【課題】 溝状のスロット内を塗布液が流通して塗布ヘッドの先端から吐出される塗布工具において、軽量化と高い制振性を両立することで高い静的精度と動的精度を備え、被塗布部材が大型化しても安定した塗布作業を行なうことができる塗布工具を提供すること。
【解決手段】 複数のヘッド部材１６、１８から構成された塗布ヘッド１０を有し、前記複数のヘッド部材１６、１８における互いに対向する側面同士の間に、前記塗布ヘッド１０の先端に開口する溝状のスロット１４が画成され、塗布液が前記スロット１４内を流通して前記塗布ヘッド１０の先端から吐出される塗布工具であって、前記スロット１４は超硬合金からなる先端部を備え、前記ヘッド部材１６、１８は、少なくとも一部が炭素繊維で強化された繊維強化プラスチックで形成されるとともに塗布液が接する面に耐摩処理層を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 基板の浮上高さを均一にすると共に、浮上状態を安定させた状態で保持し、かつ、搬送中の振動を抑制するようにした浮上式基板搬送処理装置を提供すること。
【解決手段】 表面から気体を噴射及び吸引して被処理基板Ｇを浮上する浮上ステージ２２と、浮上ステージの上方に配置され、基板の表面に処理液を供給するレジスト液供給ノズル２３と、基板の両側端をそれぞれ着脱可能及び被処理基板の浮上高さに追従可能に保持すると共に、基板を浮上ステージ上で移動する移動手段と、を具備する浮上式基板搬送処理装置において、浮上ステージを多孔質部材５０にて形成すると共に、該多孔質部材に気密に区画される複数の吸引孔５２を設け、多孔質部材の多孔質部５１に気体供給手段であるコンプレッサ５５を接続し、吸引孔に迂回流路５６を介して吸引手段である真空ポンプ５７を接続する。 （もっと読む）

【課題】 ノズル、圧力室等を高密度化、多列化することが可能であるとともに、環境気圧の変化にも対応できて、吐出安定性に優れた液滴吐出ヘッドを得ること。
【解決手段】 底壁が振動板８を形成し液滴を溜めておく圧力室７及び底壁がダイアフラム４０を形成し外気と連通した大気圧室４１が形成されたキャビティ基板３と、振動板８に対向し振動板８を駆動する個別電極１７が設置された振動室１３及びダイアフラム４０に対向し振動室１３と連通した圧力補償室４２が形成された電極基板４と、圧力室７に液滴を供給するリザーバ１０、リザーバ１０から圧力室７へ液滴を移送するための供給孔９、及び圧力室７からノズル孔５へ液滴を移送するノズル連通孔６とを有するリザーバ基板２とを備え、圧力補償室４２とリザーバ１０とが積層される位置に配置されている液滴吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】 ノズルプレートと接合部材とが高精度に位置決め固定され、且つノズルプレートの除電を良好に行うことができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 液体噴射ヘッド本体２００のノズルプレート２０８と接合部材３００とがそれぞれ導電材料からなると共にこれらノズルプレート２０８と接合部材３００とが接着層３５０を介して接合され、且つノズルプレート２０８と接合部材３００とが接着層３５０の少なくとも一部に含まれる粒状固体３５１に当接した状態で固定されると共に、当該接着層３５０の少なくとも一部が金属微粉末を含有するペースト接着剤で形成された導電接着層３５３で構成されノズルプレート２０８と接合部材３００とが導電接着層３５３を介して電気的に接続されているようにする。 （もっと読む）

【課題】 縁なしプリントによる記録媒体両端部近傍の搬送ベルトに付着したインクを拭き残しなく、しかも装置の大型化の必要もなく、搬送ベルトの耐久性も損ねない画像記録装置を提供すること。
【解決手段】 搬送ベルト全体の清掃を行うクリーニング部とともに、記録媒体両端部近傍の搬送ベルトに付着したインクを拭き取る清掃部材を設ける。 （もっと読む）

【課題】ペーストパターン塗布中に発生する振動を減らし、ペーストパターンを正確に塗布し、ステージ上で基板の位置設定に必要な時間を減らすことができるペースト塗布機及びその制御方法を提供する。
【解決手段】ペーストを吐き出すノズルが装着される塗布ヘッドと；前記塗布ヘッドに対して相対移動可能であり、基板が搭載されるステージと；を含み、前記ステージは回転せず、前記基板はステージに搭載された状態をそのまま維持しながら移動することにより、ペーストパターンを塗布する。これにより、ペーストパターンの塗布時の振動を減らすことができ、高速で精密なペーストパターンを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】 摩耗や熱歪が小さく、耐食性や加工性に優れたリップ部材を提供すること。
【解決手段】 被塗布物に対向させて配置されるヘッド部材の長手方向の縁部に延在させて支持され、互いに間隙をあけて塗布液の流路を形成する複数のリップ部材とを備え、このリップ部材は、重量％で、Ｃ：０．６％〜３．０％、Ｃｒ：１１．５％〜３０．０％、Ｖ：１．０％〜１０．０％、Ｓｉ：２．０％以下、Ｍｎ：２．０％以下を含み、残部がＦｅ及び不可避的不純物の粉末ステンレス鋼で形成されてなることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】経時によるインク廃液吸収性の低下の問題がなく、インク廃液吸収性及びその経時安定性に優れたインク廃液吸収体を提供する。
【解決手段】シリカゲルを担持してなる軟質ポリウレタンフォームよりなるインク廃液吸収体。シリカゲルは親水性に優れるため、シリカゲルを軟質ポリウレタンフォームに担持させることにより、軟質ポリウレタンフォームのインク廃液吸収性を高めることができる。シリカゲルは一般的なインク溶媒への溶解度は極めて低いため、溶媒に溶出して軟質ポリウレタンフォームから流出することが殆どない。 （もっと読む）

【課題】 流路内の異物除去のための洗浄を行う際に廃棄される構成部品を削減して、歩留りを向上させることが可能な液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】 インク導入針２は、針流路１２の下流側開口の周縁部に、針流路１２の導入孔１３側（上流側）に向けて窪んだ収容凹部４５を有し、この収容凹部内にフィルタ３を収容し、導入針ユニット４の取付面１６におけるインク供給路１７の入口開口周縁部を、取付状態のインク導入針の収容凹部側に向けて突出させて突出開口部４８とし、この突出開口部の周囲にシールリング２０を嵌装し、収容凹部内に突出開口部を臨ませ、シールリングを導入針ユニット側に押し付けた状態でインク導入針を導入針ユニットの取付面に取り付けた。 （もっと読む）

【課題】均一でムラなく薬液を塗布することが可能なスピンコート法により塗布する薬液塗布装置および薬液塗布方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ステージ上に固定した塗布対象物に薬液を塗布するためのノズルを複数設けた。各ノズルは、それぞれ独立して上下左右に可動である。そのため、吐出ポイントやパターンの制御が可能となり、より広域な粘度範囲の薬液に対応した塗布ができる。本発明を実施することで、基板全体にわたって膜厚分布が小さく、均一な厚さの塗布膜が得られるとともに、吐出する薬液の無駄を省き使用効率を高めた薬液の吐出方法を備えた薬液塗布装置を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 液状体が筒状体の外側へ回り込むことを防止して、吐出量の管理を高い精度で行い、充填時間を短縮することが可能な液状体吐出用バルブの提供。
【解決手段】 シャットバルブ２０を構成するプランジャ２２の縮径部２２Ｂの外径は、筒状体２１の縮径部２１Ｃの内径よりも僅かに小さく、縮径部２１Ｃの内周面により画成される貫通孔内空間２１ｂ内を摺動可能である。プランジャ２２の縮径部２２Ｂが液状体排出位置にあるときには、プランジャ２２は液状体流入貫通孔２１ｄに対向し、液状体流入貫通孔２１ｄが閉鎖される。また、プランジャ２２の先端部は筒状体２１の一端部開口端２１Ａから突出する。プランジャ２２の下端面２２Ｃは半球状をなす曲面によって構成され、鉛直下方へ開口する凹部形状をなし、プランジャ２２の下端面２２Ｃとプランジャ２２の縮径部２２Ｂの側面２２Ｄとは鋭角をなす。 （もっと読む）

【課題】 複数の端子ランドの間を通すことができる配線の数に制限されることなく、端子ランドの数を増加させることができ、高密度に端子ランドを配設することができる配線基板を提供する。また、この配線基板を搭載したインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 駆動ＩＣからの駆動用配線２１ａ、２１ａ…を端子ランド２４、２４…の間を通して各端子ランド２４、２４…へ接続すると共に、端子ランド２４、２４…の間を通すことができる配線数よりも多い配線が必要な場合には、複数の端子ランド２４、２４…の列の外側を回して、駆動ＩＣからの駆動用配線２１ａ、２１ａ…を各端子ランド２４、２４…へ接続する。 （もっと読む）

メインチャンバ（１０２）と、ロードチャンバ（１０６）と、流体堆積チャンバ（１０８）と、環境コントローラ（１１０）とを含むクラスタツール（１００）が記述される。ロードチャンバ（１０６）は、メインチャンバ（１０２）と結合され、１つ以上の基板を受け取るように構成される。流体堆積チャンバ（１０８）は、メインチャンバ（１０２）に結合され、１つ以上の基板上に流体を堆積させるように構成された流体堆積デバイス（３０７）を含む。ロボット（１０４）は、メインチャンバ（１０２）の中に含まれ、該ロボット（１０４）は、ロードチャンバ（１０６）と流体堆積チャンバ（１０８）との間で１つ以上の基板を移送するように構成される。環境コントローラ（１１０）は、クラスタツール（１００）内の実質的に自律的な環境を維持するように構成される。
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【課題】 本発明は、上下板材の隙間を十分な量のシール材で埋めると同時に、上方板材の端面を必要な量のシール材で覆うことにより好ましいシール塗布面を得ることが可能なシール材塗布ノズルを提供することを課題とする。
【解決手段】 シール材塗布治具１０に備えるノズル部１４は、複数の筒状の部材を繋ぎ合わせたものであり、後方から前方に向け、ボディ部１１に取付けるノズルホルダ１５と、このノズルホルダ１５に連結する根元部１６と、この根元部１６に連結する中間部１７と、この中間部１７に連結する先端部１８とからなる。そして、先端部１８に、上部ノズル２１と下部ノズル２２を備え、上部ノズル２１のシール材通路２４に絞り部２５を介在させた。 （もっと読む）

【課題】インク吐出性を低下させずに、吐出口を洗浄保持する装置と方法を提供する。
【解決手段】
洗浄部１０は収容容器２１と、収容容器２１の開口２３の周囲を取り囲むパッキング部材３０を有しており、印刷部材１５はパッキング部材３０に押し当てられ、吐出口１７が配置された領域が収容容器２１の内部空間２９に露出する状態で、印刷部材１５がパッキング部材３０密着して内部空間２９が密閉される。収容容器２１内部に配置された噴出ノズル２９から溶剤を霧状に噴霧すると、その内部空間２９には溶剤の微小液滴が充満すると共に、該液滴の一部はノズルプレート１６表面の付着物を洗い流す。 （もっと読む）

【課題】
液滴吐出及びレーザ照射に関するパラメータの管理が容易であり、液滴をワークに吐出する描画系と、吐出された液滴とレーザスポットの位置合わせを正確かつ迅速にすることができる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】
基台（防振台）２と、機能液を液滴にして吐出する液滴吐出ヘッド３１と、液滴吐出ヘッド３１を保持するキャリッジ３２と、液滴が描画されるワークＷを保持するステージ３ａと、を備える描画系３と、レーザ光を出力する光源４０と、光源４０と液滴との間に構成され液滴に入射されるレーザ光が通過する光路４ａ，４ｂ，４ｃと、を備える光学系４と、を有し、基台２上に、描画系３と光学系４が共に基台２の上面を基準面として構築されると共に、描画系３と光学系４の連携制御を介してパターン描画・定着が行われる。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で、液滴吐出ヘッドのθズレを容易且つ正確に視認して調整可能な液滴吐出装置を得る。
【解決手段】 複数の記録用ノズル１４０Ｒの１つは基準ノズル１４０Ａとされ、この基準ノズル１４０Ａに対し、用紙Ｐの搬送方向に沿ってみたとき（すなわち搬送方向と直交する方向で）の同位置に位置決め用ノズル１４０Ｂが設けられている。基準ノズル１４０Ａ及び位置決め用ノズル１４０Ｂのみからインク滴を用紙Ｐに吐出しつつ、用紙Ｐを搬送すると、ヘッドユニット１７８にθズレが生じていると、基準ノズル１４０Ａと位置決め用ノズル１４０Ｂとの、紙送り方向に沿ってみたときにズレが生じ、基準ラインＬ１と位置決め用ラインＬ２とを視認できる。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の膜厚制御、特に周縁部の膜厚均一化を容易に行うこと。
【解決手段】 この面状塗布ユニット（ＡＣＴ）４０では、ステージ８０上に基板Ｇを載置して、レジスト液供給機構８６およびノズル移動機構８８を動作させると、長尺ノズル８２の塗布走査により基板Ｇ上に基板の一端から他端に向ってレジスト液の面状塗布膜１００が形成されていく。その際、面状レジスト塗布膜１００が基板Ｇの外側へ向って広がる過程でライン状レジスト塗布膜７６と接触ないし一体化し、ライン状レジスト塗布膜７６によって面状レジスト塗布膜１００の外縁の位置が規定されると同時に膜厚も制御される。 （もっと読む）

【課題】 液状物質滴下装置又は液状物質滴下方法において、液状物質の滴下精度を向上させること。
【解決手段】 ノズル２３から液状物質を吐出させて基板１上に滴下する液状物質滴下装置１０において、液状物質の温度に基づいてノズル２３からの液状物質の吐出を制御する制御装置３６を備えたもの。 （もっと読む）

【課題】少量の液体によって基板を洗浄することが可能な、電気光学装置用基板の洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】電気光学用基板の洗浄装置１は、洗浄に用いる液体を液滴として吐出して基板上に塗布するインクジェットヘッド４と、インクジェットヘッド４と基板１２とを相対的に移動させる移動手段と、予め入力された基板１２上における被洗浄領域についての位置情報に基づいて、被洗浄領域上に液体１２を塗布するように、インクジェットヘッド４と移動手段とを制御する洗浄装置制御部２とを具備する構成とした。 （もっと読む）