【課題】
塗布材の均一性を向上させるだけでなく、必要最小限の洗浄流体で残存塗布材を確実に洗浄除去できるようにする。
【解決手段】
円錐凹面（５Ａ）と円錐凸面（５Ｂ）を所定のクリアランスで重ねて成る液膜流路（３）の上流側環状部（３ａ）に所要数の塗布材流入口（６…）を形成し、下流側頂点部（３ｂ）に形成した流出口（７）を管路攪拌器（４）に連通させ、各塗布材流入口（６…）に配した塗布材逆流防止用逆止弁（９…）に対してその下流側から洗浄流体を供給して液膜流路（３）及び管路攪拌器（４）を洗浄する洗浄流路（１１）を形成した。 （もっと読む）

【課題】 複雑な設備構成を用いることなく、短時間でパターン形成を行えるようにする。
【解決手段】 薬液塗布装置（塗布ユニット）は、基板１を保持するウエハチャック６と、ウエハチャック６に保持された基板１上に薬液８を塗布するための塗布ノズル３と、基板１上に設けられた計測マーク２に対する塗布ノズル３の相対位置を算出する基板位置計測機構４と、基板１上にパターンを形成するためのパターン情報を記憶すると共に前記相対位置と前記パターン情報とに基づいて塗布ノズル３の駆動制御及び薬液供給制御を行うコンピュータ５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】物品の外表面の所望の位置に向かって着色材を一定量ずつ確実に滴射できる着色ノズルを提供する。
【解決手段】着色ノズル３１は物品としての電線３の外表面３ａに向かって液状の着色材を一定量ずつ滴射して該電線３を着色する。着色ノズル３１は着色材を滴射するノズル５４とノズルカバー５５と洗浄液供給源６２を備えている。ノズルカバー５５はノズル５４の少なくとも先端部３７ｂを覆う。ノズル５４の先端面５０ｂとノズルカバー５５の端面５６ａとは同一平面上に位置する。洗浄液供給源６２はノズルカバー５５内に洗浄液を供給する。着色ノズル３１は表面張力により洗浄液がノズルカバー５５内に保たれた状態でノズル５４から着色材を滴射する。 （もっと読む）

【課題】角形の基板上に薄膜を形成した後に、基板周辺部に付着した不要な薄膜を除去する工程において、基板上で薄膜が残された部分と剥離された部分の境界に生じる盛り上がりの高さ、幅およびうねりを低減する薄膜除去装置を提供する。
【解決手段】角形の基板上に薄膜を形成した後に、基板周辺部の不要な薄膜を除去する装置であって、少なくとも、前記角形基板の１つの主面と１つの側面が交わる直線部を覆うように配置される直線部用ノズルヘッドと、該直線部用ノズルヘッドを前記角形基板の側面に沿って相対的に平行移動する機構とを有し、前記直線部用ノズルヘッドが剥離液供給口と廃液吸引口と排気口とを具備し、前記直線部用ノズルヘッドの内面に沿って剥離液供給口から廃液吸引口に至る剥離液主流路と、それに並走する乾燥用排気流路と排気遮蔽壁とを具備するものであることを特徴とする薄膜除去装置。 （もっと読む）

【課題】 大型ガラス基板の端縁部の撓みが確実に防止される基板端縁部被膜の除去装置を提供する
【解決手段】 基板保持部２の軸４を伸張せしめ、チャック３を上昇させ、この上昇位置で基板Ｗを受け取る。この状態では基板Ｗは自重によって周辺部が下方に撓んでいる。次いで、軸４を縮めてチャック３をバー部材１７の上面と面一になるまで下降せしめる。すると、基板Ｗの周縁部下面がバー部材１７によって支持され、基板Ｗは水平状態で保持される。このとき、洗浄ユニット１０のスリット１１内には洗浄液（溶剤）が表面張力で保持されている。この状態から、左右の洗浄ユニット１０を前進させ、洗浄ユニット１０のスリット１１内に基板Ｗの端縁部を挿入する。 （もっと読む）

【課題】塗工幅の調整を行え、分解することなくダイ内部の洗浄を簡単且つ容易に行う。
【解決手段】ダイコータ１は、マニホールド８とスリット９と液溜め部１０を有するダイ内部を備えている。ダイ内部の塗工幅方向両側に側板１１、１１を設けた。ダイ内部に一対の中子１４を収容して液密に仕切ると共にダイ内部を摺動可能とした。中子１４によって塗工液の塗工幅を設定する。マニホールド８内の中央に供給口１９を、側板１１，１１に孔部２０ａ、２０ｂを設け、洗浄液を供給・排出することで中子１４をダイ内部で往復移動させて洗浄する。 （もっと読む）

【課題】処理容器の内側面を簡単かつ効果的に洗浄できるようにし、メンテナンス性や信頼性を向上させる。
【解決手段】回転カップ６０を洗浄するときは、基板Ｇの入っていない空のカップ本体６８に蓋体７０を被せた状態で、駆動部６６の回転駆動によりスピンチャック６２と回転カップ６０を適当な回転速度でスピン回転させる。そして、切換弁９０において回転支持軸６４側のポート９０ａを洗浄液供給源８８側のポート９０ｃに切り換えて、洗浄液供給源８８からの洗浄液を回転支持軸６４の流体通路６４ａを介してスピンチャック６２の流体通路９２に送り、スピンチャック６２の裏面側の洗浄液吐出口９４より回転カップ６０の内側面に向けて洗浄液を吐出させる。 （もっと読む）