザー基板４Ｍの実温度を検出する温度センサ２５を設け、液晶の液滴を前記マザー基板４Ｍに吐出する前に、前記温度センサ２５の検出する実温度に基づいて、液滴を吐出するための圧電素子の伸張幅（駆動量）を規定する吐出電圧を演算するようにした。そして、前記吐出電圧に基づいて、前記圧電素子を駆動させる圧電素子駆動信号を生成して、対応する圧電素子を駆動制御するようにした。 （もっと読む）

【課題】バルブユニットと管路を容易に接離することができるとともに、バルブユニットからシリンジへのペースト供給を安定させることができる粘性流体塗布装置を提供する。
【解決手段】バルブユニット５０と管路７１ｂを連結部９０により接続し、この連結部９０が、流路６５と連通して外周に外ねじ部９２が形成された内管９１と、管路７１ｂに連通して内周に外ねじ部９２に螺合する内ねじ部９６が形成された外管９５とから成り、この外管９５の内部に弾性筒３０を内挿し、外ねじ部９２と内ねじ部９６を螺着することにより、内管９１の端面ｂにより弾性筒３０の一端面ａを押圧して、弾性筒３０の他端面ｃを外管９５の受け部ｄに押接するようにした。 （もっと読む）

【課題】プレート状ワークの短辺部分を模様付けする装置及び方法を提供する。
【解決手段】装置１は、固定され、インク噴射用の複数のノズル開口を持つ複数の固定式インク噴射印刷ヘッド１２を備えた固定式印刷ユニット１０と、ワーク２をこの印刷ユニットに沿って移動できる運搬装置２０と、模様付けする短辺部分２′の寸法、位置、運搬装置上でのワークの移動速度の１つ以上を検出するための、印刷ユニットの上流側に設置された検出装置３０、３２と、短辺部分２′に付与する模様の画像データが記憶されている記憶装置４０、並びに印刷ヘッド、検出装置と記憶装置とデータ交換をし、検出装置が出力する検出データに依存して、インクが本質的に模様付けする短辺部分の高さに相当する印刷範囲内のノズル開口からのみ噴射されるように個々の印刷ヘッドを制御するように調整されている制御装置５０が装備されている。 （もっと読む）

【課題】 異なるタイミングで着弾した液滴の形状を制御して、パターンの形状制御性を向上した液滴吐出装置、パターン形成方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置を提供する。
【解決手段】 先行して形成した下層液状膜２６Ｌ１の端部に、後続する上層液状膜２６Ｌ２の端部を積層し、これら下層液状膜２６Ｌ１及び上層液状膜２６Ｌ２の重なる積層領域に対して、その配向膜形成液を流動可能なレーザビームＢを照射するようにした。そして、ポリゴンミラー４８の回転駆動によって、前記レーザビームＢのビームスポットを、隆起部ＦＤＴ側（上層液状膜２６Ｌ２側）から、対応する凹部ＦＤＢ側（下層液状膜２６Ｌ１側）に走査するようにした。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成で急速加熱と定常加熱時の安定した温度制御を可能とする基板加熱装置および基板加熱方法ならびに安定した温度に加熱した状態の基板に液状物質を塗布することができる液状物質の塗布装置を提供すること。
【解決手段】キャリア３の開口部３ａに載置された基板４を、加熱されたガスを吹き付けて加熱する基板加熱装置において、加熱ユニット１１に基板４の下面に向かって突出した突出部１４を設け、加熱ユニット１１によって加熱されたガスを開閉バルブによってオンオフしながら突出部１４の上面から基板４の下面に吹き付ける。加熱開始時には開閉バルブを開状態にして加熱されたガスを継続して基板４に吹付けて急速に昇温させ、その後開閉バルブを反復して開閉することによりガスの吹付けを間欠的に行い、基板４の加熱温度を目標温度付近に維持する。 （もっと読む）

【課題】 一対の基板の間隔を均一にすることができる液滴吐出方法及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】 ガラスウェハＷｆ内に複数形成された素子基板１１の周縁にスペーサを含んだシール剤によって形成されたシール部Ｓの線幅Ｗを、液滴吐出装置の線幅測定部によって測定する。そして、液滴吐出装置の液滴吐出部が、線幅Ｗに応じた量の液滴５３をシール部Ｓによって囲まれた液晶封入部２５にそれぞれ吐出する。すなわち、線幅Ｗが予め定めた線幅（以下、標準幅という）より細く形成されているシール部Ｓａに囲まれた液晶封入部２５には吐出量の多い液滴５３ａが吐出され、線幅Ｗが標準幅で形成されているシール部Ｓｂに囲まれた液晶封入部２５には予め定めた吐出量の液滴５３ｂが吐出される。線幅Ｗが標準幅より太く形成されているシール部Ｓｃに囲まれた液晶封入部２５には吐出量の少ない液滴５３ｃが吐出される。 （もっと読む）

【課題】 ワイピング性能が安定したワイピング機構を提供する。
【解決手段】 インクジェット記録ヘッド１４の吐出面１４Ａへブレード１８のエッジ部１８Ａを当接させてワイピングする構成において、エッジ部１８Ａが吐出面１４Ａへ当接した際に、ブレード１８が撓まない構成とする。これにより、ブレード１８が吐出面１４Ａへ面接触することが無く、吐出面１４Ａに凹凸があっても、エッジ部１８Ａを吐出面１４Ａへ確実に当接させられる。このため、安定したワイピング性能が得られる。 （もっと読む）

インク１８で満たされたポンプ１０及びインク１８に作用する作動パルスを発生するためのアクチュエータ１６を有するプリントヘッド１のプリント動作を制御する方法は、ポンプ１０の特性周波数を決定するステップを含んでいる。ポンプ１０の特性周波数は、ポンプ１０の幾何学的な形状に直接的に関連するので、特性周波数は、ポンプ１０の状態及びポンプ１０に放出されるインク滴の体積のインジケータとして使用することができる。特性周波数の僅かな変化が検出された場合、インク滴の体積に関する要件に合致させるため、作動パルスが調整される。特性周波数の比較的大きな変化が検出された場合、当該ポンプ１０のプリント動作が停止され、別のポンプ１０により取って代わられる場合がある。
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【課題】 着弾した液滴の乾燥状態を検出して、パターンの生産性を向上した液滴吐出装置及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 液滴吐出装置のキャリッジに、乾燥強度と焼成強度のレーザ光Ｂを選択可能な半導体レーザＬＤと、液滴Ｆｂに照射した前記レーザ光Ｂの戻り光Ｌを検出するフォトセンサ３８を配設するようにした。そして、目標吐出位置Ｐに着弾した液滴Ｆｂに乾燥強度のレーザ光Ｂを照射して、フォトセンサ３８からの検出信号が、予め設定された目標乾燥光量データに相対するタイミングで、前記液滴Ｆｂに焼成強度のレーザ光Ｂを照射するようにした。そして、フォトセンサ３８からの検出信号が、予め設定された目標焼成光量データと相対するタイミングで、前記焼成強度のレーザ光Ｂの照射を停止するようにした。 （もっと読む）

受像基板上にパターニングされた液体層を固着させる、たとえば連続式インクジェットプリンタのような、液滴塗布装置が開示されている。液体塗布装置は、液滴放出体を有し、その液滴放出体は正圧の液体を含み、その正圧の液体は、複数の連続した液体流を放出する1次元アレイのノズルとつながっている。その連続した液体流は、公称流速v_j0を有する。複数のノズルは、実効ノズル径D₀を有し、実効ノズル間隔L_yを有するアレイ方向に向かって延びている。抵抗ヒーター(18)装置は、複数の連続した液体流を、所定の公称液滴体積V₀を有する複数の液滴流(66)に分割させるのに十分な周期τ₀の熱エネルギーパルスを、複数のノズルとつながっている液体へ送るように備えられている。

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【課題】 ノズルの位置精度および真直度を向上させることが可能な液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 形成すべきノズルプレート９２より厚肉の母材９２ａの裏面に、母材９２ａの構成材料より硬い材料からなる補強層９２ｂを形成する工程と、母材９２ａの表面におけるノズルの形成位置に凹部７５を形成する工程と、補強層９２ｂを除去するとともに、母材９２ａの裏面を追い込んで凹部７５の先端部を開口させ、ノズル９１を形成する工程と、を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】記録素子基板を電気配線板に電気接続する工程で、熱歪によって電気接続部にリード剥がれ等の接続不良が生じるのを防ぐ。
【解決手段】記録素子基板Ｈ１１００、Ｈ１１０１を固定した第一のプレートＨ１２００に、第二のプレートＨ１４００を接着し、第二のプレートＨ１４００上に電気配線板Ｈ１３００を接着したのち、記録素子基板Ｈ１１００、Ｈ１１０１のバンプＨ１１０５と電気配線板Ｈ１３００の電極リードＨ１３０２を電気接合する。この工程において電気配線板Ｈ１３００に発生する熱歪を低減するために、電気配線板Ｈ１３００と第二のプレートＨ１４００とを接着する接着層Ｈ１３０６を、記録素子基板Ｈ１１００、Ｈ１１０１の周囲の領域Ａ₁ に限定して塗布し、２つの記録素子基板の片側に隣接するように広い未接着領域Ａ₀ を設ける。 （もっと読む）

【課題】 膜パターンを十分に焼成を行わせることのできる機能性膜パターン形成装置、機能性膜パターン形成方法、及び、機能性膜パターン形成装置、機能性膜パターン形成方法によって十分に焼成がなされた膜パターンで構成された電子機器を提供する。
【解決手段】 膜パターン４０Ａを、膜パターン４０Ａの上下端領域４０Ｕ，４０Ｄに向かって出射される第１及び第２のレーザ光５５Ａ，５５Ｂ、上下端領域４０Ｕ，４０Ｄよりも中央領域４０Ｃ側に向かって出射される第３及び第４のレーザ光５５Ｃ，５５Ｄ、及び中央領域４０Ｃに向かって出射される第５のレーザ光５５Ｅで構成される焼成用レーザ光５５を照射することによって焼成するようにした。 （もっと読む）

【課題】 半導体基板等の被処理基板上にフォトレジスト液等の処理液を吐出させる場合において、処理液の吐出状態を正確にモニタリングすることができる吐出装置を提供すること。
【解決手段】 光透過性素材により断面形状が円環状に成形された処理液吐出ノズル２を横切るようにして、光投射手段４ａと受光手段５ａを含む光学センサによる光路６が形成される。そして、前記光投射手段と受光手段を結ぶ直線上から若干外れた位置に、前記処理液吐出ノズルの軸芯を位置させた構成にされている。前記ノズル２より処理液Ｒが吐出される場合には光投射手段４ａからの光は屈折作用により受光手段５ａには到達しない。一方、ノズル２より処理液Ｒが吐出されない場合には光投射手段４ａからの光は屈折を受けずに受光手段５ａに到達する。前記した光学的な構成によると、処理液Ｒの色の濃さに依存されることなく、処理液Ｒの吐出状態を検知することができる。 （もっと読む）

【課題】 平滑な表面のノズルを有する液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 ノズルプレート９２のノズル９１にレーザ光を照射して、ノズル内面の表面改質を行い、ノズル９１の穿設時に形成されたノズル９１の表面の微小なざらつきを解消する。また、ノズル９１の内面に存在する異物の除去を行う。これにより、平滑な表面のノズル９１を有する液滴吐出ヘッドを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、微小な液滴を高速で吐出することが可能な液体吐出ヘッドおよび液体吐出方法を提供する。
【解決手段】 本発明の吐出ヘッドは、液体が充填される圧力室１２と、圧力室１２に接続され液体が吐出されるノズル１１と、圧力室１２を変形させて圧力室１２の容積を変化させるための変形手段（圧力発生器１４）とを含む。ノズル１１の内径が１０μｍ以下である。また、このヘッドは、ノズル１１の内壁の少なくとも一部の表面状態を、液体の接触角が９０°未満である状態と、液体の接触角が９０°以上である状態との間で可逆的に変化させるための表面状態制御手段（撥水膜２３、第１および第２の電極膜２３および２４、電圧印加装置２５）を含む。 （もっと読む）

【課題】 粘度の高い熱伝導性の接着剤を一括塗布する際に、塗布対象物に対してむらなくかつ利便よく塗布することが可能な粘着剤塗布装置を提供する。
【解決手段】 メタルマスク４上に、発熱体としてのシリコーンラバー製のヒータ４３Ａ，４３Ｂを設ける。メタルマスク４全体および各ノズル４１の温度を上昇させた状態で、粘度が高く熱伝導性の接着剤５を、基板２上に塗布するようにする。スキージ６１に対する付着が抑制され、接着剤５が円滑に塗布されると共に、メタルマスク４における接着剤５の粘度分布が均一化され、基板２に対してむらなく塗布される。 （もっと読む）